Зображення обкладинки

Особенности распыления кремниевых и углеродных мишеней ускоренными ионами фуллерена C₆₀

В работе исследованы закономерности роста пленок и эрозии поверхности при облучении мишеней из углерода и кремния пучком ускоренных ионов С₆₀ с энергией в интервале 2,5–24 кэВ при температуре мишеней 373 K. Установлено, что рост углеродных пленок на поверхности облучаемых кремниевых мишеней наблюдае...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Физическая инженерия поверхности
Дата:	2015
Автори:	Малеев, М.В., Зубарев, Е.Н., Пуха, В.Е., Дроздов, А.Н., Вус, А.С., Девизенко, А.Ю.
Формат:	Стаття
Мова:	Російська
Опубліковано:	Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2015
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/108648
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Особенности распыления кремниевых и углеродных мишеней ускоренными ионами фуллерена C₆₀ / М.В. Малеев, Е.Н. Зубарев, В.Е. Пуха, А.Н. Дроздов, А.С. Вус, А.Ю. Девизенко // Физическая инженерия поверхности. — 2015. — Т. 13, № 1. — С. 91-104. — Бібліогр.: 40 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Физические механизмы распыления мишеней из SiO₂ ускоренными ионами фуллерена C₆₀
за авторством: Малеев, М.В., та інші
Опубліковано: (2015)

Особенности взаимодействия ускоренных инов С₆₀ с поверхностью ITO мишени
за авторством: Малеев, М.В., та інші
Опубліковано: (2015)

Растворы фуллерена С60: коллоидный аспект
за авторством: Мчедлов-Петросян, Н.О.
Опубліковано: (2010)

Влияние концентрации примеси на соотношение интенсивностей рентгеновских отражений от кристаллов металлофуллеренов
за авторством: Дроздов, А.Н., та інші
Опубліковано: (2009)

Закономерности растворения фуллерена С₆₀ в полиметилзамещённых бензола
за авторством: Аникина, Н.С., та інші
Опубліковано: (2013)

Иссдедование процессов формирования TiSiN покрытий путём распыления мишений из Ti и Si ионами, генерируемыми источником газовой плазмы
за авторством: Белоус, В.А., та інші
Опубліковано: (2013)

Аналитическое представление сечений ионизации К-оболочек лантаноидов ускоренными протонами
за авторством: Левенец, В.В., та інші
Опубліковано: (2012)

Нанодисперсные пленки, осажденные импульсным лазерным распылением комбинированных мишеней Ni-Au
за авторством: Багмут, А.Г., та інші
Опубліковано: (2010)

Влияние облучения ускоренными электронами на физико-химические свойства полиэфирных покрытий
за авторством: Григорчук, Д.И., та інші
Опубліковано: (1983)

Начальные стадии перемешивания в многослойных периодических покрытиях Mo/Si при облучении ионами He
за авторством: Воронов, Д.Л., та інші
Опубліковано: (2004)

Электронная структура молекулярных комплексов на основе фуллерена С₆₀: DFT исследование
за авторством: Лопатин, Д.В., та інші
Опубліковано: (2010)

Особенности течения артериальной гипертензии и поражения органов-мишеней при метаболическом синдроме
за авторством: Герасимова, А.С., та інші
Опубліковано: (2008)

К проблеме множественной лекарственной устойчивости: гипермутабильность как механизм защиты метаболических мишеней бактериальной клетки от цитотоксических ксенобиотиков
за авторством: Черепенко, Е.И., та інші
Опубліковано: (2004)

Получение кремниевых нитевидных нанокристаллов
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2011)

Структура, фазовый состав и модель роста аморфных многослойных рентгеновских зеркал W-Si, изготовленных методом магнетронного распыления
за авторством: Першин, Ю.П., та інші
Опубліковано: (2016)

Особенности формирования быстровосстанавливающихся кремниевых диодов
за авторством: Горбань, А.Н., та інші
Опубліковано: (2008)

