Зыков, А., Дудин, С., & Яковин, С. (2015). Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления. Физическая инженерия поверхности.
Chicago Style (17th ed.) CitationЗыков, А.В, С.В Дудин, and С.Д Яковин. "Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления." Физическая инженерия поверхности 2015.
MLA (8th ed.) CitationЗыков, А.В, et al. "Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления." Физическая инженерия поверхности, 2015.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.