Investigation of characteristics of non-simultaneous arc discharge in titanium vapors in glow discharge electron evaporators
Investigations of simultaneous applying of high voltage glow discharge (HVGD) and non-self-maintained low-pressure arc discharge for obtaining high-quality titanium nitride coatings are provided. Obtained results are compared with experiments, provided on experimental technological equipment. Provid...
Saved in:
| Published in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Date: | 2007 |
| Main Authors: | , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2007
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110505 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Investigation of characteristics of non-simultaneous arc discharge in titanium vapors in glow discharge electron evaporators / S.V. Denbnovetskiy, V.I. Melnyk, I.V. Melnyk, B.A. Tugay, P.V. Porytskyy // Вопросы атомной науки и техники. — 2007. — № 1. — С. 167-169. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862574476175081472 |
|---|---|
| author | Denbnovetskiy, S.V. Melnyk, V.I. Melnyk, I.V. Tugay, B.A. Porytskyy, P.V. |
| author_facet | Denbnovetskiy, S.V. Melnyk, V.I. Melnyk, I.V. Tugay, B.A. Porytskyy, P.V. |
| citation_txt | Investigation of characteristics of non-simultaneous arc discharge in titanium vapors in glow discharge electron evaporators / S.V. Denbnovetskiy, V.I. Melnyk, I.V. Melnyk, B.A. Tugay, P.V. Porytskyy // Вопросы атомной науки и техники. — 2007. — № 1. — С. 167-169. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | Investigations of simultaneous applying of high voltage glow discharge (HVGD) and non-self-maintained low-pressure arc discharge for obtaining high-quality titanium nitride coatings are provided. Obtained results are compared with experiments, provided on experimental technological equipment. Provided investigations showed, that using of glow discharge electron guns (GDEG) in installations for obtaining of chemically-complex compounds with plasma activation lead to simplifying of technological equipment and to improving the films quality. For investigated electrical parameters there are no necessary special technical measures for providing both HVGD and arc stability, early considered simple technical solutions are enough. Using of simple mechanical pumps for realizing binary films deposition in the range of operation pressure 10⁻² – 1 Pa with joint pumping of electron gun and technological chamber is also possible. Necessary technological equipment can be elaborated in correspondence with the customers’ requirement.
Досліджується сумісне застосування високовольтного тліючого розряду (ВТР) та несамостійного вакуумно-дугового розряду низького тиску для отримання високоякісних покриттів із нітриду титана. Отримані теоретичні результати підтверджуються експериментами, проведеними на технологічному обладнанні. Проведені дослідження показали, що використання газорозрядних гармат в електронно-променевому обладнанні, призначеному для осадження хімічно складних покриттів та використання дугового розряду для активації плазми, дозволяють спростити електронно-променеве обладнання та поліпшити якість отримуваних покриттів.
Исследуется совместное применение высоковольтного тлеющего разряда (ВТР) и несамостоятельного вакуумно-дугового разрядов низкого давления для получения высококачественных покрытий из нитрида титана. Полученные теоретические результаты подтверждаются экспериментами, проведенными на технологическом оборудовании. Проведенные исследования показали, что использование газоразрядных электронных пушек (ГРЭП) в электронно-лучевом оборудовании, предназначенном для нанесения покрытий сложного химического состава, совместно с использованием дугового разряда для активации плазмы, позволяет упростить электронно-лучевое оборудование и повысить качество получаемых покрытий.
|
| first_indexed | 2025-11-26T09:50:03Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-110505 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | English |
| last_indexed | 2025-11-26T09:50:03Z |
| publishDate | 2007 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Denbnovetskiy, S.V. Melnyk, V.I. Melnyk, I.V. Tugay, B.A. Porytskyy, P.V. 2017-01-04T17:16:03Z 2017-01-04T17:16:03Z 2007 Investigation of characteristics of non-simultaneous arc discharge in titanium vapors in glow discharge electron evaporators / S.V. Denbnovetskiy, V.I. Melnyk, I.V. Melnyk, B.A. Tugay, P.V. Porytskyy // Вопросы атомной науки и техники. — 2007. — № 1. — С. 167-169. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.80.Hc https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110505 Investigations of simultaneous applying of high voltage glow discharge (HVGD) and non-self-maintained low-pressure arc discharge for obtaining high-quality titanium nitride coatings are provided. Obtained results are compared with experiments, provided on experimental technological equipment. Provided investigations showed, that using of glow discharge electron guns (GDEG) in installations for obtaining of chemically-complex compounds with plasma activation lead to simplifying of technological equipment and to improving the films quality. For investigated electrical parameters there are no necessary special technical measures for providing both HVGD and arc stability, early considered simple technical solutions are enough. Using of simple