Основные положения теории высоколокального сканирующего СВЧ нагрева полупроводников и диэлектриков

• Published in: Физическая инженерия поверхности
• Date: 2015
• Main Authors: Гордиенко, Ю.Е., Щербак, Е.Л., Левченко, А.В.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2015
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/108764
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Основные положения теории высоколокального сканирующего СВЧ нагрева полупроводников и диэлектриков м/ Ю.Е. Гордиенко, Е.Л. Щербак, А.В. Левченко // Физическая инженерия поверхности. — 2015. — Т. 13, № 3. — С. 348-355. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.

В работе развиты предшествующие теоретические и экспериментальные исследования локального СВЧ нагрева полупроводников, диэлектриков и биообъектов. В результате сформулированы положения, оценивающие зависимость кинетики и локальности нагрева от длительности воздействующего СВЧ импульса, термодинамиче...