(2015). К 40-летию начала исследований в области плазменных технологий в микроэлектронике на физико-техническом факультете Харьковского университета. Физическая инженерия поверхности.
Chicago Style (17th ed.) Citation"К 40-летию начала исследований в области плазменных технологий в микроэлектронике на физико-техническом факультете Харьковского университета." Физическая инженерия поверхности 2015.
MLA (8th ed.) Citation"К 40-летию начала исследований в области плазменных технологий в микроэлектронике на физико-техническом факультете Харьковского университета." Физическая инженерия поверхности, 2015.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.