Technological aprobation of integral cluster setup for complex compound composites syntesis
In the present paper the results of technological approbation of the integral cluster set-up for synthesis of various types of high-quality coatings such as Al₂O₃, TiO₂, ZrO₂, AlN, TiN, and others with coating thickness up to 10 mkm are presented. Сurrent-voltage characteristics of magnetron dischar...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Дата: | 2012 |
| Автори: | , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Англійська |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2012
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/109200 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Technological aprobation of integral cluster setup for complex compound composites syntesis / S. Yakovin, S. Dudin, A. Zykov, A. Shyshkov, V. Farenik // Вопросы атомной науки и техники. — 2012. — № 6. — С. 220-222. — Бібліогр.: 6 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
Double magnetron cluster set-up for synthesis of micro and nano structure coatings
за авторством: Yakovin, S., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Yakovin, S., та інші
Опубліковано: (2015)
Plasma assisted deposition of TaB₂ coatings by magnetron sputtering system
за авторством: Yakovin, S., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Yakovin, S., та інші
Опубліковано: (2017)
Characteristics of discharge in crossed ЕxН fields near breakdown curve in acceleration and plasma regime
за авторством: Jamirzoev, A., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Jamirzoev, A., та інші
Опубліковано: (2013)
Low pressure gas discharge in magnetically insulated diode
за авторством: Jamirzoev, A., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Jamirzoev, A., та інші
Опубліковано: (2015)
Peculiarities of the oxide plasma creation using carbonate compounds
за авторством: Shariy, S.V., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Shariy, S.V., та інші
Опубліковано: (2018)
Рhysics and design of wide-aperture bipolar particle sources
за авторством: Dudin, S.V.
Опубліковано: (2013)
за авторством: Dudin, S.V.
Опубліковано: (2013)
The corrosion properties of multilayer coatings deposited on stainless steel and Ti4Al6V substrates
за авторством: Zykova, A., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Zykova, A., та інші
Опубліковано: (2009)
The influence of deposition technological process parameters on surface properties of multilayer coatings
за авторством: Zykova, A., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Zykova, A., та інші
Опубліковано: (2009)
Actinometric study of oxygen dissociation in ICP source
за авторством: Dakhov, A.N., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Dakhov, A.N., та інші
Опубліковано: (2014)
Conversion of carbon dioxide in low-pressure plasma
за авторством: Dudin, S.V., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Dudin, S.V., та інші
Опубліковано: (2018)
Mechanical and tribological characteristics of zirconium based ceramic coatings for micro-bearing application
за авторством: Warcholinski, B., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Warcholinski, B., та інші
Опубліковано: (2014)
Effective dissociation temperature for estimation of electric arc plasma composition
за авторством: Babich, I.L., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Babich, I.L., та інші
Опубліковано: (2011)
Plasma of electric arc between composite electrodes on silver base
за авторством: Babich, I.L., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Babich, I.L., та інші
Опубліковано: (2010)
Dependence of RF breakdown curve on electrode geometry in CCP reactor
за авторством: Dudin, S.V., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Dudin, S.V., та інші
Опубліковано: (2012)
Interaction between two solitons in two-dimensional complex plasma with variable dust charge
за авторством: Mahdizadeh, N., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Mahdizadeh, N., та інші
Опубліковано: (2009)
Investigations of thermal plasma with metal impurities. Part І: The influence of electrodes composition on plasma properties
за авторством: Veklich, A.N., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Veklich, A.N., та інші
Опубліковано: (2012)
Investigation of electric arc discharge plasma between one-component Cu and Ni and composite Ag-Ni electrodes
за авторством: Veklich, A., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Veklich, A., та інші
Опубліковано: (2017)
About influence of energy of electrons and ions on speed of electron- and ion-stimulated plasmachemical etching of silicon
за авторством: Fedorovich, O.A., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Fedorovich, O.A., та інші
Опубліковано: (2010)
Particle charging in beam-plasma systems
за авторством: Bizyukov, А.А., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Bizyukov, А.А., та інші
Опубліковано: (2013)
Formation of forest of single-walled carbon nanotubes in plasma-enhanced chemical vapor deposition
за авторством: Burmaka, G.P., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Burmaka, G.P., та інші
Опубліковано: (2012)
Neon cryovacuum system for endurance tests of electrojet propulsion systems
за авторством: Batracov, A.B., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Batracov, A.B., та інші
Опубліковано: (2015)
Longitudinal extraction of H⁻ ions from Penning discharge with metal-hydride cathode
за авторством: Sereda, I.N., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Sereda, I.N., та інші
Опубліковано: (2017)
About unrealization of tungsten lines up to the ground state in the nonideal plasma of pulse discharges in water
за авторством: Fedorovich, O.A.