mechanical pumps for realizing binary films deposition in the range of operation pressure 10⁻² – 1 Pa with joint pumping of electron gun and technological chamber is also possible. Necessary technological equipment can be elaborated in correspondence with the customers’ requirement. Досліджується сумісне застосування високовольтного тліючого розряду (ВТР) та несамостійного вакуумно-дугового розряду низького тиску для отримання високоякісних покриттів із нітриду титана. Отримані теоретичні результати підтверджуються експериментами, проведеними на технологічному обладнанні. Проведені дослідження показали, що використання газорозрядних гармат в електронно-променевому обладнанні, призначеному для осадження хімічно складних покриттів та використання дугового розряду для активації плазми, дозволяють спростити електронно-променеве обладнання та поліпшити якість отримуваних покриттів. Исследуется совместное применение высоковольтного тлеющего разряда (ВТР) и несамостоятельного вакуумно-дугового разрядов низкого давления для получения высококачественных покрытий из нитрида титана. Полученные теоретические результаты подтверждаются экспериментами, проведенными на технологическом оборудовании. Проведенные исследования показали, что использование газоразрядных электронных пушек (ГРЭП) в электронно-лучевом оборудовании, предназначенном для нанесения покрытий сложного химического состава, совместно с использованием дугового разряда для активации плазмы, позволяет упростить электронно-лучевое оборудование и повысить качество получаемых покрытий. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Low temperature plasma and plasma technologies Investigation of characteristics of non-simultaneous arc discharge in titanium vapors in glow discharge electron evaporators Дослідження характеристик несамостійного дугового разряду у парах титану у газорозрядних електронних випарниках Исследование характеристик несамостоятельного дугового разряда в парах титана в газоразрядных электронных испарителях Article published earlier |
| spellingShingle | Investigation of characteristics of non-simultaneous arc discharge in titanium vapors in glow discharge electron evaporators Denbnovetskiy, S.V. Melnyk, V.I. Melnyk, I.V. Tugay, B.A. Porytskyy, P.V. Low temperature plasma and plasma technologies |
| title | Investigation of characteristics of non-simultaneous arc discharge in titanium vapors in glow discharge electron evaporators |
| title_alt | Дослідження характеристик несамостійного дугового разряду у парах титану у газорозрядних електронних випарниках Исследование характеристик несамостоятельного дугового разряда в парах титана в газоразрядных электронных испарителях |
| title_full | Investigation of characteristics of non-simultaneous arc discharge in titanium vapors in glow discharge electron evaporators |
| title_fullStr | Investigation of characteristics of non-simultaneous arc discharge in titanium vapors in glow discharge electron evaporators |
| title_full_unstemmed | Investigation of characteristics of non-simultaneous arc discharge in titanium vapors in glow discharge electron evaporators |
| title_short | Investigation of characteristics of non-simultaneous arc discharge in titanium vapors in glow discharge electron evaporators |
| title_sort | investigation of characteristics of non-simultaneous arc discharge in titanium vapors in glow discharge electron evaporators |
| topic | Low temperature plasma and plasma technologies |
| topic_facet | Low temperature plasma and plasma technologies |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110505 |
| work_keys_str_mv | AT denbnovetskiysv investigationofcharacteristicsofnonsimultaneousarcdischargeintitaniumvaporsinglowdischargeelectronevaporators AT melnykvi investigationofcharacteristicsofnonsimultaneousarcdischargeintitaniumvaporsinglowdischargeelectronevaporators AT melnykiv investigationofcharacteristicsofnonsimultaneousarcdischargeintitaniumvaporsinglowdischargeelectronevaporators AT tugayba investigationofcharacteristicsofnonsimultaneousarcdischargeintitaniumvaporsinglowdischargeelectronevaporators AT porytskyypv investigationofcharacteristicsofnonsimultaneousarcdischargeintitaniumvaporsinglowdischargeelectronevaporators AT denbnovetskiysv doslídžennâharakteristiknesamostíinogodugovogorazrâduuparahtitanuugazorozrâdnihelektronnihviparnikah AT melnykvi doslídžennâharakteristiknesamostíinogodugovogorazrâduuparahtitanuugazorozrâdnihelektronnihviparnikah AT melnykiv doslídžennâharakteristiknesamostíinogodugovogorazrâduuparahtitanuugazorozrâdnihelektronnihviparnikah AT tugayba doslídžennâharakteristiknesamostíinogodugovogorazrâduuparahtitanuugazorozrâdnihelektronnihviparnikah AT porytskyypv doslídžennâharakteristiknesamostíinogodugovogorazrâduuparahtitanuugazorozrâdnihelektronnihviparnikah AT denbnovetskiysv issledovanieharakteristiknesamostoâtelʹnogodugovogorazrâdavparahtitanavgazorazrâdnyhélektronnyhisparitelâh AT melnykvi issledovanieharakteristiknesamostoâtelʹnogodugovogorazrâdavparahtitanavgazorazrâdnyhélektronnyhisparitelâh AT melnykiv issledovanieharakteristiknesamostoâtelʹnogodugovogorazrâdavparahtitanavgazorazrâdnyhélektronnyhisparitelâh AT tugayba issledovanieharakteristiknesamostoâtelʹnogodugovogorazrâdavparahtitanavgazorazrâdnyhélektronnyhisparitelâh AT porytskyypv issledovanieharakteristiknesamostoâtelʹnogodugovogorazrâdavparahtitanavgazorazrâdnyhélektronnyhisparitelâh |