Metal micro-detectors: development of “transparent” position sensitive detector for beam diagnostics
Metal Micro-strip Detector (MMD) represents a novel position sensitive detector for wide range of applications. The main advantages of MMD are low thickness, high radiation resistance and high spatial resolution. MMD production technology includes some stages: micro-strip layout made by photo-lithog...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Datum: | 2012 |
| 1. Verfasser: | |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2012
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/109208 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Metal micro-detectors: development of “transparent” position sensitive detector for beam diagnostics / O. Fedorovich, O. Kovalchuk, V. Pugatch, O. Okhrimenko, D. Storozhyk, V. Kyva // Вопросы атомной науки и техники. — 2012. — № 6. — С. 196-198. — Бібліогр.: 6 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-109208 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
O. Fedorovich, O. Kovalchuk, V. Pugatch, O. Okhrimenko, D. Storozhyk, V. Kyva 2016-11-21T19:56:01Z 2016-11-21T19:56:01Z 2012 Metal micro-detectors: development of “transparent” position sensitive detector for beam diagnostics / O. Fedorovich, O. Kovalchuk, V. Pugatch, O. Okhrimenko, D. Storozhyk, V. Kyva // Вопросы атомной науки и техники. — 2012. — № 6. — С. 196-198. — Бібліогр.: 6 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.77.Bn https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/109208 Metal Micro-strip Detector (MMD) represents a novel position sensitive detector for wide range of applications. The main advantages of MMD are low thickness, high radiation resistance and high spatial resolution. MMD production technology includes some stages: micro-strip layout made by photo-lithography on silicon wafer, plasma-chemistry etching of the silicon wafer in the operating window, micro-cabling connection to the readout electronics and DAQ. Commercially available read-out systems (VA_SCM3 microchip preamplifier, Time Pix readout chip, Gotthard, X-DAS) have been studied for use with MMD. Characterization studies of the MMD are presented in details. Металлический микростриповый детектор (ММД) представляет собой новый позиционно- чувствительный детектор для широкого спектра применений. Основные преимущества ММД: малая толщина, высокая радиационная стойкость, высокое пространственное разрешение. Технология производства ММД включает в себя несколько этапов: микростриповая структура создается при помощи фотолитографии на кремниевой пластине, плазмо-химическое травление кремниевой пластины в рабочем окне, подключение микро-кабелем к считывающей электронике. Коммерчески доступные системы считывания и обработки данных (VA_SCM3, TimePix, Gotthard, X-DAS) были изучены для использования с ММД. Представлены результаты исследований MMD на пучках разных частиц. Металевий мікростріповий детектор (ММД) являє собою новий позиційно-чутливий детектор для широкого спектру застосувань. Основні переваги ММД: мала товщина, висока радіаційна стійкість, висока просторова роздільна здатність. Технологія виробництва ММД включає в себе кілька етапів: мікростріпова структура створюється за допомогою фотолітографії на кремнієвій пластині, плазмо-хімічне травлення кремнієвої пластини в робочому вікні, підключення мікро-кабелем до зчитуючої електроніки. Комерційно доступні системи зчитування й обробки даних (VA_SCM3, TimePix, Gotthard, X-DAS) були вивчені для використання з ММД. Представлено результати дослідження MMD на пучках різних частинок. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Низкотемпературная плазма и плазменные технологии Metal micro-detectors: development of “transparent” position sensitive detector for beam diagnostics Металлические микро-детекторы: разработка «прозрачных» позиционно-чувствительных детекторов для диагностики микропучков Металеві мікро-детектори: розробка «прозорих» позиційно-чутливих детекторів для діагностики мікропучків Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Metal micro-detectors: development of “transparent” position sensitive detector for beam diagnostics |
| spellingShingle |
Metal micro-detectors: development of “transparent” position sensitive detector for beam diagnostics O. Fedorovich, O. Kovalchuk, V. Pugatch, O. Okhrimenko, D. Storozhyk, V. Kyva Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| title_short |
