Влияние аргона на структуру и свойства Ti-Si-N-покрытий, полученных при вакуумно-дуговом осаждении в газовой смеси «азот + аргон»
Методами структурного анализа (рентгеновская дифрактометрия и высокоразрешающая сканирующая электронная микроскопия) в сочетании с элементным анализом и изучением твердости микроиндентированием исследовано влияние аргона в смеси газов N₂+Ar на элементно-фазово-структурное состояние и микротвердость...
Gespeichert in:
| Datum: | 2012 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2012
|
| Schriftenreihe: | Вопросы атомной науки и техники |
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/109020 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Влияние аргона на структуру и свойства Ti-Si-N-покрытий, полученных при вакуумно-дуговом осаждении в газовой смеси «азот + аргон» / В.А. Белоус, Ю.А. Заднепровский, Н.С. Ломино, О.В. Собол // Вопросы атомной науки и техники. — 2012. — № 5. — С. 114-122. — Бібліогр.: 16 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-109020 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| fulltext |
|
| spelling |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-1090202025-02-09T13:07:30Z Влияние аргона на структуру и свойства Ti-Si-N-покрытий, полученных при вакуумно-дуговом осаждении в газовой смеси «азот + аргон» Вплив аргону на структуру та властивості Ti-Si-N покриттів, отриманих при вакуумно-дуговому осадженні в газовій суміші «азот+аргон» Influence of argon on structure and properties Ti-Si-N of the coating receive at vacuum-arc deposition in gas mixture “nitrogen+аrgon” Белоус, В.А. Заднепровский, Ю.А. Ломино, Н.С. Соболь, О.В. Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Методами структурного анализа (рентгеновская дифрактометрия и высокоразрешающая сканирующая электронная микроскопия) в сочетании с элементным анализом и изучением твердости микроиндентированием исследовано влияние аргона в смеси газов N₂+Ar на элементно-фазово-структурное состояние и микротвердость вакуумно-дуговых покрытий системы Ti-Si-N. Установлена возможность получения в смеси N₂+Ar (8…12 %) сверхтвердого состояния (твердость около 50 ГПа). Показано, что такое состояние определяется нанометровым (25…30 нм) размером кристаллитов нитрида и текстурой роста с семейством плоскостей {100}, параллельных поверхности роста, что соответствует минимуму поверхностной энергии. Особенностью процесса осаждения в смеси N₂ + Ar при давлении р > 5·10⁻³ Торр является повышение эффективности ионизации пленкообразующих частиц, приводящее к увеличению твёрдости конденсата. Обсуждены механизмы ионно-атомного взаимодействия в газовой среде с аргоновой составляющей. Методами структурного аналізу (рентгенівська дифрактометрія і високоришальна скануюча електронна мікроскопія) у поєднанні з елементним аналізом і вивченням твердості мікроіндентуванням досліджений вплив аргону в суміші газів N₂+Ar на елементно-фазово-структурний стан і мікротвердість вакуумно- дугових покриттів системи Ti-Si-N. Встановлена можливість отримання в суміші N₂+Ar (8…12 %) надтвердого стану (твердість близько 50 ГПа). Показано, що такий стан визначається нанометровим (25…30 нм) розміром кристалітів нітриду і текстурою зростання з сімейством площин {100}, паралельних поверхні росту, що відповідає мінімуму поверхневої енергії. Особливістю процесу осадження в суміші N₂+Ar при тиску р > 5·10⁻³ Торр є підвищення ефективності іонізації плівкоутворюючих часток, що призводить до збільшення твердості конденсату. Обговорені механізми іонно-атомної взаємодії в газовому середовищі з аргоновою складовою. Influence of argon in mixture of gases N₂+Ar on elemental-phase-structural state and micro hardness of vacuumarc coating of system Ti-Si-N was researched by methods of structure analysis (x-ray diffractometry and highresolution scanning electronic microscopy) in combination with elemental analysis and studying of hardness by micro indentation. The opportunity of reception in mixture N₂+Ar (8…12 %) superhard state (hardness nearby 50 ГПа) was demonstrated. It is shown, that such state is defined nanometer (25…30 nanometers) by size of crystal grains of nitride and growth of the texture with family of planes {100}, which parallel surface of growth that corresponds to minimum of surface energy. Feature of process of deposition in mixture N₂+Ar at pressure 5·10⁻³ Торр is increasing of efficiency of ionization of the film-forming particles, leading magnification of hardness of condensate. Mechanisms of ionic-atomic interaction in gas medium with argon component are discusses. 2012 Article Влияние аргона на структуру и свойства Ti-Si-N-покрытий, полученных при вакуумно-дуговом осаждении в газовой смеси «азот + аргон» / В.А. Белоус, Ю.А. Заднепровский, Н.С. Ломино, О.В. Собол // Вопросы атомной науки и техники. — 2012. — № 5. — С. 114-122. — Бібліогр.: 16 назв. — рос. 1562-6016 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/109020 621.793 ru Вопросы атомной науки и техники application/pdf Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| spellingShingle |
