Kinetic simulation of low pressure RF discharge in nonuniform axisymmetric magnetic field
An implicit 2D3V PIC/MCC code has been developed for the kinetic simulation of low pressure RF discharges. The code uses coupled particle-in-cell method (PIC) for calculation collisionless dynamic of the plasma particles and Monte-Carlo method (MCC) for taking in account the particle collisions. For...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Datum: | 2012 |
| 1. Verfasser: | |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Englisch |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2012
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/109107 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Kinetic simulation of low pressure RF discharge in nonuniform axisymmetric magnetic field / V.V. Olshansky // Вопросы атомной науки и техники. — 2012. — № 6. — С. 77-80. — Бібліогр.: 9 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862747641677348864 |
|---|---|
| author | Olshansky, V.V. |
| author_facet | Olshansky, V.V. |
| citation_txt | Kinetic simulation of low pressure RF discharge in nonuniform axisymmetric magnetic field / V.V. Olshansky // Вопросы атомной науки и техники. — 2012. — № 6. — С. 77-80. — Бібліогр.: 9 назв. — англ. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | An implicit 2D3V PIC/MCC code has been developed for the kinetic simulation of low pressure RF discharges. The code uses coupled particle-in-cell method (PIC) for calculation collisionless dynamic of the plasma particles and Monte-Carlo method (MCC) for taking in account the particle collisions. For the computation time reduction a number of physical and numerical methods of speeding up the code were introduced, such as the implicit schemes of the particles motion and fields computation, the electron sub-cycling and so on. The developed code is applied to the plasma dynamic investigation in capacitively coupled plasma RF discharge enhanced by the external magnetic field which is used in the neutral loop discharges (NLD).
Для кинетического моделирования ВЧ-разрядов низкого давления разработан неявный 2D3V PIC/MCC код. Код использует метод «частица в ячейке» (PIC) для расчета бесстолкновительной динамики частиц плазмы и метод «Монте-Карло» (MCC) для учета парных столкновений частиц. Для сокращения компьютер- ного времени в коде применяются различные численные и физические методы ускорения расчета, такие как неявный метод расчета движения частиц и полей, электронные подциклы и другие методы. Разработанный код применяется для исследования динамики плазмы в ёмкостном плазменном ВЧ-разряде, усиленном внешним магнитным полем, используемом в разрядах с нейтральным контуром (NLD).
Для кінетичного моделювання ВЧ-розрядів низького тиску розроблено неявний 2D3V PIC/MCC код. Код використовує метод «частинка в клітинці» (PIC) для розрахунку динаміки частинок плазми без зіткнень і метод «Монте-Карло» (MCC) для врахування парних зіткнень частинок. Для скорочення комп’ютерного часу в коді застосовано різні числові та фізичні методи прискорення розрахунку, такі як неявний метод обчислення руху частинок і полів, електронні підцикли та інші методи. Розроблений код застосовується для дослідження динаміки плазми в ємнісному плазмовому ВЧ-розряді, підсиленому зовнішнім магнітним полем, що використовується в розрядах з нейтральним контуром (NLD).
|
| first_indexed | 2025-12-07T20:51:59Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-109107 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | English |
| last_indexed | 2025-12-07T20:51:59Z |
| publishDate | 2012 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Olshansky, V.V. 2016-11-20T19:48:29Z 2016-11-20T19:48:29Z 2012 Kinetic simulation of low pressure RF discharge in nonuniform axisymmetric magnetic field / V.V. Olshansky // Вопросы атомной науки и техники. — 2012. — № 6. — С. 77-80. — Бібліогр.: 9 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.65.Rr; 52.80.Pi https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/109107 An implicit 2D3V PIC/MCC code has been developed for the kinetic simulation of low pressure RF discharges. The code uses coupled particle-in-cell method (PIC) for calculation collisionless dynamic of the plasma particles and Monte-Carlo method (MCC) for taking in account the particle collisions. For the computation time reduction a number of physical and numerical methods of speeding up the code were introduced, such as the implicit schemes of the particles motion and fields computation, the electron sub-cycling and so on. The developed code is applied to the plasma dynamic investigation in capacitively coupled plasma RF discharge enhanced by the external magnetic field which is used in the neutral loop discharges (NLD). Для кинетического моделирования ВЧ-разрядов низкого давления разработан неявный 2D3V PIC/MCC код. Код использует метод «частица в ячейке» (PIC) для расчета бесстолкновительной динамики частиц плазмы и метод «Монте-Карло» (MCC) для учета парных столкновений частиц. Для сокращения компьютер- ного времени в коде применяются различные численные и физические методы ускорения расчета, такие как неявный метод расчета движения частиц и полей, электронные подциклы и другие методы. Разработанный код применяется для исследования динамики плазмы в ёмкостном плазменном ВЧ-разряде, усиленном внешним магнитным полем, используемом в разрядах с нейтральным контуром (NLD). Для кінетичного моделювання ВЧ-розрядів низького тиску розроблено неявний 2D3V PIC/MCC код. Код використовує метод «частинка в клітинці» (PIC) для розрахунку динаміки частинок плазми без зіткнень і метод «Монте-Карло» (MCC) для врахування парних зіткнень частинок. Для скорочення комп’ютерного часу в коді застосовано різні числові та фізичні методи прискорення розрахунку, такі як неявний метод обчислення руху частинок і полів, електронні підцикли та інші методи. Розроблений код застосовується для дослідження динаміки плазми в ємнісному плазмовому ВЧ-розряді, підсиленому зовнішнім магнітним полем, що використовується в розрядах з нейтральним контуром (NLD). en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Фундаментальная физика плазмы Kinetic simulation of low pressure RF discharge in nonuniform axisymmetric magnetic field Кинетическое моделирование ВЧ-разряда низкого давления внеоднородном аксиально-симметричном магнитном поле Кінетичне моделювання ВЧ-розряду низького тиску в неоднорідному аксіально-симетричному магнітному полі Article published earlier |
| spellingShingle | Kinetic simulation of low pressure RF discharge in nonuniform axisymmetric magnetic field Olshansky, V.V. Фундаментальная физика плазмы |
| title | Kinetic simulation of low pressure RF discharge in nonuniform axisymmetric magnetic field |
| title_alt | Кинетическое моделирование ВЧ-разряда низкого давления внеоднородном аксиально-симметричном магнитном поле Кінетичне моделювання ВЧ-розряду низького тиску в неоднорідному аксіально-симетричному магнітному полі |
| title_full | Kinetic simulation of low pressure RF discharge in nonuniform axisymmetric magnetic field |
| title_fullStr | Kinetic simulation of low pressure RF discharge in nonuniform axisymmetric magnetic field |
| title_full_unstemmed | Kinetic simulation of low pressure RF discharge in nonuniform axisymmetric magnetic field |
| title_short | Kinetic simulation of low pressure RF discharge in nonuniform axisymmetric magnetic field |
| title_sort | kinetic simulation of low pressure rf discharge in nonuniform axisymmetric magnetic field |
| topic | Фундаментальная физика плазмы |
| topic_facet | Фундаментальная физика плазмы |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/109107 |
| work_keys_str_mv | AT olshanskyvv kineticsimulationoflowpressurerfdischargeinnonuniformaxisymmetricmagneticfield AT olshanskyvv kinetičeskoemodelirovanievčrazrâdanizkogodavleniâvneodnorodnomaksialʹnosimmetričnommagnitnompole AT olshanskyvv kínetičnemodelûvannâvčrozrâdunizʹkogotiskuvneodnorídnomuaksíalʹnosimetričnomumagnítnomupolí |