Зображення обкладинки

High-current pulsed operation modes of the planar MSS with magnetically insulated anode without transition to the arc discharge

In this work, the characteristics of high-current operation modes of planar magnetron sputtering system with magnetically insulated anode without going to the arc discharge mode is investigated. The possibility of using an additional spatially modulated magnetic field in the anode region to prevent...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Вопросы атомной науки и техники
Дата:	2012
Автори:	Bizyukov, A.A., Sereda, K.N., Sleptsov, V.V., Tarasov, I.K., Chunadra, A.G.
Формат:	Стаття
Мова:	Англійська
Опубліковано:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2012
Теми:	Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/109210
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	High-current pulsed operation modes of the planar MSS with magnetically insulated anode without transition to the arc discharge / A.A. Bizyukov, K.N. Sereda, V.V. Sleptsov, I.K. Tarasov, A.G. Chunadra // Вопросы атомной науки и техники. — 2012. — № 6. — С. 190-192. — Бібліогр.: 6 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Control of planar magnetron sputtering system operating modes by additional anode magnetic field
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2010)

Probe measurements of parameters of dense gasmetallic plasma in the inhomogeneous magnetic field of a planar magnetron discharge
за авторством: Chunadra, А.G., та інші
Опубліковано: (2018)

Increasing of mass transfer efficiency at magnetron deposition of metal coating
за авторством: Chunadra, A.G., та інші
Опубліковано: (2015)

Anodic electron sheaths in low pressure hollow cathode discharge with large size anode
за авторством: Bazhenov, V.Yu., та інші
Опубліковано: (2015)

Anode diameter effect on ignition and burning of DC discharge
за авторством: Lisovskiy, V., та інші
Опубліковано: (2011)

Study of mechanism of anode layer instability of the discharge in transverse magnetic field
за авторством: Abolmasov, S.N., та інші
Опубліковано: (2000)

Helicon discharge excited by a planar antenna in bounded volume
за авторством: Virko, V.F., та інші
Опубліковано: (2014)

Structure and modes of dc glow discharge in nitrogen with hollow cathode or anode
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2018)

Low pressure gas discharge in magnetically insulated diode
за авторством: Jamirzoev, A., та інші
Опубліковано: (2015)

Plasma parameters estimation in the non-self-sustained gas discharge with hollow anode
за авторством: Misiruk, I.O., та інші
Опубліковано: (2018)

Ion beam system for nanotrimming of functional microelectronics layers
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2011)

Ion energy distribution and basic characteristics of plasma flows of nonself-sustained arc discharge
за авторством: Borisenko, A.G., та інші
Опубліковано: (2015)

Anode curvature influence on characteristics of negative corona discharge under Trichel pulsed mode
за авторством: Golota, V.I., та інші
Опубліковано: (2011)

Extraction of fusion relevant ion species from discharge of focused anode layer thruster
за авторством: Girka, O., та інші
Опубліковано: (2015)

Non-self-sustained arc discharge in vapors of constructional materials of nuclear power engineering
за авторством: Borisenko, A.G., та інші
Опубліковано: (2018)

Photometric diagnostics of plasma of planar capacitive RF discharge in argon at 1 atm pressure
за авторством: Bazhenov, V.Yu., та інші
Опубліковано: (2018)

Charging processes of metal macroparticles in the low-temperature plasma at presence of high-energy electron beam
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2011)

Plasma of arc discharge between melting Cu- and Ni-electrodes
за авторством: Veklich, A.N., та інші
Опубліковано: (2018)

Investigation of nonequilibrium in plasma of ARC discharge between melting electrodes
за авторством: Fesenko, S.O., та інші
Опубліковано: (2018)

Features of coatings deposition in combined stationary-pulsed operation mode of the magnetron sputtering system
за авторством: Chunadra, А.G., та інші
Опубліковано: (2017)

Spectroscopy of heterophase plasma of electric ARC discharge between W and Mo electrodes
за авторством: Lebid, A.V., та інші
Опубліковано: (2018)

Erosion of vacuum-arc TiN coatings in plasma of stationary magnetron-type discharges
за авторством: Glazunov, G.P., та інші
Опубліковано: (2011)

Non-equilibrium plasma properties of electric arc discharge in air between copper electrodes
за авторством: Boretskij, V., та інші
Опубліковано: (2012)

Thermal plasma of electric arc discharge in air between composite Cu-C electrodes
за авторством: Veklich, A., та інші
Опубліковано: (2014)

Method for measuring external and internal parameters of plasma with ungrounded gas discharge electrodes
за авторством: Chunadra, А.G., та інші
Опубліковано: (2019)

Charging of macroparticles in a high-voltage vacuum arc sheath
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2015)

On relation between the autoemitter top field, anode voltage and cathode geometry
за авторством: Stetsenko, B.V., та інші
Опубліковано: (2009)

Сharging processes and phase states of macroparticles in low-pressure arc discharge
за авторством: Bizyukov, А.А., та інші
Опубліковано: (2013)

Particle charging in beam-plasma systems
за авторством: Bizyukov, А.А., та інші
Опубліковано: (2013)

Effect of the parameters of a gas-discharge plasma on the equilibrium temperature and floating potential of macroparticle
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2012)

Capture and transport of macroparticles in curved plasma duct at low magnetic field in the presence of an electron beam
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2014)

Investigation of electric arc discharge plasma between one-component Cu and Ni and composite Ag-Ni electrodes
за авторством: Veklich, A., та інші
Опубліковано: (2017)

Excitation of self-sustained secondary emission by gas discharge and hollow beam generation in magnetron injection gun
за авторством: Cherenshchykov, S.A., та інші
Опубліковано: (2009)

Anode processes in welding arcs
за авторством: I. V. Krivtsun
Опубліковано: (2018)

Hydrogen injector based on penning discharge with metal hydride cathode
за авторством: Sereda, I.N., та інші
Опубліковано: (2018)

Magnetron discharge intensification for effective deposition of coatings from difficult spray metals
за авторством: Chunadra, А.G., та інші
Опубліковано: (2020)

Phase states of macroparticles under interaction of keV ion beam with dusty plasma
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2010)

Solid ion source based on hollow-cylindrical magnetron sputtering discharge
за авторством: Azarenkov, N.A., та інші
Опубліковано: (2003)

Device for ignition of two-anode plasmatron arc
за авторством: N. A. Makarenko, та інші
Опубліковано: (2009)

Properties of secondary discharge in plasma-liquid system based on rotating gliding discharge
за авторством: Hamazin, D.K., та інші
Опубліковано: (2017)