Зображення обкладинки

СВЧ высоколокальный сканирующий разогрев в технологии микро- и наноэлектроники

В статье представлены результаты численного исследования высоколокального СВЧ разогрева тонких пленок полупроводников и диэлектриков на высокоомной подложке кремния. Сравнение с ранее опубликованными нами результатами исследования разогрева кремниевых подложек показывает, что в связи с высокой тепло...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Физическая инженерия поверхности
Дата:	2015
Автори:	Гордиенко, Ю.Е., Пятайкина, М.И., Полищук, А.В.
Формат:	Стаття
Мова:	Російська
Опубліковано:	Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2015
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/108719
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	СВЧ высоколокальный сканирующий разогрев в технологии микро- и наноэлектроники / Ю.Е. Гордиенко, М.И. Пятайкина, А.В. Полищук // Физическая инженерия поверхности. — 2015. — Т. 13, № 2. — С. 209-217. — Бібліогр.: 19 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Синтез и исследование силикатных золь–гель-покрытий для микро- и наноэлектроники
за авторством: Васькевич, В.В., та інші
Опубліковано: (2014)

Сканирующий ионный гелиевый микроскоп
за авторством: Петров, Ю.В.
Опубліковано: (2012)

Модель линии передачи для наноэлектроники
за авторством: Нелин, Е.А.
Опубліковано: (2009)

Источник бескапельных плазменных потоков для наноэлектроники
за авторством: Борисенко, А.Г.
Опубліковано: (2013)

Источник бескапельных плазменных потоков для наноэлектроники
за авторством: Borisenko, A. G.
Опубліковано: (2013)

Вынужденные резонансные изгибные колебания и диссипативный разогрев вязкоупругой прямоугольной толстой плиты
за авторством: Сичко, В.М., та інші
Опубліковано: (2010)

СВЧ диэлектрическая проницаемость дисперсных влагосодержащих сред
за авторством: Хаммуд, Ф.М., та інші
Опубліковано: (2005)

Автоматизированный сканирующий астрономический комплекс, работающий параллельно и независимо в двух спектральных диапазонах
за авторством: Вдовиченко, В.Д., та інші
Опубліковано: (1991)

Основные положения государственной программы развития техники и технологий СВЧ на 2005-2009 гг. в Украине
за авторством: Луговский, В.В., та інші
Опубліковано: (2005)

Новое технологическое оборудование для инновационных технологий микро-, нано- и радиоэлектроники
за авторством: Одиноков, В.В., та інші
Опубліковано: (2011)

Десятилетие конференции "СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии"
за авторством: Ермолов, П.П.
Опубліковано: (2001)

Вынужденные осесимметричные колебания и разогрев термовязкоупругих цилиндрических оболочек с пьезоактуаторами
за авторством: Киричок, И.Ф., та інші
Опубліковано: (2010)

Разогрев пучков металлических углеродных нанотрубок в режиме проводимости жидкости Латтинжера
за авторством: Данильченко, Б.А., та інші
Опубліковано: (2011)

Плазменные СВЧ технологии в процессах инженерии поверхности
за авторством: Достанко, А.П., та інші
Опубліковано: (2003)

Вынужденные резонансные колебания и диссипативный разогрев вязкоупругих оболочек вращения с независящими от температуры свойствами в уточненной постановке
за авторством: Карнаухов, В.Г., та інші
Опубліковано: (2010)

Свойства и перспективы применения искусственных ферронаномагнетиков в области СВЧ
за авторством: Пономаренко, А.Т., та інші
Опубліковано: (2011)

Свойства и перспективы применения искусственных ферронаномагнетиков в области СВЧ
за авторством: Пономаренко, А.Т., та інші
Опубліковано: (2011)

Влияние физической нелинейности на резонансные колебания и диссипативный разогрев жестко опертой толстостенной вязкоупругой цилиндрической панели
за авторством: Карнаухов, В.Г., та інші
Опубліковано: (2010)

