Влияние аргона на структуру и свойства Ti-Si-N-покрытий, полученных при вакуумно-дуговом осаждении в газовой смеси «азот + аргон»

• Datum: 2012
• Hauptverfasser: Белоус, В.А., Заднепровский, Ю.А., Ломино, Н.С., Соболь, О.В.
• Format: Artikel
• Sprache: Russian
• Veröffentlicht: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2012
• Schriftenreihe: Вопросы атомной науки и техники
• Schlagworte: Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/109020
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Влияние аргона на структуру и свойства Ti-Si-N-покрытий, полученных при вакуумно-дуговом осаждении в газовой смеси «азот + аргон» / В.А. Белоус, Ю.А. Заднепровский, Н.С. Ломино, О.В. Собол // Вопросы атомной науки и техники. — 2012. — № 5. — С. 114-122. — Бібліогр.: 16 назв. — рос.

Методами структурного анализа (рентгеновская дифрактометрия и высокоразрешающая сканирующая электронная микроскопия) в сочетании с элементным анализом и изучением твердости микроиндентированием исследовано влияние аргона в смеси газов N₂+Ar на элементно-фазово-структурное состояние и микротвердость вакуумно-дуговых покрытий системы Ti-Si-N. Установлена возможность получения в смеси N₂+Ar (8…12 %) сверхтвердого состояния (твердость около 50 ГПа). Показано, что такое состояние определяется нанометровым (25…30 нм) размером кристаллитов нитрида и текстурой роста с семейством плоскостей {100}, параллельных поверхности роста, что соответствует минимуму поверхностной энергии. Особенностью процесса осаждения в смеси N₂ + Ar при давлении р > 5·10⁻³ Торр является повышение эффективности ионизации пленкообразующих частиц, приводящее к увеличению твёрдости конденсата. Обсуждены механизмы ионно-атомного взаимодействия в газовой среде с аргоновой составляющей.