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Investigation of characteristics of non-simultaneous arc discharge in titanium vapors in glow discharge electron evaporators

Investigations of simultaneous applying of high voltage glow discharge (HVGD) and non-self-maintained low-pressure arc discharge for obtaining high-quality titanium nitride coatings are provided. Obtained results are compared with experiments, provided on experimental technological equipment. Provid...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Вопросы атомной науки и техники
Datum:	2007
Hauptverfasser:	Denbnovetskiy, S.V., Melnyk, V.I., Melnyk, I.V., Tugay, B.A., Porytskyy, P.V.
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2007
Schlagworte:	Low temperature plasma and plasma technologies
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110505
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Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Investigation of characteristics of non-simultaneous arc discharge in titanium vapors in glow discharge electron evaporators / S.V. Denbnovetskiy, V.I. Melnyk, I.V. Melnyk, B.A. Tugay, P.V. Porytskyy // Вопросы атомной науки и техники. — 2007. — № 1. — С. 167-169. — Бібліогр.: 5 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

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