Зображення обкладинки

Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления

Проведены экспериментальные исследования стационарных режимов, а также порогов погасания магнетронного разряда с управляемым по величине и топологии магнитным полем. Предложено объяснение полученных результатов на основании пространственно-усредненной модели газового разряда с объемной ионизацией, а...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Физическая инженерия поверхности
Дата:	2015
Автори:	Зыков, А.В., Дудин, С.В., Яковин, С.Д.
Формат:	Стаття
Мова:	Російська
Опубліковано:	Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2015
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/108726
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления / А.В. Зыков, С.В. Дудин, С.Д. Яковин // Физическая инженерия поверхности. — 2015. — Т. 13, № 2. — С. 264-275. — Бібліогр.: 23 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Диссоциативный режим ВЧ емкостного разряда низкого давления
за авторством: Лисовский, В.А.
Опубліковано: (2006)

Условия появления нормального режима разряда постоянного тока низкого давления
за авторством: Лисовский, В.А., та інші
Опубліковано: (2006)

Испарение макрочастиц в плазме сильноточного импульсного дугового разряда низкого давления
за авторством: Бизюков, А.А., та інші
Опубліковано: (2006)

Стационарные режимы сферического маятника с подвижной точкой подвеса
за авторством: Неспирный, В.Н., та інші
Опубліковано: (2011)

Пробой и поддержание разряда в газе низкого давления СВЧ-излучением со стохастически прыгающей фазой (i)
за авторством: Карась, В.И., та інші
Опубліковано: (2006)

Потоки плазмы стационарной дуги низкого давления
за авторством: Хороших, В.М.
Опубліковано: (2005)

Разработка и исследование макета низкочастотного источника питания сильноточного импульсного магнетронного разряда
за авторством: Гришкевич, А.Д., та інші
Опубліковано: (2019)

Азотирование сталей в газовом дуговом разряде низкого давления
за авторством: Андреев, А.А., та інші
Опубліковано: (2006)

Очистка воды от нитратов методом обратного осмоса низкого давления
за авторством: Гончарук, В.В., та інші
Опубліковано: (2013)

О выборе формы проточной части высоконагруженной турбины низкого давления
за авторством: Хомылев, С.А., та інші
Опубліковано: (2012)

Эмиссионные характеристики металлогидридных электродов в газовых разрядах низкого давления
за авторством: Афанасьева, И.А., та інші
Опубліковано: (2008)

Модификация полиэтилена низкого давления в присутствии 9, 10-фенантренхинона
за авторством: Пацула, О.В., та інші
Опубліковано: (1983)

Стационарные аккреционно-струйные течения
за авторством: Морозов, А.Г., та інші
Опубліковано: (1989)

Разряд низкого давления, индуцированный микроволновым излучением со стохастическими скачками фазы
за авторством: Алисов, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2010)

Автоматизированная система оперативного контроля процесса плазмохимического травления в реакторе на базе ВЧ индукционного разряда
за авторством: Дудин, С.В.
Опубліковано: (2006)

Пространственное распределение потоков частиц в стационарном дуговом разряде низкого давления
за авторством: Хороших, В.М., та інші
Опубліковано: (2004)

Очистка вод, содержащих фтор, обратным осмосом низкого давления для их комплексной переработки
за авторством: Гончарук, В.В., та інші
Опубліковано: (2013)

Высокочастотные разряды низкого давления в технологии малоэнергоемкого вакуумно-плазменного травления микроструктур
за авторством: Фареник, В.И.
Опубліковано: (2004)

Исследования и разработка технологических систем на базе ВЧ индукционного разряда для реактивного ионно-плазменного травления микро- и наноструктур
за авторством: Дудин, С.В.
Опубліковано: (2009)

Іонно-плазмова система для реактивного магнетронного нанесення покриттів
за авторством: Яковін, С.Д., та інші
Опубліковано: (2014)

Эрозия катода и расход массы катодного материала в стационарной дуге низкого давления
за авторством: Хороших, В.М.
Опубліковано: (2004)

Нестационарная стадия тлеющего разряда при положительной полярности атмосферного давления
за авторством: Бруев, A.A., та інші
Опубліковано: (2000)

Оценка степени диссоциации молекулярного водорода в импульсно-периодическом высокочастотном разряде низкого давления
за авторством: Крышталь, П.Г., та інші
Опубліковано: (2006)

Стационарные осесимметричные аккреционные течения вещества с радиационным давлением
за авторством: Морозов, А.Г., та інші
Опубліковано: (1990)

Стационарные распределения в моделях управления запасами
за авторством: Демченко, И.Ю.
Опубліковано: (2016)

Динамические режимы электромагнитного вибратора
за авторством: Виштак, Т.В., та інші
Опубліковано: (2011)

ДИНАМИЧЕСКИЕ РЕЖИМЫ ЭЛЕКТРОМАГНИТНОГО ВИБРАТОРА
за авторством: Виштак, Т.В., та інші
Опубліковано: (2011)

Стационарные токи фарадеевского выпрямления при контролируемом потенциале
за авторством: Черненко, В.И., та інші
Опубліковано: (1984)

О пробое в коаксиальном волноводе атомарного газа низкого давления микроволновым излучением со стохастически прыгающей фазой
за авторством: Загребельный, И.А., та інші
Опубліковано: (2008)

Малозатратная модернизация цилиндра низкого давления турбины К-300-240 с учетом переменного режима функционирования турбоагрегата
за авторством: Тарелин, А.А., та інші
Опубліковано: (2006)

Стационарные волны в двухслойном течении с вертикальным сдвигом скорости
за авторством: Билюнас, М.В., та інші
Опубліковано: (2014)

Стационарные состояния квазиодномерной магнитной системы со структурой "гребенки"
за авторством: Езерская, Е.В.
Опубліковано: (1995)

Технологические особенности DC и RF магнетронного распыл
за авторством: Буранич, В.В., та інші
Опубліковано: (2018)

Разработка мероприятий по повышению эффективности части низкого давления турбины К-300-240 при работе в условиях энергорынка
за авторством: Тарелин, А.А., та інші
Опубліковано: (2007)

Энергоэффективные режимы работы электромеханических систем ленточных конвейеров
за авторством: Печеник, Н.В., та інші
Опубліковано: (2014)

Влияние примесей меди на свойства плазмы и контракцию дугового разряда высокого давления
за авторством: Порицкий, П.В.
Опубліковано: (2005)

Тепловые режимы формирования омических контактов к арсениду галлия
за авторством: Иващук, А.В.
Опубліковано: (2000)

Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией
за авторством: Дудин, С.В., та інші
Опубліковано: (2010)

ЭНЕРГОЭФФЕКТИВНЫЕ РЕЖИМЫ РАБОТЫ ЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИХ СИСТЕМ ЛЕНТОЧНЫХ КОНВЕЙЕРОВ
за авторством: Печеник, Н.В., та інші
Опубліковано: (2014)

Стационарные волны в потоке однородной жидкости с вертикальным сдвигом скорости
за авторством: Билюнас, М.В., та інші
Опубліковано: (2010)