Characteristics of discharge in crossed ЕxН fields near breakdown curve in acceleration and plasma regime

Characteristics of discharge in crossed ЕxН fields near breakdown curve in acceleration and plasma regime

In the present study the characteristics of discharge in crossed EH fields in acceleration and plasma regimes have been researched at low voltages near the breakdown curve. The new experimental data for current-voltage characteristic and their dependence on argon pressure and magnetic fields strengt...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Вопросы атомной науки и техники
Date:2013
Main Authors: Jamirzoev, A., Yakovin, S., Zykov, A.
Format: Article
Language:English
Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2013
Subjects:
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/109286
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Characteristics of discharge in crossed ЕxН fields near breakdown curve in acceleration and plasma regime / A. Jamirzoev, S. Yakovin, A. Zykov // Вопросы атомной науки и техники. — 2013. — № 1. — С. 186-188. — Бібліогр.: 5 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-109286
record_format dspace
spelling Jamirzoev, A.
Yakovin, S.
Zykov, A.
2016-11-22T11:29:08Z
2016-11-22T11:29:08Z
2013
2013
Characteristics of discharge in crossed ЕxН fields near breakdown curve in acceleration and plasma regime / A. Jamirzoev, S. Yakovin, A. Zykov // Вопросы атомной науки и техники. — 2013. — № 1. — С. 186-188. — Бібліогр.: 5 назв. — англ.
1562-6016
PACS: 52.77.-j, 81.15.-z
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/109286
In the present study the characteristics of discharge in crossed EH fields in acceleration and plasma regimes have been researched at low voltages near the breakdown curve. The new experimental data for current-voltage characteristic and their dependence on argon pressure and magnetic fields strength are presented. It is shown that initial stage of the current-voltage characteristic in acceleration and plasma regime are quite similar and correspond to regime with “oscillating” electrons. The theoretic model based on the energy balance of electrons in plasma regime is presented as well as the comparison of the theory with the experiment. The obtained results may be useful for further development of magnetron sputtering systems and plasma accelerators with closed electrons drift.
Исследованы характеристики разряда в скрещенных ЕxН полях в ускорительном и плазменном режимах вблизи порога зажигания. Получены новые экспериментальные данные для вольт-амперных характеристик и их зависимости от давления и напряженности магнитного поля. Показано, что стартовые участки вольт- амперных характеристик в ускорительном и плазменном режимах идентичны и соответствуют режиму с «осциллирующими» электронами. Также представлена теоретическая модель на основе энергетического баланса электронов и проведено сравнение с экспериментом. Полученные результаты представляют интерес для дальнейшего развития магнетронных распылительных систем и плазменных ускорителей с замкнутым дрейфом электронов.
Досліджено характеристики розряду в схрещених ЕxН полях у прискорювальному та плазмовому режимах поблизу порогу запалювання. Отримано нові експериментальні дані для вольт-амперних характеристик та їх залежності від тиску та сили магнітного поля. Показано, що стартові участки вольт- амперних характеристик у прискорювальному та плазмовому режимах ідентичні і відповідають режиму з «осцилюючими» електронами. Також представлено теоретичну модель на базі енергетичного балансу електронів та проведено порівняння з експериментом. Отримані дані будуть корисні для подальшого розвитку магнетронних розпилювальних систем та плазмових прискорювачів з замкнутим дрейфом електронів.
en
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
Вопросы атомной науки и техники
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
Characteristics of discharge in crossed ЕxН fields near breakdown curve in acceleration and plasma regime
Характеристики разряда в скрещенных ЕxН полях вблизи кривых зажигания в ускорительном и плазменном режимах
Характеристики розряду в схрещених ЕxН полях поблизу кривих запалювання в прискорювальному та плазмовому режимах
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Characteristics of discharge in crossed ЕxН fields near breakdown curve in acceleration and plasma regime
spellingShingle Characteristics of discharge in crossed ЕxН fields near breakdown curve in acceleration and plasma regime
Jamirzoev, A.
Yakovin, S.
Zykov, A.
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
title_short Characteristics of discharge in crossed ЕxН fields near breakdown curve in acceleration and plasma regime
