Влияние аргона на структуру и свойства Ti-Si-N-покрытий, полученных при вакуумно-дуговом осаждении в газовой смеси «азот + аргон»

• Published in: Вопросы атомной науки и техники
• Date: 2012
• Main Authors: Белоус, В.А., Заднепровский, Ю.А., Ломино, Н.С., Соболь, О.В.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2012
• Subjects: Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/109020
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Влияние аргона на структуру и свойства Ti-Si-N-покрытий, полученных при вакуумно-дуговом осаждении в газовой смеси «азот + аргон» / В.А. Белоус, Ю.А. Заднепровский, Н.С. Ломино, О.В. Собол // Вопросы атомной науки и техники. — 2012. — № 5. — С. 114-122. — Бібліогр.: 16 назв. — рос.

Методами структурного анализа (рентгеновская дифрактометрия и высокоразрешающая сканирующая электронная микроскопия) в сочетании с элементным анализом и изучением твердости микроиндентированием исследовано влияние аргона в смеси газов N₂+Ar на элементно-фазово-структурное состояние и микротвердость...