Use of the linear absorption coefficient for absolute comparison of plasma films in the mid-IR range

• Veröffentlicht in: Вопросы атомной науки и техники
• Datum: 2013
• ISSN: 1562-6016
• Hauptverfasser: Gautier, T., Carrasco, N., Mahjoub, A., Stefanovic, I., Szopa, C., Cernogora, G., Hadamcik, E., Winter, J.
• Format: Artikel
• Sprache: Englisch
• Veröffentlicht: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2013
• Schlagworte: Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/109261
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Use of the linear absorption coefficient for absolute comparison of plasma films in the mid-IR range / T. Gautier, N. Carrasco, A. Mahjoub, I. Stefanovic, C. Szopa, G. Cernogora, E. Hadamcik, J. Winter // Вопросы атомной науки и техники. — 2013. — № 1. — С. 168-170. — Бібліогр.: 12 назв. — англ.

In this work, we present the mid-infrared analysis of analogues of Titan's aerosols produced in a radio frequency capacitively coupled plasma (RF-CCP). The influence of the gas mixture on aerosols spectra is also studied through the analysis of the carbonaceous bands of the spectra, and its Gaussian deconvolution. Представлен анализ в среднем инфракрасном диапазоне аналогов титановых аэрозолей, которые производятся в радиочастотных источниках плазмы с емкостной связью (РЧ-ЕСС). Также изучено влияние газовой смеси на спектры аэрозолей с помощью анализа углеродсодержащих полос спектра и ее гауссовой деконволюции (обратная свертка). Представлено аналіз у середньому інфрачервоному діапазоні аналогів титанових аерозолів, які проводяться в радіочастотних джерелах плазми з ємнісним зв'язком (РЧ-ЕСС). Також вивчено вплив газової суміші на спектри аерозолів за допомогою аналізу вуглецевмісних смуг спектра і її гауссової деконволюції (зворотня згортка).