Зображення обкладинки

Experimental investigation and computer simulation of the magnetron sputtering device with two erosion zones

There was built the self-consistent computer model of the magnetron sputtering device with two erosion zones of cathode-target, based on Monte Carlo algorithm. The magnetron sputtering device is an additional module for the industrial vacuum system VUP-5. The results of computer simulation and the e...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Вопросы атомной науки и техники
Дата:	2013
Автори:	Bogdanov, R.V., Kostiukevych, O.M.
Формат:	Стаття
Мова:	Англійська
Опубліковано:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2013
Теми:	Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/109287
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Experimental investigation and computer simulation of the magnetron sputtering device with two erosion zones / R.V. Bogdanov, O.M. Kostiukevych // Вопросы атомной науки и техники. — 2013. — № 1. — С. 189-191. — Бібліогр.: 6 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Synthesis of TiO₂ different phase by DC magnetron sputtering
за авторством: Dobrovolskiy, A., та інші
Опубліковано: (2014)

Structure of Fe-Cu coatings prepared by the magnetron sputtering method
за авторством: Nowakowska-Langier, K., та інші
Опубліковано: (2010)

Plasma assisted deposition of TaB₂ coatings by magnetron sputtering system
за авторством: Yakovin, S., та інші
Опубліковано: (2017)

Erosion of vacuum-arc TiN coatings in plasma of stationary magnetron-type discharges
за авторством: Glazunov, G.P., та інші
Опубліковано: (2011)

Features of coatings deposition in combined stationary-pulsed operation mode of the magnetron sputtering system
за авторством: Chunadra, А.G., та інші
Опубліковано: (2017)

Control of planar magnetron sputtering system operating modes by additional anode magnetic field
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2010)

Computer modelling new generation plasma optical devices (new results)
за авторством: Litovko, I., та інші
Опубліковано: (2015)

Computer simulation of dust transport phenomena in a RF discharge
за авторством: Kravchenko, O.Yu., та інші
Опубліковано: (2010)

Particularities of the negative streamer propagation in homogeneous and inhomogeneous electric fields. Computer simulation
за авторством: Manuilenko, O.V., та інші
Опубліковано: (2013)

Computer simulation of abnormal glow discharge processes in crossed electric and magnetic fields
за авторством: Isakov, A.V., та інші
Опубліковано: (2014)

Increasing of mass transfer efficiency at magnetron deposition of metal coating
за авторством: Chunadra, A.G., та інші
Опубліковано: (2015)

Double magnetron cluster set-up for synthesis of micro and nano structure coatings
за авторством: Yakovin, S., та інші
Опубліковано: (2015)

Experimental investigation of arc column expansion generated by high-energy spark ignition system
за авторством: Korytchenko, K.V., та інші
Опубліковано: (2018)

Theoretical and experimental investigation of the plasma source with argon RF barrier discharge at atmospheric pressure
за авторством: Bazhenov, V.Yu., та інші
Опубліковано: (2014)

Probe measurements of parameters of dense gasmetallic plasma in the inhomogeneous magnetic field of a planar magnetron discharge
за авторством: Chunadra, А.G., та інші
Опубліковано: (2018)

Devices for pre-sterilszation treatment of endoscopes by ozone and ultrasound
за авторством: Taran, V.S., та інші
Опубліковано: (2014)

Computer simulation of positive streamer dynamics in strongly non-uniform electric fields in air. Effect of applied voltage on a streamer velocity for different needle radii
за авторством: Manuilenko, O.V., та інші
Опубліковано: (2014)

Simulation of nanoparticle deposition from plasmas on solid surface
за авторством: Bondar, M.A., та інші
Опубліковано: (2018)

Simulation of the plasma jet with a dispersed phase in an axisymmetric chamber
за авторством: Kravchenko, O.Yu., та інші
Опубліковано: (2012)

Investigation of nonequilibrium in plasma of ARC discharge between melting electrodes
за авторством: Fesenko, S.O., та інші
Опубліковано: (2018)

The obtaining and properties investigation of plasma formation at pulse discharge in water aerosol
за авторством: Iukhymenko, V.V., та інші
Опубліковано: (2013)

Investigation of antimicrobial activity and morphological properties of metal coated textile surfaces
за авторством: Necdet Aslan, та інші
Опубліковано: (2014)

Investigation on the possibility of determining plasma parameters by the method of low-frequency diagnostics
за авторством: Kovtun, Yu.V., та інші
Опубліковано: (2014)

Investigation on surface, electrical and optical properties of ITO-Ag-ITO coated glass
за авторством: Aslan, Aslan, та інші
Опубліковано: (2015)

Investigations on the parameters of multicomponent gas-metal plasma formed in the mixed molecular gases
за авторством: Kovtun, Yu.V., та інші
Опубліковано: (2017)

Investigation of gas discharge burn conditions in a Penning geometry in gradient magnetic fields
за авторством: Ozerov, A.N., та інші
Опубліковано: (2017)

Investigation of electron cut-off in a cylindrical electrode system in pulsed magnetic field of an inductor
за авторством: Drozd, I., та інші
Опубліковано: (2018)

Investigations of thermal plasma with metal impurities. Part І: The influence of electrodes composition on plasma properties
за авторством: Veklich, A.N., та інші
Опубліковано: (2012)

Investigation of electric arc discharge plasma between one-component Cu and Ni and composite Ag-Ni electrodes
за авторством: Veklich, A., та інші
Опубліковано: (2017)

Plasma of electric arc between composite electrodes on silver base
за авторством: Babich, I.L., та інші
Опубліковано: (2010)

Ozonizer with superimposed discharge for inactivation of microorganisms
за авторством: Taran, V.S., та інші
Опубліковано: (2011)

Rotating gliding discharge submerged in liquid
за авторством: Iukhymenko, V.V., та інші
Опубліковано: (2017)

Plasma chemistry for concept of sustainable development
за авторством: Chernyak, V.Ya., та інші
Опубліковано: (2017)

Hybrid plasma-catalytic reforming of ethanol aerosol
за авторством: Solomenko, O.V., та інші
Опубліковано: (2015)

About influence of energy of electrons and ions on speed of electron- and ion-stimulated plasmachemical etching of silicon
за авторством: Fedorovich, O.A., та інші
Опубліковано: (2010)

Particle charging in beam-plasma systems
за авторством: Bizyukov, А.А., та інші
Опубліковано: (2013)

Formation of forest of single-walled carbon nanotubes in plasma-enhanced chemical vapor deposition
за авторством: Burmaka, G.P., та інші
Опубліковано: (2012)

Neon cryovacuum system for endurance tests of electrojet propulsion systems
за авторством: Batracov, A.B., та інші
Опубліковано: (2015)

Longitudinal extraction of H⁻ ions from Penning discharge with metal-hydride cathode
за авторством: Sereda, I.N., та інші
Опубліковано: (2017)

About unrealization of tungsten lines up to the ground state in the nonideal plasma of pulse discharges in water
за авторством: Fedorovich, O.A.
Опубліковано: (2009)