Technological aprobation of integral cluster setup for complex compound composites syntesis
In the present paper the results of technological approbation of the integral cluster set-up for synthesis of various types of high-quality coatings such as Al₂O₃, TiO₂, ZrO₂, AlN, TiN, and others with coating thickness up to 10 mkm are presented. Сurrent-voltage characteristics of magnetron dischar...
Saved in:
| Published in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Date: | 2012 |
| Main Authors: | , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2012
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/109200 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Technological aprobation of integral cluster setup for complex compound composites syntesis / S. Yakovin, S. Dudin, A. Zykov, A. Shyshkov, V. Farenik // Вопросы атомной науки и техники. — 2012. — № 6. — С. 220-222. — Бібліогр.: 6 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-109200 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Yakovin, S. Dudin, S. Zykov, A. Shyshkov, A. Farenik, V. 2016-11-21T19:35:59Z 2016-11-21T19:35:59Z 2012 Technological aprobation of integral cluster setup for complex compound composites syntesis / S. Yakovin, S. Dudin, A. Zykov, A. Shyshkov, V. Farenik // Вопросы атомной науки и техники. — 2012. — № 6. — С. 220-222. — Бібліогр.: 6 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.77.-j, 81.15.-z https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/109200 In the present paper the results of technological approbation of the integral cluster set-up for synthesis of various types of high-quality coatings such as Al₂O₃, TiO₂, ZrO₂, AlN, TiN, and others with coating thickness up to 10 mkm are presented. Сurrent-voltage characteristics of magnetron discharge in argon mixtures with oxygen and nitrogen for various gas pressures and for various target materials have been measured. Представлены результаты технологической апробации интегральной кластерной установки для синтеза высококачественных покрытий типа Al₂O₃, TiO₂, ZrO₂, AlN, TiN и других, толщиной до 10 мкм. Были измерены вольт-амперные характеристики магнетронного разряда в смесях аргона с кислородом и азотом, при различных давлениях рабочего газа и разных материалах мишени. Представлено результати технологічної апробації інтегральної кластерноїї установки для синтезу високоякісних покриттів типу Al₂O₃, TiO₂, ZrO₂, AlN, TiN та інших, товщиною до 10 мкм. Було виміряно вольт-амперні характеристики магнетронного розряду в сумішах аргону з киснем та азотом, при різних тисках робочого газу та різних матеріалах мішені. The present work was supported by Ministry of Education and Science of Ukraine, Project 0111U001463. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Низкотемпературная плазма и плазменные технологии Technological aprobation of integral cluster setup for complex compound composites syntesis Технологическая апробация интегральной кластерной установки для синтеза сложнокомпозиционных структур Технологічна апробація інтегральної кластерної установки для синтезу складнокомпозиційних структур Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Technological aprobation of integral cluster setup for complex compound composites syntesis |
| spellingShingle |
Technological aprobation of integral cluster setup for complex compound composites syntesis Yakovin, S. Dudin, S. Zykov, A. Shyshkov, A. Farenik, V. Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| title_short |
Technological aprobation of integral cluster setup for complex compound composites syntesis |
| title_full |
Technological aprobation of integral cluster setup for complex compound composites syntesis |
| title_fullStr |
Technological aprobation of integral cluster setup for complex compound composites syntesis |
| title_full_unstemmed |
Technological aprobation of integral cluster setup for complex compound composites syntesis |
| title_sort |
technological aprobation of integral cluster setup for complex compound composites syntesis |
| author |
Yakovin, S. Dudin, S. Zykov, A. Shyshkov, A. Farenik, V. |
| author_facet |
Yakovin, S. Dudin, S. Zykov, A. Shyshkov, A. Farenik, V. |
| topic |
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| topic_facet |
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| publishDate |
2012 |
| language |
English |
| container_title |
Вопросы атомной науки и техники |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Технологическая апробация интегральной кластерной установки для синтеза сложнокомпозиционных структур Технологічна апробація інтегральної кластерної установки для синтезу складнокомпозиційних структур |
| description |
In the present paper the results of technological approbation of the integral cluster set-up for synthesis of various types of high-quality coatings such as Al₂O₃, TiO₂, ZrO₂, AlN, TiN, and others with coating thickness up to 10 mkm are presented. Сurrent-voltage characteristics of magnetron discharge in argon mixtures with oxygen and nitrogen for various gas pressures and for various target materials have been measured.
Представлены результаты технологической апробации интегральной кластерной установки для синтеза высококачественных покрытий типа Al₂O₃, TiO₂, ZrO₂, AlN, TiN и других, толщиной до 10 мкм. Были измерены вольт-амперные характеристики магнетронного разряда в смесях аргона с кислородом и азотом, при различных давлениях рабочего газа и разных материалах мишени.
Представлено результати технологічної апробації інтегральної кластерноїї установки для синтезу високоякісних покриттів типу Al₂O₃, TiO₂, ZrO₂, AlN, TiN та інших, товщиною до 10 мкм. Було виміряно вольт-амперні характеристики магнетронного розряду в сумішах аргону з киснем та азотом, при різних тисках робочого газу та різних матеріалах мішені.
|
| issn |
1562-6016 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/109200 |
| citation_txt |
Technological aprobation of integral cluster setup for complex compound composites syntesis / S. Yakovin, S. Dudin, A. Zykov, A. Shyshkov, V. Farenik // Вопросы атомной науки и техники. — 2012. — № 6. — С. 220-222. — Бібліогр.: 6 назв. — англ. |
| work_keys_str_mv |
AT yakovins technologicalaprobationofintegralclustersetupforcomplexcompoundcompositessyntesis AT dudins technologicalaprobationofintegralclustersetupforcomplexcompoundcompositessyntesis AT zykova technologicalaprobationofintegralclustersetupforcomplexcompoundcompositessyntesis AT shyshkova technologicalaprobationofintegralclustersetupforcomplexcompoundcompositessyntesis AT farenikv technologicalaprobationofintegralclustersetupforcomplexcompoundcompositessyntesis AT yakovins tehnologičeskaâaprobaciâintegralʹnoiklasternoiustanovkidlâsintezasložnokompozicionnyhstruktur AT dudins tehnologičeskaâaprobaciâintegralʹnoiklasternoiustanovkidlâsintezasložnokompozicionnyhstruktur AT zykova tehnologičeskaâaprobaciâintegralʹnoiklasternoiustanovkidlâsintezasložnokompozicionnyhstruktur AT shyshkova tehnologičeskaâaprobaciâintegralʹnoiklasternoiustanovkidlâsintezasložnokompozicionnyhstruktur AT farenikv tehnologičeskaâaprobaciâintegralʹnoiklasternoiustanovkidlâsintezasložnokompozicionnyhstruktur AT yakovins tehnologíčnaaprobacíâíntegralʹnoíklasternoíustanovkidlâsintezuskladnokompozicíinihstruktur AT dudins tehnologíčnaaprobacíâíntegralʹnoíklasternoíustanovkidlâsintezuskladnokompozicíinihstruktur AT zykova tehnologíčnaaprobacíâíntegralʹnoíklasternoíustanovkidlâsintezuskladnokompozicíinihstruktur AT shyshkova tehnologíčnaaprobacíâíntegralʹnoíklasternoíustanovkidlâsintezuskladnokompozicíinihstruktur AT farenikv tehnologíčnaaprobacíâíntegralʹnoíklasternoíustanovkidlâsintezuskladnokompozicíinihstruktur |
| first_indexed |
2025-12-07T16:46:53Z |
| last_indexed |
2025-12-07T16:46:53Z |
| _version_ |
1850868774658375680 |