Buchumschlag

СВЧ высоколокальный сканирующий разогрев в технологии микро- и наноэлектроники

В статье представлены результаты численного исследования высоколокального СВЧ разогрева тонких пленок полупроводников и диэлектриков на высокоомной подложке кремния. Сравнение с ранее опубликованными нами результатами исследования разогрева кремниевых подложек показывает, что в связи с высокой тепло...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Физическая инженерия поверхности
Datum:	2015
Hauptverfasser:	Гордиенко, Ю.Е., Пятайкина, М.И., Полищук, А.В.
Format:	Artikel
Sprache:	Russisch
Veröffentlicht:	Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2015
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/108719
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	СВЧ высоколокальный сканирующий разогрев в технологии микро- и наноэлектроники / Ю.Е. Гордиенко, М.И. Пятайкина, А.В. Полищук // Физическая инженерия поверхности. — 2015. — Т. 13, № 2. — С. 209-217. — Бібліогр.: 19 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Ähnliche Einträge

Синтез и исследование силикатных золь–гель-покрытий для микро- и наноэлектроники
von: Васькевич, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Сканирующий ионный гелиевый микроскоп
von: Петров, Ю.В.
Veröffentlicht: (2012)

Модель линии передачи для наноэлектроники
von: Нелин, Е.А.
Veröffentlicht: (2009)

Разогрев электронов и дырок в несимметричном p-n-переходе, находящемся в СВЧ поле
von: Дадамирзаев, М.Г.
Veröffentlicht: (2013)

Сканирующий эллипсометр на базе гониометра с автоколлимационной трубой
von: Свиридов, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Источник бескапельных плазменных потоков для наноэлектроники
von: Борисенко, А.Г.
Veröffentlicht: (2013)

Источник бескапельных плазменных потоков для наноэлектроники
von: Borisenko, A. G.
Veröffentlicht: (2013)

Основные положения теории высоколокального сканирующего СВЧ нагрева полупроводников и диэлектриков
von: Гордиенко, Ю.Е., et al.
Veröffentlicht: (2015)

СВЧ диэлектрическая проницаемость дисперсных влагосодержащих сред
von: Хаммуд, Ф.М., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Вынужденные колебания и диссипативный разогрев ферромагнитного слоя
von: Карнаухов, В.Г., et al.
Veröffentlicht: (1999)

Вынужденные резонансные изгибные колебания и диссипативный разогрев вязкоупругой прямоугольной толстой плиты
von: Сичко, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Автоматизированный сканирующий астрономический комплекс, работающий параллельно и независимо в двух спектральных диапазонах
von: Вдовиченко, В.Д., et al.
Veröffentlicht: (1991)

Основные положения государственной программы развития техники и технологий СВЧ на 2005-2009 гг. в Украине
von: Луговский, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Новое технологическое оборудование для инновационных технологий микро-, нано- и радиоэлектроники
von: Одиноков, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Десятилетие конференции "СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии"
von: Ермолов, П.П.
Veröffentlicht: (2001)

Плазменные СВЧ технологии в процессах инженерии поверхности
von: Достанко, А.П., et al.
Veröffentlicht: (2003)

Вынужденные осесимметричные колебания и разогрев термовязкоупругих цилиндрических оболочек с пьезоактуаторами
von: Киричок, И.Ф., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Разогрев пучков металлических углеродных нанотрубок в режиме проводимости жидкости Латтинжера
von: Данильченко, Б.А., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Вынужденные резонансные колебания и диссипативный разогрев тел вращения из вязкоупругого пьезоэлектрического материала
von: Карнаухов, В.Г., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Резонансные колебания и диссипативный разогрев пьезоэлектрических сферических оболочек с учетом явления тепловой деполяризации
von: Венгренюк, Ю.А., et al.
Veröffentlicht: (1999)

Метод неравновесных функций Грина в матричном представлении: модельные транспортные задачи наноэлектроники в концепции снизу–вверх
von: Кругляк, Ю.А.
Veröffentlicht: (2015)

Свойства и перспективы применения искусственных ферронаномагнетиков в области СВЧ
von: Пономаренко, А.Т., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Свойства и перспективы применения искусственных ферронаномагнетиков в области СВЧ
von: Пономаренко, А.Т., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Вынужденные резонансные колебания и диссипативный разогрев вязкоупругих оболочек вращения с независящими от температуры свойствами в уточненной постановке
von: Карнаухов, В.Г., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Влияние предварительного нагружения на резонансные колебания и диссипативный разогрев прямоугольной термовязкоупругой пластины
von: Жук, Я.А., et al.
Veröffentlicht: (2020)

Многослойные одно- и двухкомпонентные металлические микро- и нанокомпозиты. Их механические свойства и структура
von: Коржов, В.П., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Микро- и наноиндентирование пиролитических карбидохромовых покрытий
von: Крохмаль, С.А., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Модель линии передачи для наноэлектроники
von: Nelin, E. A.
Veröffentlicht: (2009)

Влияние электромагнитных полей на формирование биоценоза макро- и микроорганизмов в условиях интенсивных технологий производства
von: Муляк, С.В.
Veröffentlicht: (2010)

Влияние физической нелинейности на резонансные колебания и диссипативный разогрев жестко опертой толстостенной вязкоупругой цилиндрической панели
von: Карнаухов, В.Г., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Вынужденные колебания и диссипативный разогрев биморфной прямоугольной шарнирно опертой пластины с разомкнутыми электродами
von: Карнаухова, Т.В.
Veröffentlicht: (2018)

Развитие полупроводниковых СВЧ-технологий в НИИ «Орион» (к пятидесятилетию НИИ «Орион»)
von: Болтовец, Н.С., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Теплофизические характеристики высокотеплопроводных полимерных микро- и нанокомпозитов
von: Долинский, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Концепция развития СВЧ полупроводниковой элементной базы в Украине
von: Падалко, В.Г., et al.
Veröffentlicht: (1999)

Некоторые аспекты организации производства в условиях современного микро-завода
von: Смирнов, А.Н., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Активное термостатирование полупроводниковых СВЧ-генераторов
von: Кравченко, А.В., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Многоуровневая оптическая память на микро- и наноразмерных структурах
von: Demyohin, V. V., et al.
Veröffentlicht: (2004)

Многоуровневая оптическая память на микро- и наноразмерных структурах
von: Демёхин, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2004)

Микро- и наносекундные разряды в газовых пузырях для обеззараживания и очистки воды
von: Бойко, Н.И., et al.
Veröffentlicht: (2019)

Вынужденные резонансные колебания и диссипативный разогрев трехслойной толстостенной шарнирно опертой вязкоупругой цилиндрической панели с независящими от температуры свойствами
von: Козлов, В.И., et al.
Veröffentlicht: (2010)