Измерительное плечо интерферометра миллиметрового диапазона для контроля толщины тонких диэлектрических пленок - Буданов, В.Е.; Суслов, Н.Н.; Шубенко, А.Л.; Степанов, В.Ю. (Інститут радіофізики і електроніки ім. А.Я. Усикова НАН України, 2007)
Исследуется новый волноведущий тракт, состоящий из плоскопараллельного открытого волновода и двух секторных рупоров специальной геометрии, который при использовании его в составе измерительного плеча интерферометра 4-мм диапазона
обеспечивает возможность субмикронной разрешающей способности при бесконтактном контроле толщины тонких диэлектрических пленок в процессе их производства. Досліджується запропонований новий хвильоведучий тракт, що складається із плоскопаралельного відкритого
хвилеводу і двох секторних рупорів спеціальної геометрії,
який при використанні його у складі вимірювального плеча
інтерферометра 4-мм діапазону забезпечує можливість субмікронної розрізнювальної здатності при безконтактному контролі товщини тонких діелектричних плівок у процесі їх виробництва. The new wave guiding tract which is consist of the parallel plates
of open waveguide and two sector horns of special geometry,
which ones are provide in the measuring interferometer's shoulder
of an submillimeter resolving capacity in the 4-mm waveband at
the contact less thickness dielectric films control during their production
is under consideration.