Особенности взаимодействия ускоренных инов С₆₀ с поверхностью ITO мишени

• Published in: Физическая инженерия поверхности
• Date: 2015
• Main Authors: Малеев, М.В., Зубарев, Е.Н., Пуха, В.Е., Дроздов, А.Н., Вус, А.С., Пеньков, А.В.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2015
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/108716
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Особенности взаимодействия ускоренных инов С₆₀ с поверхностью ITO мишени / М.В. Малеев, Е.Н. Зубарев, В.Е. Пуха, А.Н. Дроздов, А.С. Вус, А.В. Пеньков // Физическая инженерия поверхности. — 2015. — Т. 13, № 2. — С. 184-195. — Бібліогр.: 39 назв. — рос.

В работе исследованы закономерности роста пленок и эрозии поверхности при облучении мишеней из оксида индия-олова (ITO, 90 % In₂O₃ + 10 % SnO₂) пучком ускоренных ионов С₆₀ с энергией в интервале 2,5–20 кэВ при температуре TS мишеней 373–673 K. Определена зависимость коэффициента распыления ITO от эн...