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High-current pulsed operation modes of the planar MSS with magnetically insulated anode without transition to the arc discharge

In this work, the characteristics of high-current operation modes of planar magnetron sputtering system with magnetically insulated anode without going to the arc discharge mode is investigated. The possibility of using an additional spatially modulated magnetic field in the anode region to prevent...

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Veröffentlicht in:	Вопросы атомной науки и техники
Datum:	2012
Hauptverfasser:	Bizyukov, A.A., Sereda, K.N., Sleptsov, V.V., Tarasov, I.K., Chunadra, A.G.
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2012
Schlagworte:	Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/109210
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Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	High-current pulsed operation modes of the planar MSS with magnetically insulated anode without transition to the arc discharge / A.A. Bizyukov, K.N. Sereda, V.V. Sleptsov, I.K. Tarasov, A.G. Chunadra // Вопросы атомной науки и техники. — 2012. — № 6. — С. 190-192. — Бібліогр.: 6 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

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