Оптимизация эксплуатационных характеристик преобразователей на основе поверхностного плазмонного резонанса
Проведен анализ технологических условий изготовления преобразователей на основе ППР: тип подложки для пленки золота (кварц/стекло), наличие подслоя (Cr), улучшающего адгезию пленки золота к подложке, а также низкотемпературный отжиг пленки золота. С учетом результатов структурных исследований сделан...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Оптоэлектроника и полупроводниковая техника |
|---|---|
| Datum: | 2014 |
| Hauptverfasser: | , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2014
|
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/108926 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Оптимизация эксплуатационных характеристик преобразователей на основе поверхностного плазмонного резонанса / Е.В. Костюкевич, С.А. Костюкевич // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника: Сб. научн. тр. — 2014. — Вип. 49. — С. 60-68. — Бібліогр.: 15 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862588291344236544 |
|---|---|
| author | Костюкевич, Е.В. Костюкевич, С.А. |
| author_facet | Костюкевич, Е.В. Костюкевич, С.А. |
| citation_txt | Оптимизация эксплуатационных характеристик преобразователей на основе поверхностного плазмонного резонанса / Е.В. Костюкевич, С.А. Костюкевич // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника: Сб. научн. тр. — 2014. — Вип. 49. — С. 60-68. — Бібліогр.: 15 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Оптоэлектроника и полупроводниковая техника |
| description | Проведен анализ технологических условий изготовления преобразователей на основе ППР: тип подложки для пленки золота (кварц/стекло), наличие подслоя (Cr), улучшающего адгезию пленки золота к подложке, а также низкотемпературный отжиг пленки золота. С учетом результатов структурных исследований сделан вывод о влиянии технологических условий на такие эксплуатационные характеристики сенсорных приборов ППР, как чувствительность и стабильность. Исследованы форма резонансной кривой ППР, долговременная стабильность значения резонансного угла и индикатриса рассеянного света. Показано, что применение температурного отжига золотых пленок при 120 С обеспечивает оптимальные рабочие характеристики и высокую чувствительность преобразователя ППР, а также бездефектное формирование защитных наноразмерных слоев благодаря отсутствию мелкомасштабной шероховатости поверхности.
Performed in this work is the analysis of technological conditions for manufacturing SPR transducers, namely: type of substrate for gold films (silica/glass), presence of sub-layer (Cr) improving gold film adhesion to the substrate, as well as low-temperature annealing of the gold coating. With account of results of morphological investigations, made is the conclusion concerning the influence of surface roughness on such operational characteristics of SPR sensors as sensitivity and stability. Also investigated were the shape of SPR resonance curve, long-term stability of the resonance angle value and indicatrix of scattered light. It has been shown that thermal annealing of gold films at the optimal temperature 120 С provides improved operation characteristics and high sensitivity of the SPR transducer as well as defectless formation of protective nanodimensional layers due to the absence of small-scale surface roughness.
|
| first_indexed | 2025-11-27T00:32:44Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-108926 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 0233-7577 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-11-27T00:32:44Z |
| publishDate | 2014 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Костюкевич, Е.В. Костюкевич, С.А. 2016-11-17T17:54:53Z 2016-11-17T17:54:53Z 2014 Оптимизация эксплуатационных характеристик преобразователей на основе поверхностного плазмонного резонанса / Е.В. Костюкевич, С.А. Костюкевич // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника: Сб. научн. тр. — 2014. — Вип. 49. — С. 60-68. — Бібліогр.: 15 назв. — рос. 0233-7577 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/108926 535.394 Проведен анализ технологических условий изготовления преобразователей на основе ППР: тип подложки для пленки золота (кварц/стекло), наличие подслоя (Cr), улучшающего адгезию пленки золота к подложке, а также низкотемпературный отжиг пленки золота. С учетом результатов структурных исследований сделан вывод о влиянии технологических условий на такие эксплуатационные характеристики сенсорных приборов ППР, как чувствительность и стабильность. Исследованы форма резонансной кривой ППР, долговременная стабильность значения резонансного угла и индикатриса рассеянного света. Показано, что применение температурного отжига золотых пленок при 120 С обеспечивает оптимальные рабочие характеристики и высокую чувствительность преобразователя ППР, а также бездефектное формирование защитных наноразмерных слоев благодаря отсутствию мелкомасштабной шероховатости поверхности. Performed in this work is the analysis of technological conditions for manufacturing SPR transducers, namely: type of substrate for gold films (silica/glass), presence of sub-layer (Cr) improving gold film adhesion to the substrate, as well as low-temperature annealing of the gold coating. With account of results of morphological investigations, made is the conclusion concerning the influence of surface roughness on such operational characteristics of SPR sensors as sensitivity and stability. Also investigated were the shape of SPR resonance curve, long-term stability of the resonance angle value and indicatrix of scattered light. It has been shown that thermal annealing of gold films at the optimal temperature 120 С provides improved operation characteristics and high sensitivity of the SPR transducer as well as defectless formation of protective nanodimensional layers due to the absence of small-scale surface roughness. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Оптоэлектроника и полупроводниковая техника Оптимизация эксплуатационных характеристик преобразователей на основе поверхностного плазмонного резонанса Optimization of operational characteristics inherent to transducers based on surface plasmon resonance Article published earlier |
| spellingShingle | Оптимизация эксплуатационных характеристик преобразователей на основе поверхностного плазмонного резонанса Костюкевич, Е.В. Костюкевич, С.А. |
| title | Оптимизация эксплуатационных характеристик преобразователей на основе поверхностного плазмонного резонанса |
| title_alt | Optimization of operational characteristics inherent to transducers based on surface plasmon resonance |
| title_full | Оптимизация эксплуатационных характеристик преобразователей на основе поверхностного плазмонного резонанса |
| title_fullStr | Оптимизация эксплуатационных характеристик преобразователей на основе поверхностного плазмонного резонанса |
| title_full_unstemmed | Оптимизация эксплуатационных характеристик преобразователей на основе поверхностного плазмонного резонанса |
| title_short | Оптимизация эксплуатационных характеристик преобразователей на основе поверхностного плазмонного резонанса |
| title_sort | оптимизация эксплуатационных характеристик преобразователей на основе поверхностного плазмонного резонанса |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/108926 |
| work_keys_str_mv | AT kostûkevičev optimizaciâékspluatacionnyhharakteristikpreobrazovateleinaosnovepoverhnostnogoplazmonnogorezonansa AT kostûkevičsa optimizaciâékspluatacionnyhharakteristikpreobrazovateleinaosnovepoverhnostnogoplazmonnogorezonansa AT kostûkevičev optimizationofoperationalcharacteristicsinherenttotransducersbasedonsurfaceplasmonresonance AT kostûkevičsa optimizationofoperationalcharacteristicsinherenttotransducersbasedonsurfaceplasmonresonance |