Синтез, свойства и моделирование кремниевых и германиевых нанотрубок
за авторством: Мазуренко, Е.А., та інші
Опубліковано: (2008)

Получение высокоомных тонкопленочных конденсатов методом ионно-плазменного распыления
за авторством: Вакив, Н.М., та інші
Опубліковано: (1998)

Синтез кремниевых апатитов, модифицированных редкоземельными элементами
за авторством: Старостенко, Н.В., та інші
Опубліковано: (2010)

Новое поколение микроэлектронных кремниевых термодатчиков
за авторством: Шварц, Ю.М., та інші
Опубліковано: (2003)

Установка для нанесения покрытий методом атомно-ионного распыления материалов
за авторством: Батурин, В.А., та інші
Опубліковано: (2012)

Система квантовых структур с алмазоподобным углеродным покрытием для кремниевых фотопреобразователей
за авторством: Ефимов, В.П., та інші
Опубліковано: (2010)

Эффекты электрон-электронного взаимодействия в многослойных углеродных нанотрубках
за авторством: Ткачев, Е.Н., та інші
Опубліковано: (2007)

Оптимизация работы алгоритма распыления информации в системе распределенного хранения
за авторством: Бойко, В.В., та інші
Опубліковано: (2013)

Формирование рельефных микроструктур на кремниевых подложках
за авторством: Косско, И.А., та інші
Опубліковано: (2006)

Межслоевое перемешивание в многослойных периодических композициях Mo/Si, MoSi₂/Si и Mo/C/Si/C при облучении ионами гелия
за авторством: Пеньков, А.В., та інші
Опубліковано: (2006)

Ионно-лучевое перемешивание в слоистых системах
за авторством: Зубарев, Е.Н.
Опубліковано: (2010)

Приборно-технологическое моделирование автоэмиссионных кремниевых микрокатодов
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2008)

Влияние окислительной обработки на физико-химические свойства многослойных углеродных нанотрубок
за авторством: Богатырёва, Г.П., та інші
Опубліковано: (2012)

Перенос энергии ускоренными электронами в магнитной петле Солнца с продольным электрическим полем. I. Эволюция пучка электронов
за авторством: Гопасюк, С.И., та інші
Опубліковано: (1995)

Исследование рельефа адиабатического потенциала в монокристаллах с ионами меди
за авторством: Шаповалов, В.А., та інші
Опубліковано: (2014)

Радиационное дефектообразование для изменения электрофизических характеристик в кремниевых фотопреобразователях
за авторством: Довбня, А.Н., та інші
Опубліковано: (2010)

Особенности формирования быстровосстанавливающихся кремниевых диодов
за авторством: Gorban, A. N., та інші
Опубліковано: (2008)

Приборно-технологическое моделирование автоэмиссионных кремниевых микрокатодов
за авторством: Druzhynin, А. A., та інші
Опубліковано: (2008)

Влияние режимов распыления и геометрии распылительной системы на толщину и состав получаемых пленок
за авторством: Петухов, В.В., та інші
Опубліковано: (2005)

Герметизированные модули кремниевых детекторов ионизирующего излучения
за авторством: Васильев, Г.П., та інші
Опубліковано: (2010)

Влияние неоднородности структуры на люминесцентные свойства кремниевых нанокристаллитов
за авторством: Блонский, И.В., та інші
Опубліковано: (2002)

Особенности радиационного повреждения кремниевых детекторов высокоэнергетическими электронами
за авторством: Маслов, Н.И., та інші
Опубліковано: (2002)

Структурные исследования пленок оксида цинка и нитрида алюминия, полученных методами CVD и магнетронного распыления
за авторством: Погребняк, А.Д., та інші
Опубліковано: (2012)

Использование комплексно-легированных порошков, полученных методом термоцентробежного распыления, в порошковых проволоках
за авторством: Жудра, А.П., та інші
Опубліковано: (2014)