Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления
Проведены экспериментальные исследования стационарных режимов, а также порогов погасания магнетронного разряда с управляемым по величине и топологии магнитным полем. Предложено объяснение полученных результатов на основании пространственно-усредненной модели газового разряда с объемной ионизацией, а...
Saved in:
| Published in: | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Date: | 2015 |
| Main Authors: | , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2015
|
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/108726 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления / А.В. Зыков, С.В. Дудин, С.Д. Яковин // Физическая инженерия поверхности. — 2015. — Т. 13, № 2. — С. 264-275. — Бібліогр.: 23 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862727246479884288 |
|---|---|
| author | Зыков, А.В. Дудин, С.В. Яковин, С.Д. |
| author_facet | Зыков, А.В. Дудин, С.В. Яковин, С.Д. |
| citation_txt | Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления / А.В. Зыков, С.В. Дудин, С.Д. Яковин // Физическая инженерия поверхности. — 2015. — Т. 13, № 2. — С. 264-275. — Бібліогр.: 23 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Физическая инженерия поверхности |
| description | Проведены экспериментальные исследования стационарных режимов, а также порогов погасания магнетронного разряда с управляемым по величине и топологии магнитным полем. Предложено объяснение полученных результатов на основании пространственно-усредненной модели газового разряда с объемной ионизацией, адаптированной для магнетронного разряда.
Проведені експериментальні дослідження стаціонарних режимів, а також порогів згасання магнетронного розряду з керованим за величиною і топології магнітним полем. Запропоновано пояснення отриманих результатів на підставі просторово-усередненої моделі газового розряду з об’ємною іонізацією, адаптованої для магнетронного розряду.
The experimental research of stationary regimes and extinction thresholds of magnetron discharge with controlled size and topology of the magnetic field lines has been carried out. An explanation of the obtained results basing on the space-averaged model of gas discharge with spatial ionization adapted for magnetron discharge is presented.
|
| first_indexed | 2025-12-07T19:02:23Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-108726 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1999-8074 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T19:02:23Z |
| publishDate | 2015 |
| publisher | Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Зыков, А.В. Дудин, С.В. Яковин, С.Д. 2016-11-14T18:27:40Z 2016-11-14T18:27:40Z 2015 Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления / А.В. Зыков, С.В. Дудин, С.Д. Яковин // Физическая инженерия поверхности. — 2015. — Т. 13, № 2. — С. 264-275. — Бібліогр.: 23 назв. — рос. 1999-8074 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/108726 533.9 Проведены экспериментальные исследования стационарных режимов, а также порогов погасания магнетронного разряда с управляемым по величине и топологии магнитным полем. Предложено объяснение полученных результатов на основании пространственно-усредненной модели газового разряда с объемной ионизацией, адаптированной для магнетронного разряда. Проведені експериментальні дослідження стаціонарних режимів, а також порогів згасання магнетронного розряду з керованим за величиною і топології магнітним полем. Запропоновано пояснення отриманих результатів на підставі просторово-усередненої моделі газового розряду з об’ємною іонізацією, адаптованої для магнетронного розряду. The experimental research of stationary regimes and extinction thresholds of magnetron discharge with controlled size and topology of the magnetic field lines has been carried out. An explanation of the obtained results basing on the space-averaged model of gas discharge with spatial ionization adapted for magnetron discharge is presented. ru Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України Физическая инженерия поверхности Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления Стаціонарні режими магнетронного розряду низького тиску Steady-state regimes of low-pressure magnetron discharge Article published earlier |
| spellingShingle | Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления Зыков, А.В. Дудин, С.В. Яковин, С.Д. |
| title | Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления |
| title_alt | Стаціонарні режими магнетронного розряду низького тиску Steady-state regimes of low-pressure magnetron discharge |
| title_full | Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления |
| title_fullStr | Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления |
| title_full_unstemmed | Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления |
| title_short | Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления |
| title_sort | стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/108726 |
| work_keys_str_mv | AT zykovav stacionarnyerežimymagnetronnogorazrâdanizkogodavleniâ AT dudinsv stacionarnyerežimymagnetronnogorazrâdanizkogodavleniâ AT âkovinsd stacionarnyerežimymagnetronnogorazrâdanizkogodavleniâ AT zykovav stacíonarnírežimimagnetronnogorozrâdunizʹkogotisku AT dudinsv stacíonarnírežimimagnetronnogorozrâdunizʹkogotisku AT âkovinsd stacíonarnírežimimagnetronnogorozrâdunizʹkogotisku AT zykovav steadystateregimesoflowpressuremagnetrondischarge AT dudinsv steadystateregimesoflowpressuremagnetrondischarge AT âkovinsd steadystateregimesoflowpressuremagnetrondischarge |