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Белоус, В.А. Заднепровский, Ю.А. Ломино, Н.С. Соболь, О.В. Влияние аргона на структуру и свойства Ti-Si-N-покрытий, полученных при вакуумно-дуговом осаждении в газовой смеси «азот + аргон» Вопросы атомной науки и техники |
| description |
Методами структурного анализа (рентгеновская дифрактометрия и высокоразрешающая сканирующая электронная микроскопия) в сочетании с элементным анализом и изучением твердости микроиндентированием исследовано влияние аргона в смеси газов N₂+Ar на элементно-фазово-структурное состояние и микротвердость вакуумно-дуговых покрытий системы Ti-Si-N. Установлена возможность получения в смеси N₂+Ar (8…12 %) сверхтвердого состояния (твердость около 50 ГПа). Показано, что такое состояние определяется нанометровым (25…30 нм) размером кристаллитов нитрида и текстурой роста с семейством плоскостей {100}, параллельных поверхности роста, что соответствует минимуму поверхностной энергии. Особенностью процесса осаждения в смеси N₂ + Ar при давлении р > 5·10⁻³ Торр является повышение эффективности ионизации пленкообразующих частиц, приводящее к увеличению твёрдости конденсата. Обсуждены механизмы ионно-атомного взаимодействия в газовой среде с аргоновой составляющей. |
| format |
Article |
| author |
Белоус, В.А. Заднепровский, Ю.А. Ломино, Н.С. Соболь, О.В. |
| author_facet |
Белоус, В.А. Заднепровский, Ю.А. Ломино, Н.С. Соболь, О.В. |
| author_sort |
Белоус, В.А. |
| title |
Влияние аргона на структуру и свойства Ti-Si-N-покрытий, полученных при вакуумно-дуговом осаждении в газовой смеси «азот + аргон» |
| title_short |
Влияние аргона на структуру и свойства Ti-Si-N-покрытий, полученных при вакуумно-дуговом осаждении в газовой смеси «азот + аргон» |
| title_full |
Влияние аргона на структуру и свойства Ti-Si-N-покрытий, полученных при вакуумно-дуговом осаждении в газовой смеси «азот + аргон» |
| title_fullStr |
Влияние аргона на структуру и свойства Ti-Si-N-покрытий, полученных при вакуумно-дуговом осаждении в газовой смеси «азот + аргон» |
| title_full_unstemmed |
Влияние аргона на структуру и свойства Ti-Si-N-покрытий, полученных при вакуумно-дуговом осаждении в газовой смеси «азот + аргон» |
| title_sort |
влияние аргона на структуру и свойства ti-si-n-покрытий, полученных при вакуумно-дуговом осаждении в газовой смеси «азот + аргон» |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| publishDate |
2012 |
| topic_facet |
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/109020 |
| citation_txt |
Влияние аргона на структуру и свойства Ti-Si-N-покрытий, полученных при вакуумно-дуговом осаждении в газовой смеси «азот + аргон» / В.А. Белоус, Ю.А. Заднепровский, Н.С. Ломино, О.В. Собол // Вопросы атомной науки и техники. — 2012. — № 5. — С. 114-122. — Бібліогр.: 16 назв. — рос. |
| series |
Вопросы атомной науки и техники |
| work_keys_str_mv |
AT belousva vliânieargonanastrukturuisvojstvatisinpokrytijpolučennyhprivakuumnodugovomosaždeniivgazovojsmesiazotargon AT zadneprovskijûa vliânieargonanastrukturuisvojstvatisinpokrytijpolučennyhprivakuumnodugovomosaždeniivgazovojsmesiazotargon AT lominons vliânieargonanastrukturuisvojstvatisinpokrytijpolučennyhprivakuumnodugovomosaždeniivgazovojsmesiazotargon AT sobolʹov vliânieargonanastrukturuisvojstvatisinpokrytijpolučennyhprivakuumnodugovomosaždeniivgazovojsmesiazotargon AT belousva vplivargonunastrukturutavlastivostítisinpokrittívotrimanihprivakuumnodugovomuosadžennívgazovíjsumíšíazotargon AT zadneprovskijûa vplivargonunastrukturutavlastivostítisinpokrittívotrimanihprivakuumnodugovomuosadžennívgazovíjsumíšíazotargon AT lominons vplivargonunastrukturutavlastivostítisinpokrittívotrimanihprivakuumnodugovomuosadžennívgazovíjsumíšíazotargon AT sobolʹov vplivargonunastrukturutavlastivostítisinpokrittívotrimanihprivakuumnodugovomuosadžennívgazovíjsumíšíazotargon AT belousva influenceofargononstructureandpropertiestisinofthecoatingreceiveatvacuumarcdepositioningasmixturenitrogenargon AT zadneprovskijûa influenceofargononstructureandpropertiestisinofthecoatingreceiveatvacuumarcdepositioningasmixturenitrogenargon AT lominons influenceofargononstructureandpropertiestisinofthecoatingreceiveatvacuumarcdepositioningasmixturenitrogenargon AT sobolʹov influenceofargononstructureandpropertiestisinofthecoatingreceiveatvacuumarcdepositioningasmixturenitrogenargon |
| first_indexed |
2025-11-26T01:42:41Z |
| last_indexed |
2025-11-26T01:42:41Z |
| _version_ |
1849815321078136832 |