Вплив підкладки та поверхні макропори на фотопровідність у двомірних структурах макропористого кремнію

• Published in: Оптоэлектроника и полупроводниковая техника
• Date: 2014
• Main Author: Онищенко, В.Ф.
• Format: Article
• Language: Ukrainian
• Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2014
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/108928
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Вплив підкладки та поверхні макропори на фотопровідність у двомірних структурах макропористого кремнію / В.Ф. Онищенко // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника: Сб. научн. тр. — 2014. — Вип. 49. — С. 75-81. — Бібліогр.: 14 назв. — укр.

Розглянуто експериментальне та чисельне дослідження впливу монокристалічної кремнієвої підкладки та характеристик поверхні макропори на фотопровідність двовимірних структур макропористого кремнію. Показано, що вплив монокристалічної кремнієвої підкладки структури макропористого кремнію є незначним і...