К 40-летию начала исследований в области плазменных технологий в микроэлектронике на физико-техническом факультете Харьковского университета
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Datum: | 2015 |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2015
|
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/108727 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | К 40-летию начала исследований в области плазменных технологий в микроэлектронике на физико-техническом факультете Харьковского университета // Физическая инженерия поверхности. — 2015. — Т. 13, № 2. — С. 276-281. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-108727 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
2016-11-14T18:28:40Z 2016-11-14T18:28:40Z 2015 К 40-летию начала исследований в области плазменных технологий в микроэлектронике на физико-техническом факультете Харьковского университета // Физическая инженерия поверхности. — 2015. — Т. 13, № 2. — С. 276-281. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. 1999-8074 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/108727 Из воспоминаний В. И. Фареника ru Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України Физическая инженерия поверхности К 40-летию начала исследований в области плазменных технологий в микроэлектронике на физико-техническом факультете Харьковского университета Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
К 40-летию начала исследований в области плазменных технологий в микроэлектронике на физико-техническом факультете Харьковского университета |
| spellingShingle |
К 40-летию начала исследований в области плазменных технологий в микроэлектронике на физико-техническом факультете Харьковского университета |
| title_short |
К 40-летию начала исследований в области плазменных технологий в микроэлектронике на физико-техническом факультете Харьковского университета |
| title_full |
К 40-летию начала исследований в области плазменных технологий в микроэлектронике на физико-техническом факультете Харьковского университета |
| title_fullStr |
К 40-летию начала исследований в области плазменных технологий в микроэлектронике на физико-техническом факультете Харьковского университета |
| title_full_unstemmed |
К 40-летию начала исследований в области плазменных технологий в микроэлектронике на физико-техническом факультете Харьковского университета |
| title_sort |
к 40-летию начала исследований в области плазменных технологий в микроэлектронике на физико-техническом факультете харьковского университета |
| publishDate |
2015 |
| language |
Russian |
| container_title |
Физическая инженерия поверхности |
| publisher |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| format |
Article |
| issn |
1999-8074 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/108727 |
| citation_txt |
К 40-летию начала исследований в области плазменных технологий в микроэлектронике на физико-техническом факультете Харьковского университета // Физическая инженерия поверхности. — 2015. — Т. 13, № 2. — С. 276-281. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
| first_indexed |
2025-12-07T21:13:59Z |
| last_indexed |
2025-12-07T21:13:59Z |
| _version_ |
1850885578942316544 |