High-current pulsed operation modes of the planar MSS with magnetically insulated anode without transition to the arc discharge
In this work, the characteristics of high-current operation modes of planar magnetron sputtering system with magnetically insulated anode without going to the arc discharge mode is investigated. The possibility of using an additional spatially modulated magnetic field in the anode region to prevent...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Datum: | 2012 |
| Hauptverfasser: | , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2012
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/109210 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | High-current pulsed operation modes of the planar MSS with magnetically insulated anode without transition to the arc discharge / A.A. Bizyukov, K.N. Sereda, V.V. Sleptsov, I.K. Tarasov, A.G. Chunadra // Вопросы атомной науки и техники. — 2012. — № 6. — С. 190-192. — Бібліогр.: 6 назв. — англ. |