High-current pulsed operation modes of the planar MSS with magnetically insulated anode without transition to the arc discharge
In this work, the characteristics of high-current operation modes of planar magnetron sputtering system with magnetically insulated anode without going to the arc discharge mode is investigated. The possibility of using an additional spatially modulated magnetic field in the anode region to prevent...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Datum: | 2012 |
| Hauptverfasser: | , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2012
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/109210 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | High-current pulsed operation modes of the planar MSS with magnetically insulated anode without transition to the arc discharge / A.A. Bizyukov, K.N. Sereda, V.V. Sleptsov, I.K. Tarasov, A.G. Chunadra // Вопросы атомной науки и техники. — 2012. — № 6. — С. 190-192. — Бібліогр.: 6 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-109210 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Bizyukov, A.A. Sereda, K.N. Sleptsov, V.V. Tarasov, I.K. Chunadra, A.G. 2016-11-21T19:59:06Z 2016-11-21T19:59:06Z 2012 High-current pulsed operation modes of the planar MSS with magnetically insulated anode without transition to the arc discharge / A.A. Bizyukov, K.N. Sereda, V.V. Sleptsov, I.K. Tarasov, A.G. Chunadra // Вопросы атомной науки и техники. — 2012. — № 6. — С. 190-192. — Бібліогр.: 6 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 51.50.+v, 52.25.Jm https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/109210 In this work, the characteristics of high-current operation modes of planar magnetron sputtering system with magnetically insulated anode without going to the arc discharge mode is investigated. The possibility of using an additional spatially modulated magnetic field in the anode region to prevent a transition from the magnetron to the arc is shown experimentally. It is shown that the use of such a magnetic field configuration provides efficient interruption of the arc current without external forced shutdown of the discharge. Исследованы особенности сильноточных режимов работы планарной магнетронной распылительной системы с магнитоизолированным анодом без перехода разряда в дуговой режим. Экспериментально показана возможность использования пространственно-модулированного дополнительного магнитного поля в прианодной области для предотвращения перехода режима работы из магнетронного в дуговой. Показано, что использование такой конфигурации магнитного поля обеспечивает эффективное прерывание дугового тока без принудительного внешнего выключения магнетронного разряда. Досліджені особливості сильнострумових режимів роботи планарної магнетронної розпилювальної системи з магнітоізольованим анодом без переходу розряду в дуговий режим. Експериментально показана можливість використання просторово-модульованого допоміжного магнітного поля в прианодній області для запобігання переходу режиму роботи з магнетронного в дуговий. Показано, що використання такої конфігурації магнітного поля забезпечує ефективне переривання дугового струму без примусового зовнішнього вимикання магнетронного розряду. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Низкотемпературная плазма и плазменные технологии High-current pulsed operation modes of the planar MSS with magnetically insulated anode without transition to the arc discharge Сильноточные импульсные режимы работы планарной МРС с магнитоизолированным анодом без перехода разряда в дуговой режим Сильнострумові імпульсні режими роботи планарної МРС з магнітоізольованим анодом без переходу розряду в дуговой режим Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
High-current pulsed operation modes of the planar MSS with magnetically insulated anode without transition to the arc discharge |
| spellingShingle |
High-current pulsed operation modes of the planar MSS with magnetically insulated anode without transition to the arc discharge Bizyukov, A.A. Sereda, K.N. Sleptsov, V.V. Tarasov, I.K. Chunadra, A.G. Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| title_short |
High-current pulsed operation modes of the planar MSS with magnetically insulated anode without transition to the arc discharge |
| title_full |
High-current pulsed operation modes of the planar MSS with magnetically insulated anode without transition to the arc discharge |
| title_fullStr |
High-current pulsed operation modes of the planar MSS with magnetically insulated anode without transition to the arc discharge |
| title_full_unstemmed |
High-current pulsed operation modes of the planar MSS with magnetically insulated anode without transition to the arc discharge |
| title_sort |
high-current pulsed operation modes of the planar mss with magnetically insulated anode without transition to the arc discharge |
| author |
Bizyukov, A.A. Sereda, K.N. Sleptsov, V.V. Tarasov, I.K. Chunadra, A.G. |
| author_facet |
Bizyukov, A.A. Sereda, K.N. Sleptsov, V.V. Tarasov, I.K. Chunadra, A.G. |
| topic |
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| topic_facet |
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| publishDate |
2012 |
| language |
English |
| container_title |
Вопросы атомной науки и техники |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Сильноточные импульсные режимы работы планарной МРС с магнитоизолированным анодом без перехода разряда в дуговой режим Сильнострумові імпульсні режими роботи планарної МРС з магнітоізольованим анодом без переходу розряду в дуговой режим |
| description |
In this work, the characteristics of high-current operation modes of planar magnetron sputtering system with magnetically insulated anode without going to the arc discharge mode is investigated. The possibility of using an additional spatially modulated magnetic field in the anode region to prevent a transition from the magnetron to the arc is shown experimentally. It is shown that the use of such a magnetic field configuration provides efficient interruption of the arc current without external forced shutdown of the discharge.