Влияние электромагнитных полей на формирование биоценоза макро- и микроорганизмов в условиях интенсивных технологий производства
за авторством: Муляк, С.В.
Опубліковано: (2010)

Вынужденные колебания и диссипативный разогрев биморфной прямоугольной шарнирно опертой пластины с разомкнутыми электродами
за авторством: Карнаухова, Т.В.
Опубліковано: (2018)

Модель линии передачи для наноэлектроники
за авторством: Nelin, E. A.
Опубліковано: (2009)

Развитие полупроводниковых СВЧ-технологий в НИИ «Орион» (к пятидесятилетию НИИ «Орион»)
за авторством: Болтовец, Н.С., та інші
Опубліковано: (2011)

Теплофизические характеристики высокотеплопроводных полимерных микро- и нанокомпозитов
за авторством: Долинский, А.А., та інші
Опубліковано: (2015)

Концепция развития СВЧ полупроводниковой элементной базы в Украине
за авторством: Падалко, В.Г., та інші
Опубліковано: (1999)

Вынужденные резонансные колебания и диссипативный разогрев трехслойной толстостенной шарнирно опертой вязкоупругой цилиндрической панели с независящими от температуры свойствами
за авторством: Козлов, В.И., та інші
Опубліковано: (2010)

Микро- и наносекундные разряды в газовых пузырях для обеззараживания и очистки воды
за авторством: Бойко, Н.И., та інші
Опубліковано: (2019)

Активное термостатирование полупроводниковых СВЧ-генераторов
за авторством: Кравченко, А.В., та інші
Опубліковано: (2005)

Применение метода спектральной интерферометрии для измерения микро- и нанорасстояний
за авторством: Лукин, К.А., та інші
Опубліковано: (2011)

Однокристальная микро-ЭВМ с аналого-цифровым преобразователем
за авторством: Вербицкий, В.Г., та інші
Опубліковано: (2001)

Смесительно-детекторные и умножительные диоды для смесителей приемных устройств СВЧ
за авторством: Бобженко, С.В., та інші
Опубліковано: (2003)

Вынужденные колебания и диссипативный разогрев гибких вязкоупругих прямоугольных шарнирно опертых пластин с актуаторами при учете деформаций поперечного сдвига
за авторством: Карнаухов, В.Г., та інші
Опубліковано: (2018)

ТЕПЛОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПОЛИМЕРНЫХ МИКРО- И НАНОКОМПОЗИТОВ НА ОСНОВЕ ПОЛИКАРБОНАТА
за авторством: Dolinskiy, A. A., та інші
Опубліковано: (2015)

Теплофизические свойства полимерных микро- и нанокомпозитов на основе поликарбоната
за авторством: Долинский, А.А., та інші
Опубліковано: (2015)

Микро- и нанотехнологии соединения прецизионных деталей оптико-электронных приборов
за авторством: Маслов, В.П.
Опубліковано: (2009)

Коллоидно-биохимический механизм взаимодействия клетки с микро- и наночастицами
за авторством: Ульберг, З.Р., та інші
Опубліковано: (2014)

Электрогенераторы с постоянными магнитами для ветроустановок и микро-ГЭС
за авторством: Гребеников, В.В.
Опубліковано: (2011)

Металлические микро- и наночастицы в процессах разделения порошков сверхтвёрдых материалов
за авторством: Новиков, Н.В., та інші
Опубліковано: (2009)

Учёт рассеяния в обобщённой модели транспорта электронов в микро- и наноэлектронике
за авторством: Кругляк, Ю.А.
Опубліковано: (2016)

Эколого-морфологическая структура микро-фитобентоса Русановского пролива (Украина)
за авторством: Давыдов, О.А., та інші
Опубліковано: (2014)

Использование микро- и нанодисперсного алмаза для осаждения поликристаллических алмазных пленок в тлеющем разряде
за авторством: Выровец, И.И., та інші
Опубліковано: (2007)