Measurements of wall conditioning rate at Uragan-2M

An experiment on chamber RF cleaning for 12 hours a day during 2 weeks with the subsequent vacuum pumping out was carried out. The plasma was produced by the UHF generator with the frequency of 2.4 GHz. Afterwards, the VHF generator working at the frequency of 132 MHz in a continuous mode was turned...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Вопросы атомной науки и техники
Datum:2013
Hauptverfasser: Baron, D.I., Chernyshenko, V.Ya., Korovin, V.B., Kramskoy, E.D., Maznichenko, S.M., Shtan, A.F., Solodovchenko, S.I.
Format: Artikel
Sprache:English
Veröffentlicht: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2013
Schlagworte:
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/109253
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Measurements of wall conditioning rate at Uragan-2M / D.I. Baron, V.Ya. Chernyshenko, V.B. Korovin, E.D. Kramskoy, S.M. Maznichenko, A.F. Shtan, S.I. Solodovchenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2013. — № 1. — С. 21-23. — Бібліогр.: 3 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine