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Stochastic heating of electrons in capacitive RF discharges by plasma oscillations

Stochastic heating of electrons by plasma oscillations excited in the capacitive discharge plasma is investigated theoretically. We have obtained criteria, when the stochastic heating take place, and demonstrated numerically that this heating mechanism can be sufficiently effective. Изучен стохастич...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Вопросы атомной науки и техники
Datum:	2012
1. Verfasser:	Manuilenko, O.V.
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2012
Schlagworte:	Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/109205
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Stochastic heating of electrons in capacitive RF discharges by plasma oscillations / O.V. Manuilenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2012. — № 6. — С. 205-207. — Бібліогр.: 12 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

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