Зображення обкладинки

Dependence of RF breakdown curve on electrode geometry in CCP reactor

The results of experimental and theoretical study of RF capacitively coupled discharge breakdown in reactor for reactive ion etching of semiconductors are presented. Taking into account complex geometry of the reactor with asymmetric electrodes the main attention has been paid to influence of geomet...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в:	Вопросы атомной науки и техники
Дата:	2012
ISSN:	1562-6016
Автори:	Dudin, S.V., Dakhov, A.N., Lisovskiy, V.A., Pletniov, V.M.
Формат:	Стаття
Мова:	Англійська
Опубліковано:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2012
Теми:	Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/109209
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Dependence of RF breakdown curve on electrode geometry in CCP reactor / S.V. Dudin, A.N. Dakhov, V.A. Lisovskiy, V.M. Pletniov // Вопросы атомной науки и техники. — 2012. — № 6. — С. 193-195. — Бібліогр.: 10 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Characteristics of discharge in crossed ЕxН fields near breakdown curve in acceleration and plasma regime
за авторством: Jamirzoev, A., та інші
Опубліковано: (2013)

Gas breakdown in DC electric field in a discharge tube with flat and conical cathodes
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2014)

Spatial distributions of plasma parameters in ICP reactor
за авторством: Dudin, S.V., та інші
Опубліковано: (2010)

Conversion of carbon dioxide in low-pressure plasma
за авторством: Dudin, S.V., та інші
Опубліковано: (2018)

Actinometric study of oxygen dissociation in ICP source
за авторством: Dakhov, A.N., та інші
Опубліковано: (2014)

Theoretical and experimental investigation of the plasma source with argon RF barrier discharge at atmospheric pressure
за авторством: Bazhenov, V.Yu., та інші
Опубліковано: (2014)

Influence of dust particles on RF-discharge plasma afterglow
за авторством: Kravchenko, O.Yu., та інші
Опубліковано: (2015)

Stochastic heating of electrons in capacitive RF discharges by plasma oscillations
за авторством: Manuilenko, O.V.
Опубліковано: (2012)

Treatment of polyimide films by an atmospheric pressure plasma of capacitive RF discharge for liquid crystal alignment
за авторством: Bazhenov, V.Yu., та інші
Опубліковано: (2013)

Investigation of DC glow discharge in CO₂ using optical emission spectroscopy
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2018)

Ozone decay in chemical reactor with the developed inner surface
за авторством: Manuilenko, О.V., та інші
Опубліковано: (2017)

Computer simulation of dust transport phenomena in a RF discharge
за авторством: Kravchenko, O.Yu., та інші
Опубліковано: (2010)

Photometric diagnostics of plasma of planar capacitive RF discharge in argon at 1 atm pressure
за авторством: Bazhenov, V.Yu., та інші
Опубліковано: (2018)

Ozone decay in chemical reactor for ozone-dynamical disintegration of used tyres
за авторством: Golota, V.I., та інші
Опубліковано: (2011)

On relation between the autoemitter top field, anode voltage and cathode geometry
за авторством: Stetsenko, B.V., та інші
Опубліковано: (2009)

The research of double-pulse discharge in a plasma-liquid system with cylindrical geometry
за авторством: Chernyak, V.Ya., та інші
Опубліковано: (2012)

Plasma of electric arc between composite electrodes on silver base
за авторством: Babich, I.L., та інші
Опубліковано: (2010)

Plasma-liquid system with rotational gliding discharge with liquid electrode
за авторством: Nedybaliuk, O.A., та інші
Опубліковано: (2014)

On the influence of electrode erosion on properties of nonideal plasma of underwater discharges
за авторством: Starchyk, P.D., та інші
Опубліковано: (2012)

Technological studies of the plasmachemical reactor with сlosed electron drift
за авторством: Fedorovich, O.A., та інші
Опубліковано: (2009)

Plasma of arc discharge between melting Cu- and Ni-electrodes
за авторством: Veklich, A.N., та інші
Опубліковано: (2018)

Investigation of gas discharge burn conditions in a Penning geometry in gradient magnetic fields
за авторством: Ozerov, A.N., та інші
Опубліковано: (2017)

Spectroscopy of heterophase plasma of electric ARC discharge between W and Mo electrodes
за авторством: Lebid, A.V., та інші
Опубліковано: (2018)

Connection between electrodes shape and plasma flow of the gliding discharge
за авторством: Sláma, J., та інші
Опубліковано: (2011)

Investigation of nonequilibrium in plasma of ARC discharge between melting electrodes
за авторством: Fesenko, S.O., та інші
Опубліковано: (2018)

About peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors with controlled magnetic fields
за авторством: Hladkovskiy, V.V., та інші
Опубліковано: (2015)

Capture and transport of macroparticles in curved plasma duct at low magnetic field in the presence of an electron beam
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2014)

Non-equilibrium plasma properties of electric arc discharge in air between copper electrodes
за авторством: Boretskij, V., та інші
Опубліковано: (2012)

Investigations of thermal plasma with metal impurities. Part І: The influence of electrodes composition on plasma properties
за авторством: Veklich, A.N., та інші
Опубліковано: (2012)

Thermal plasma of electric arc discharge in air between composite Cu-C electrodes
за авторством: Veklich, A., та інші
Опубліковано: (2014)

Reforming of bioethanol in the system with reverse vortex air/Сo₂ flow of “Tornado” type with liquid electrode
за авторством: Nedybaliuk, O.A., та інші
Опубліковано: (2012)

Рhysics and design of wide-aperture bipolar particle sources
за авторством: Dudin, S.V.
Опубліковано: (2013)

Investigation of electric arc discharge plasma between one-component Cu and Ni and composite Ag-Ni electrodes
за авторством: Veklich, A., та інші
Опубліковано: (2017)

Investigation of electron cut-off in a cylindrical electrode system in pulsed magnetic field of an inductor
за авторством: Drozd, I., та інші
Опубліковано: (2018)

Positive column contraction of the glow discharge in nitrogen
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2017)

Calculating reduced electric field in diffusion regime of DC discharge positive column
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2015)

Obstructed DC glow discharge in low-pressure nitrogen
за авторством: Lisovskiy, V., та інші
Опубліковано: (2010)

The empirical formula of dependence of factor of disintegration of nonideal plasma from electrons concentration
за авторством: Fedorovich, O.A., та інші
Опубліковано: (2011)

Anode diameter effect on ignition and burning of DC discharge
за авторством: Lisovskiy, V., та інші
Опубліковано: (2011)

Double magnetron cluster set-up for synthesis of micro and nano structure coatings
за авторством: Yakovin, S., та інші
Опубліковано: (2015)