Buchumschlag

Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления

Проведены экспериментальные исследования стационарных режимов, а также порогов погасания магнетронного разряда с управляемым по величине и топологии магнитным полем. Предложено объяснение полученных результатов на основании пространственно-усредненной модели газового разряда с объемной ионизацией, а...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Физическая инженерия поверхности
Datum:	2015
Hauptverfasser:	Зыков, А.В., Дудин, С.В., Яковин, С.Д.
Format:	Artikel
Sprache:	Russisch
Veröffentlicht:	Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2015
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/108726
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления / А.В. Зыков, С.В. Дудин, С.Д. Яковин // Физическая инженерия поверхности. — 2015. — Т. 13, № 2. — С. 264-275. — Бібліогр.: 23 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Ähnliche Einträge

Диссоциативный режим ВЧ емкостного разряда низкого давления
von: Лисовский, В.А.
Veröffentlicht: (2006)

Условия появления нормального режима разряда постоянного тока низкого давления
von: Лисовский, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Испарение макрочастиц в плазме сильноточного импульсного дугового разряда низкого давления
von: Бизюков, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Стационарные режимы сферического маятника с подвижной точкой подвеса
von: Неспирный, В.Н., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Потоки плазмы стационарной дуги низкого давления
von: Хороших, В.М.
Veröffentlicht: (2005)

Разработка и исследование макета низкочастотного источника питания сильноточного импульсного магнетронного разряда
von: Гришкевич, А.Д., et al.
Veröffentlicht: (2019)

Очистка воды от нитратов методом обратного осмоса низкого давления
von: Гончарук, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Эмиссионные характеристики металлогидридных электродов в газовых разрядах низкого давления
von: Афанасьева, И.А., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Модификация полиэтилена низкого давления в присутствии 9, 10-фенантренхинона
von: Пацула, О.В., et al.
Veröffentlicht: (1983)

Стационарные аккреционно-струйные течения
von: Морозов, А.Г., et al.
Veröffentlicht: (1989)

Разряд низкого давления, индуцированный микроволновым излучением со стохастическими скачками фазы
von: Алисов, А.Ф., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Очистка вод, содержащих фтор, обратным осмосом низкого давления для их комплексной переработки
von: Гончарук, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Высокочастотные разряды низкого давления в технологии малоэнергоемкого вакуумно-плазменного травления микроструктур
von: Фареник, В.И.
Veröffentlicht: (2004)

Исследования и разработка технологических систем на базе ВЧ индукционного разряда для реактивного ионно-плазменного травления микро- и наноструктур
von: Дудин, С.В.
Veröffentlicht: (2009)

Іонно-плазмова система для реактивного магнетронного нанесення покриттів
von: Яковін, С.Д., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Эрозия катода и расход массы катодного материала в стационарной дуге низкого давления
von: Хороших, В.М.
Veröffentlicht: (2004)

Нестационарная стадия тлеющего разряда при положительной полярности атмосферного давления
von: Бруев, A.A., et al.
Veröffentlicht: (2000)

Оценка степени диссоциации молекулярного водорода в импульсно-периодическом высокочастотном разряде низкого давления
von: Крышталь, П.Г., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Стационарные осесимметричные аккреционные течения вещества с радиационным давлением
von: Морозов, А.Г., et al.
Veröffentlicht: (1990)

Стационарные распределения в моделях управления запасами
von: Демченко, И.Ю.
Veröffentlicht: (2016)

О пробое в коаксиальном волноводе атомарного газа низкого давления микроволновым излучением со стохастически прыгающей фазой
von: Загребельный, И.А., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Малозатратная модернизация цилиндра низкого давления турбины К-300-240 с учетом переменного режима функционирования турбоагрегата
von: Тарелин, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Динамические режимы электромагнитного вибратора
von: Виштак, Т.В., et al.
Veröffentlicht: (2011)

ДИНАМИЧЕСКИЕ РЕЖИМЫ ЭЛЕКТРОМАГНИТНОГО ВИБРАТОРА
von: Виштак, Т.В., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Технологические особенности DC и RF магнетронного распыл
von: Буранич, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Разработка мероприятий по повышению эффективности части низкого давления турбины К-300-240 при работе в условиях энергорынка
von: Тарелин, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией
von: Дудин, С.В., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Свойства диспергирующих альвеновских волн. 1. Кинетика (плазма очень низкого, промежуточного и низкого давлений)
von: Маловичко, П.П.
Veröffentlicht: (2013)

Свойства диспергирующих альвеновских волн. 3. Гидродинамика (плазма очень низкого, промежуточного и низкого давлений)
von: Маловичко, П.П.
Veröffentlicht: (2014)

Стационарные волны в потоке однородной жидкости с вертикальным сдвигом скорости
von: Билюнас, М.В., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Энергоэффективные режимы работы электромеханических систем ленточных конвейеров
von: Печеник, Н.В., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Тепловые режимы формирования омических контактов к арсениду галлия
von: Иващук, А.В.
Veröffentlicht: (2000)

Плазмодинамические особенности цилиндрических газовых разрядов магнетронного типа
von: Гончаров, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2008)

ЭНЕРГОЭФФЕКТИВНЫЕ РЕЖИМЫ РАБОТЫ ЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИХ СИСТЕМ ЛЕНТОЧНЫХ КОНВЕЙЕРОВ
von: Печеник, Н.В., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Создание универсального учебного стенда для исследования аппаратов низкого напряжения
von: Годжелло, А.Г., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Интегрируемость уравнений Риккати и стационарные уравнения Кортевега-де Фриса
von: Жданов, Р.З.
Veröffentlicht: (1999)

О приоритете создания магнетронного генератора высокочастотных колебаний
von: Глебова, А.Н.
Veröffentlicht: (2016)

Исследование явления запаздывания зажигания высоковольтного тлеющего разряда для повышения рабочего давления газоразрядных электронных пушек
von: Тутык, В.А.
Veröffentlicht: (2008)

Конденсаторы для компенсации реактивной мощности по МКР-технологии: режимы работы и контроль технологии
von: Беспрозванных, А.В., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Спектрофотометр низкого разрешения для быстрой спектрометрии и фотометрии звезд
von: Жиляев, Б.Е., et al.
Veröffentlicht: (2009)