Investigation of characteristics of non-simultaneous arc discharge in titanium vapors in glow discharge electron evaporators

• Datum: 2007
• Hauptverfasser: Denbnovetskiy, S.V., Melnyk, V.I., Melnyk, I.V., Tugay, B.A., Porytskyy, P.V.
• Format: Artikel
• Sprache: English
• Veröffentlicht: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2007
• Schriftenreihe: Вопросы атомной науки и техники
• Schlagworte: Low temperature plasma and plasma technologies
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110505
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Investigation of characteristics of non-simultaneous arc discharge in titanium vapors in glow discharge electron evaporators / S.V. Denbnovetskiy, V.I. Melnyk, I.V. Melnyk, B.A. Tugay, P.V. Porytskyy // Вопросы атомной науки и техники. — 2007. — № 1. — С. 167-169. — Бібліогр.: 5 назв. — англ.

Investigations of simultaneous applying of high voltage glow discharge (HVGD) and non-self-maintained low-pressure arc discharge for obtaining high-quality titanium nitride coatings are provided. Obtained results are compared with experiments, provided on experimental technological equipment. Provid...