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Experimental investigation and computer simulation of the magnetron sputtering device with two erosion zones

There was built the self-consistent computer model of the magnetron sputtering device with two erosion zones of cathode-target, based on Monte Carlo algorithm. The magnetron sputtering device is an additional module for the industrial vacuum system VUP-5. The results of computer simulation and the e...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Вопросы атомной науки и техники
Datum:	2013
Hauptverfasser:	Bogdanov, R.V., Kostiukevych, O.M.
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2013
Schlagworte:	Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/109287
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Experimental investigation and computer simulation of the magnetron sputtering device with two erosion zones / R.V. Bogdanov, O.M. Kostiukevych // Вопросы атомной науки и техники. — 2013. — № 1. — С. 189-191. — Бібліогр.: 6 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

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