Technological aprobation of integral cluster setup for complex compound composites syntesis
In the present paper the results of technological approbation of the integral cluster set-up for synthesis of various types of high-quality coatings such as Al₂O₃, TiO₂, ZrO₂, AlN, TiN, and others with coating thickness up to 10 mkm are presented. Сurrent-voltage characteristics of magnetron dischar...
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| Veröffentlicht in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Datum: | 2012 |
| Hauptverfasser: | Yakovin, S., Dudin, S., Zykov, A., Shyshkov, A., Farenik, V. |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Englisch |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2012
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/109200 |
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| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Technological aprobation of integral cluster setup for complex compound composites syntesis / S. Yakovin, S. Dudin, A. Zykov, A. Shyshkov, V. Farenik // Вопросы атомной науки и техники. — 2012. — № 6. — С. 220-222. — Бібліогр.: 6 назв. — англ. |
Institution
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