Technological aprobation of integral cluster setup for complex compound composites syntesis
In the present paper the results of technological approbation of the integral cluster set-up for synthesis of various types of high-quality coatings such as Al₂O₃, TiO₂, ZrO₂, AlN, TiN, and others with coating thickness up to 10 mkm are presented. Сurrent-voltage characteristics of magnetron dischar...
Збережено в:
| Опубліковано в: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Дата: | 2012 |
| ISSN: | 1562-6016 |
| Автори: | , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Англійська |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2012
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/109200 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Technological aprobation of integral cluster setup for complex compound composites syntesis / S. Yakovin, S. Dudin, A. Zykov, A. Shyshkov, V. Farenik // Вопросы атомной науки и техники. — 2012. — № 6. — С. 220-222. — Бібліогр.: 6 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
Integral cluster set-up for complex compound composites syntesis
за авторством: Yakovin, S.D., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Yakovin, S.D., та інші
Опубліковано: (2011)
Double magnetron cluster set-up for synthesis of micro and nano structure coatings
за авторством: Yakovin, S., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Yakovin, S., та інші
Опубліковано: (2015)
Plasma assisted deposition of TaB₂ coatings by magnetron sputtering system
за авторством: Yakovin, S., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Yakovin, S., та інші
Опубліковано: (2017)
Design and research of combined magnetron-ion-beam sputtering system
за авторством: Dudin, S., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Dudin, S., та інші
Опубліковано: (2018)
Characteristics of discharge in crossed ЕxН fields near breakdown curve in acceleration and plasma regime
за авторством: Jamirzoev, A., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Jamirzoev, A., та інші
Опубліковано: (2013)
Low pressure gas discharge in magnetically insulated diode
за авторством: Jamirzoev, A., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Jamirzoev, A., та інші
Опубліковано: (2015)
Spatial distributions of plasma parameters in ICP reactor
за авторством: Dudin, S.V., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Dudin, S.V., та інші
Опубліковано: (2010)
Peculiarities of the oxide plasma creation using carbonate compounds
за авторством: Shariy, S.V., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Shariy, S.V., та інші
Опубліковано: (2018)
Рhysics and design of wide-aperture bipolar particle sources
за авторством: Dudin, S.V.
Опубліковано: (2013)
за авторством: Dudin, S.V.
Опубліковано: (2013)
The corrosion properties of multilayer coatings deposited on stainless steel and Ti4Al6V substrates
за авторством: Zykova, A., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Zykova, A., та інші
Опубліковано: (2009)
The influence of deposition technological process parameters on surface properties of multilayer coatings
за авторством: Zykova, A., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Zykova, A., та інші
Опубліковано: (2009)
Conversion of carbon dioxide in low-pressure plasma
за авторством: Dudin, S.V., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Dudin, S.V., та інші
Опубліковано: (2018)
Actinometric study of oxygen dissociation in ICP source
за авторством: Dakhov, A.N., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Dakhov, A.N., та інші
Опубліковано: (2014)
Mechanical and tribological characteristics of zirconium based ceramic coatings for micro-bearing application
за авторством: Warcholinski, B., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Warcholinski, B., та інші
Опубліковано: (2014)
Plasma of electric arc between composite electrodes on silver base
за авторством: Babich, I.L., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Babich, I.L., та інші
Опубліковано: (2010)
Effective dissociation temperature for estimation of electric arc plasma composition
за авторством: Babich, I.L., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Babich, I.L., та інші
Опубліковано: (2011)
Investigation of DC glow discharge in CO₂ using optical emission spectroscopy
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2018)
Thermal plasma of electric arc discharge in air between composite Cu-C electrodes
за авторством: Veklich, A., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Veklich, A., та інші
Опубліковано: (2014)
Interaction between two solitons in two-dimensional complex plasma with variable dust charge
за авторством: Mahdizadeh, N., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Mahdizadeh, N., та інші
Опубліковано: (2009)
Dependence of RF breakdown curve on electrode geometry in CCP reactor
за авторством: Dudin, S.V., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Dudin, S.V., та інші
Опубліковано: (2012)
Investigations of thermal plasma with metal impurities. Part І: The influence of electrodes composition on plasma properties
за авторством: Veklich, A.N., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Veklich, A.N., та інші
Опубліковано: (2012)
Investigation of electric arc discharge plasma between one-component Cu and Ni and composite Ag-Ni electrodes
за авторством: Veklich, A., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Veklich, A., та інші
Опубліковано: (2017)
Control of planar magnetron sputtering system operating modes by additional anode magnetic field
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2010)
On the use of optically trapped dust particles as micro-probes in process plasmas
за авторством: Schneider, V., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Schneider, V., та інші
Опубліковано: (2013)
On a possibility of creation of positive space charge cloud in a system with magnetic insulation of electrons
за авторством: Goncharov, A.A., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Goncharov, A.A., та інші
Опубліковано: (2009)
Experimental investigation of arc column expansion generated by high-energy spark ignition system
за авторством: Korytchenko, K.V., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Korytchenko, K.V., та інші
Опубліковано: (2018)
Influence of external magnetic field on intensity and directivity of EUV radiation from high-current pulse plasma diode
за авторством: Borgun, Ie.V., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Borgun, Ie.V., та інші
Опубліковано: (2012)
Phase states of macroparticles under interaction of keV ion beam with dusty plasma
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2010)
Microplasma discharge striation in the PDP cell
за авторством: Kelnyk, O.I., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Kelnyk, O.I., та інші
Опубліковано: (2011)
Axial structure of DC glow discharge negative glow in nitrogen
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2012)
Radiation of multicomponent gas-metal plasma of a pulsed reflex discharge
за авторством: Kovtun, Yu.V., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Kovtun, Yu.V., та інші
Опубліковано: (2010)
Connection between electrodes shape and plasma flow of the gliding discharge
за авторством: Sláma, J., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Sláma, J., та інші
Опубліковано: (2011)
High-current pulsed operation modes of the planar MSS with magnetically insulated anode without transition to the arc discharge
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2012)
The influence of irradiation by hydrogen plasma on the structure and phase compozition Ti-Zr-Ni alloys containing quasicrystalline phase
за авторством: Bazdyreva, S.V., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Bazdyreva, S.V., та інші
Опубліковано: (2012)
The conceptual design of a demo-imitation separatorthe model of a plasma mass filter for irradiated oxide uranium fuel
за авторством: Yuferov, V.B., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Yuferov, V.B., та інші
Опубліковано: (2018)
On the transport properties of a nonideal plasma of underwater discharges
за авторством: Starchyk, P.D., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Starchyk, P.D., та інші
Опубліковано: (2011)
Formation of forest of single-walled carbon nanotubes in plasma-enhanced chemical vapor deposition
за авторством: Burmaka, G.P., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Burmaka, G.P., та інші
Опубліковано: (2012)
The influence of plasma treatment of different cathode materials on current-voltage characteristics of mirror discharge in air
за авторством: Glazunov, G.P., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Glazunov, G.P., та інші
Опубліковано: (2013)
Neon cryovacuum system for endurance tests of electrojet propulsion systems
за авторством: Batracov, A.B., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Batracov, A.B., та інші
Опубліковано: (2015)
Plasma catalysis of chemical reactions
за авторством: Chernyak, V.Ya., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Chernyak, V.Ya., та інші
Опубліковано: (2014)