Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления

• Published in: Физическая инженерия поверхности
• Date: 2015
• Main Authors: Зыков, А.В., Дудин, С.В., Яковин, С.Д.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2015
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/108726
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления / А.В. Зыков, С.В. Дудин, С.Д. Яковин // Физическая инженерия поверхности. — 2015. — Т. 13, № 2. — С. 264-275. — Бібліогр.: 23 назв. — рос.

Проведены экспериментальные исследования стационарных режимов, а также порогов погасания магнетронного разряда с управляемым по величине и топологии магнитным полем. Предложено объяснение полученных результатов на основании пространственно-усредненной модели газового разряда с объемной ионизацией, адаптированной для магнетронного разряда. Проведені експериментальні дослідження стаціонарних режимів, а також порогів згасання магнетронного розряду з керованим за величиною і топології магнітним полем. Запропоновано пояснення отриманих результатів на підставі просторово-усередненої моделі газового розряду з об’ємною іонізацією, адаптованої для магнетронного розряду. The experimental research of stationary regimes and extinction thresholds of magnetron discharge with controlled size and topology of the magnetic field lines has been carried out. An explanation of the obtained results basing on the space-averaged model of gas discharge with spatial ionization adapted for magnetron discharge is presented.