Metal micro-detectors: development of “transparent” position sensitive detector for beam diagnostics |
| title_full |
Metal micro-detectors: development of “transparent” position sensitive detector for beam diagnostics |
| title_fullStr |
Metal micro-detectors: development of “transparent” position sensitive detector for beam diagnostics |
| title_full_unstemmed |
Metal micro-detectors: development of “transparent” position sensitive detector for beam diagnostics |
| title_sort |
metal micro-detectors: development of “transparent” position sensitive detector for beam diagnostics |
| author |
O. Fedorovich, O. Kovalchuk, V. Pugatch, O. Okhrimenko, D. Storozhyk, V. Kyva |
| author_facet |
O. Fedorovich, O. Kovalchuk, V. Pugatch, O. Okhrimenko, D. Storozhyk, V. Kyva |
| topic |
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| topic_facet |
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| publishDate |
2012 |
| language |
English |
| container_title |
Вопросы атомной науки и техники |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Металлические микро-детекторы: разработка «прозрачных» позиционно-чувствительных детекторов для диагностики микропучков Металеві мікро-детектори: розробка «прозорих» позиційно-чутливих детекторів для діагностики мікропучків |
| description |
Metal Micro-strip Detector (MMD) represents a novel position sensitive detector for wide range of applications. The main advantages of MMD are low thickness, high radiation resistance and high spatial resolution. MMD production technology includes some stages: micro-strip layout made by photo-lithography on silicon wafer, plasma-chemistry etching of the silicon wafer in the operating window, micro-cabling connection to the readout electronics and DAQ. Commercially available read-out systems (VA_SCM3 microchip preamplifier, Time Pix readout chip, Gotthard, X-DAS) have been studied for use with MMD. Characterization studies of the MMD are presented in details.
Металлический микростриповый детектор (ММД) представляет собой новый позиционно- чувствительный детектор для широкого спектра применений. Основные преимущества ММД: малая толщина, высокая радиационная стойкость, высокое пространственное разрешение. Технология производства ММД включает в себя несколько этапов: микростриповая структура создается при помощи фотолитографии на кремниевой пластине, плазмо-химическое травление кремниевой пластины в рабочем окне, подключение микро-кабелем к считывающей электронике. Коммерчески доступные системы считывания и обработки данных (VA_SCM3, TimePix, Gotthard, X-DAS) были изучены для использования с ММД. Представлены результаты исследований MMD на пучках разных частиц.
Металевий мікростріповий детектор (ММД) являє собою новий позиційно-чутливий детектор для широкого спектру застосувань. Основні переваги ММД: мала товщина, висока радіаційна стійкість, висока просторова роздільна здатність. Технологія виробництва ММД включає в себе кілька етапів: мікростріпова структура створюється за допомогою фотолітографії на кремнієвій пластині, плазмо-хімічне травлення кремнієвої пластини в робочому вікні, підключення мікро-кабелем до зчитуючої електроніки. Комерційно доступні системи зчитування й обробки даних (VA_SCM3, TimePix, Gotthard, X-DAS) були вивчені для використання з ММД. Представлено результати дослідження MMD на пучках різних частинок.
|
| issn |
1562-6016 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/109208 |
| citation_txt |
Metal micro-detectors: development of “transparent” position sensitive detector for beam diagnostics / O. Fedorovich, O. Kovalchuk, V. Pugatch, O. Okhrimenko, D. Storozhyk, V. Kyva // Вопросы атомной науки и техники. — 2012. — № 6. — С. 196-198. — Бібліогр.: 6 назв. — англ. |
| work_keys_str_mv |
AT ofedorovichokovalchukvpugatchookhrimenkodstorozhykvkyva metalmicrodetectorsdevelopmentoftransparentpositionsensitivedetectorforbeamdiagnostics AT ofedorovichokovalchukvpugatchookhrimenkodstorozhykvkyva metalličeskiemikrodetektoryrazrabotkaprozračnyhpozicionnočuvstvitelʹnyhdetektorovdlâdiagnostikimikropučkov AT ofedorovichokovalchukvpugatchookhrimenkodstorozhykvkyva metalevímíkrodetektorirozrobkaprozorihpozicíinočutlivihdetektorívdlâdíagnostikimíkropučkív |
| first_indexed |
2025-12-07T15:35:19Z |
| last_indexed |
2025-12-07T15:35:19Z |
| _version_ |
1850864271749021696 |