title_full Characteristics of discharge in crossed ЕxН fields near breakdown curve in acceleration and plasma regime
title_fullStr Characteristics of discharge in crossed ЕxН fields near breakdown curve in acceleration and plasma regime
title_full_unstemmed Characteristics of discharge in crossed ЕxН fields near breakdown curve in acceleration and plasma regime
title_sort characteristics of discharge in crossed еxн fields near breakdown curve in acceleration and plasma regime
author Jamirzoev, A.
Yakovin, S.
Zykov, A.
author_facet Jamirzoev, A.
Yakovin, S.
Zykov, A.
topic Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
topic_facet Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
publishDate 2013
language English
container_title Вопросы атомной науки и техники
publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
format Article
title_alt Характеристики разряда в скрещенных ЕxН полях вблизи кривых зажигания в ускорительном и плазменном режимах
Характеристики розряду в схрещених ЕxН полях поблизу кривих запалювання в прискорювальному та плазмовому режимах
description In the present study the characteristics of discharge in crossed EH fields in acceleration and plasma regimes have been researched at low voltages near the breakdown curve. The new experimental data for current-voltage characteristic and their dependence on argon pressure and magnetic fields strength are presented. It is shown that initial stage of the current-voltage characteristic in acceleration and plasma regime are quite similar and correspond to regime with “oscillating” electrons. The theoretic model based on the energy balance of electrons in plasma regime is presented as well as the comparison of the theory with the experiment. The obtained results may be useful for further development of magnetron sputtering systems and plasma accelerators with closed electrons drift. Исследованы характеристики разряда в скрещенных ЕxН полях в ускорительном и плазменном режимах вблизи порога зажигания. Получены новые экспериментальные данные для вольт-амперных характеристик и их зависимости от давления и напряженности магнитного поля. Показано, что стартовые участки вольт- амперных характеристик в ускорительном и плазменном режимах идентичны и соответствуют режиму с «осциллирующими» электронами. Также представлена теоретическая модель на основе энергетического баланса электронов и проведено сравнение с экспериментом. Полученные результаты представляют интерес для дальнейшего развития магнетронных распылительных систем и плазменных ускорителей с замкнутым дрейфом электронов. Досліджено характеристики розряду в схрещених ЕxН полях у прискорювальному та плазмовому режимах поблизу порогу запалювання. Отримано нові експериментальні дані для вольт-амперних характеристик та їх залежності від тиску та сили магнітного поля. Показано, що стартові участки вольт- амперних характеристик у прискорювальному та плазмовому режимах ідентичні і відповідають режиму з «осцилюючими» електронами. Також представлено теоретичну модель на базі енергетичного балансу електронів та проведено порівняння з експериментом. Отримані дані будуть корисні для подальшого розвитку магнетронних розпилювальних систем та плазмових прискорювачів з замкнутим дрейфом електронів.
issn 1562-6016
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/109286
citation_txt Characteristics of discharge in crossed ЕxН fields near breakdown curve in acceleration and plasma regime / A. Jamirzoev, S. Yakovin, A. Zykov // Вопросы атомной науки и техники. — 2013. — № 1. — С. 186-188. — Бібліогр.: 5 назв. — англ.
work_keys_str_mv AT jamirzoeva characteristicsofdischargeincrossedexnfieldsnearbreakdowncurveinaccelerationandplasmaregime
AT yakovins characteristicsofdischargeincrossedexnfieldsnearbreakdowncurveinaccelerationandplasmaregime
AT zykova characteristicsofdischargeincrossedexnfieldsnearbreakdowncurveinaccelerationandplasmaregime
AT jamirzoeva harakteristikirazrâdavskreŝennyhexnpolâhvblizikrivyhzažiganiâvuskoritelʹnomiplazmennomrežimah
AT yakovins harakteristikirazrâdavskreŝennyhexnpolâhvblizikrivyhzažiganiâvuskoritelʹnomiplazmennomrežimah
AT zykova harakteristikirazrâdavskreŝennyhexnpolâhvblizikrivyhzažiganiâvuskoritelʹnomiplazmennomrežimah
AT jamirzoeva harakteristikirozrâduvshreŝenihexnpolâhpoblizukrivihzapalûvannâvpriskorûvalʹnomutaplazmovomurežimah
AT yakovins harakteristikirozrâduvshreŝenihexnpolâhpoblizukrivihzapalûvannâvpriskorûvalʹnomutaplazmovomurežimah
AT zykova harakteristikirozrâduvshreŝenihexnpolâhpoblizukrivihzapalûvannâvpriskorûvalʹnomutaplazmovomurežimah
first_indexed 2025-12-07T17:49:22Z
last_indexed 2025-12-07T17:49:22Z
_version_ 1850872706372730880

Similar Items