Опубліковано: (2009)
за авторством: Fedorovich, O.A.
Опубліковано: (2009)
Properties of microdischarge plasma in the vortex air flow
за авторством: Chernyak, V.Y., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Chernyak, V.Y., та інші
Опубліковано: (2018)
On the peculiarities of electrical conductivity in ARC plasma containing stainless steel and tungsten
за авторством: Porytskyy, P.V.
Опубліковано: (2018)
за авторством: Porytskyy, P.V.
Опубліковано: (2018)
Dynamics of dust particles in a plasma jet
за авторством: Kravchenko, O.Yu., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Kravchenko, O.Yu., та інші
Опубліковано: (2017)
Intrinsic stresses in multi-component nitride coatings produced by plasma immersion ion implantation
за авторством: Kalinichenko, A.I., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Kalinichenko, A.I., та інші
Опубліковано: (2017)
TiOx thin films AP DBD deposition on polyamide rope
за авторством: Klenko, Y., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Klenko, Y., та інші
Опубліковано: (2010)
Influence of corona discharge on paraffin combustion
за авторством: Nedybaliuk, O.A., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Nedybaliuk, O.A., та інші
Опубліковано: (2018)
The influence of plasma treatment of different cathode materials on current-voltage characteristics of mirror discharge in air
за авторством: Glazunov, G.P., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Glazunov, G.P., та інші
Опубліковано: (2013)
Plasma catalysis of chemical reactions
за авторством: Chernyak, V.Ya., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Chernyak, V.Ya., та інші
Опубліковано: (2014)
The conceptual design of a demo-imitation separatorthe model of a plasma mass filter for irradiated oxide uranium fuel
за авторством: Yuferov, V.B., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Yuferov, V.B., та інші
Опубліковано: (2018)
The influence of irradiation by hydrogen plasma on the structure and phase compozition Ti-Zr-Ni alloys containing quasicrystalline phase
за авторством: Bazdyreva, S.V., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Bazdyreva, S.V., та інші
Опубліковано: (2012)
On the transport properties of a nonideal plasma of underwater discharges
за авторством: Starchyk, P.D., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Starchyk, P.D., та інші
Опубліковано: (2011)
Plasma chemistry for concept of sustainable development
за авторством: Chernyak, V.Ya., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Chernyak, V.Ya., та інші
Опубліковано: (2017)
Researching of acoustic waves in plasma-liquid system with pulsed discharge
за авторством: Iukhymenko, V.V., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Iukhymenko, V.V., та інші
Опубліковано: (2015)
Influence of plasma on surface tension of hydrocarbons
за авторством: Fedirchyk, I.I., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Fedirchyk, I.I., та інші
Опубліковано: (2015)
Use of the linear absorption coefficient for absolute comparison of plasma films in the mid-IR range
за авторством: Gautier, T., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Gautier, T., та інші
Опубліковано: (2013)
Optical emission spectroscopy of plasma of underwater electric spark discharges between metal granules
за авторством: Tmenova, T.A., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Tmenova, T.A., та інші
Опубліковано: (2017)
Dynamic of wall currents in pulse plasma diode in tin vapor
за авторством: Tseluyko, A.F., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Tseluyko, A.F., та інші
Опубліковано: (2011)