Исследованы особенности сильноточных режимов работы планарной магнетронной распылительной системы с магнитоизолированным анодом без перехода разряда в дуговой режим. Экспериментально показана возможность использования пространственно-модулированного дополнительного магнитного поля в прианодной области для предотвращения перехода режима работы из магнетронного в дуговой. Показано, что использование такой конфигурации магнитного поля обеспечивает эффективное прерывание дугового тока без принудительного внешнего выключения магнетронного разряда.
Досліджені особливості сильнострумових режимів роботи планарної магнетронної розпилювальної системи з магнітоізольованим анодом без переходу розряду в дуговий режим. Експериментально показана можливість використання просторово-модульованого допоміжного магнітного поля в прианодній області для запобігання переходу режиму роботи з магнетронного в дуговий. Показано, що використання такої конфігурації магнітного поля забезпечує ефективне переривання дугового струму без примусового зовнішнього вимикання магнетронного розряду.
|
| issn |
1562-6016 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/109210 |
| citation_txt |
High-current pulsed operation modes of the planar MSS with magnetically insulated anode without transition to the arc discharge / A.A. Bizyukov, K.N. Sereda, V.V. Sleptsov, I.K. Tarasov, A.G. Chunadra // Вопросы атомной науки и техники. — 2012. — № 6. — С. 190-192. — Бібліогр.: 6 назв. — англ. |
| work_keys_str_mv |
AT bizyukovaa highcurrentpulsedoperationmodesoftheplanarmsswithmagneticallyinsulatedanodewithouttransitiontothearcdischarge AT seredakn highcurrentpulsedoperationmodesoftheplanarmsswithmagneticallyinsulatedanodewithouttransitiontothearcdischarge AT sleptsovvv highcurrentpulsedoperationmodesoftheplanarmsswithmagneticallyinsulatedanodewithouttransitiontothearcdischarge AT tarasovik highcurrentpulsedoperationmodesoftheplanarmsswithmagneticallyinsulatedanodewithouttransitiontothearcdischarge AT chunadraag highcurrentpulsedoperationmodesoftheplanarmsswithmagneticallyinsulatedanodewithouttransitiontothearcdischarge AT bizyukovaa silʹnotočnyeimpulʹsnyerežimyrabotyplanarnoimrssmagnitoizolirovannymanodombezperehodarazrâdavdugovoirežim AT seredakn silʹnotočnyeimpulʹsnyerežimyrabotyplanarnoimrssmagnitoizolirovannymanodombezperehodarazrâdavdugovoirežim AT sleptsovvv silʹnotočnyeimpulʹsnyerežimyrabotyplanarnoimrssmagnitoizolirovannymanodombezperehodarazrâdavdugovoirežim AT tarasovik silʹnotočnyeimpulʹsnyerežimyrabotyplanarnoimrssmagnitoizolirovannymanodombezperehodarazrâdavdugovoirežim AT chunadraag silʹnotočnyeimpulʹsnyerežimyrabotyplanarnoimrssmagnitoizolirovannymanodombezperehodarazrâdavdugovoirežim AT bizyukovaa silʹnostrumovíímpulʹsnírežimirobotiplanarnoímrszmagnítoízolʹovanimanodombezperehodurozrâduvdugovoirežim AT seredakn silʹnostrumovíímpulʹsnírežimirobotiplanarnoímrszmagnítoízolʹovanimanodombezperehodurozrâduvdugovoirežim AT sleptsovvv silʹnostrumovíímpulʹsnírežimirobotiplanarnoímrszmagnítoízolʹovanimanodombezperehodurozrâduvdugovoirežim AT tarasovik silʹnostrumovíímpulʹsnírežimirobotiplanarnoímrszmagnítoízolʹovanimanodombezperehodurozrâduvdugovoirežim AT chunadraag silʹnostrumovíímpulʹsnírežimirobotiplanarnoímrszmagnítoízolʹovanimanodombezperehodurozrâduvdugovoirežim |
| first_indexed |
2025-12-07T17:54:16Z |
| last_indexed |
2025-12-07T17:54:16Z |
| _version_ |
1850873014181167104 |