Cylindrical magnetron based on the plasmaoptical principles
The operation of any magnetron-type sputtering system is based on using of anomalous glow discharge in a crossed E ┴ B fields. In such systems a principle of magnetic isolation of electrons is realized and idea of magnetic lines equipotentialization for control of ions flow on cathode-target can be...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Дата: | 2007 |
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2007
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110509 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Cylindrical magnetron based on the plasmaoptical principles / A.M. Dobrovol's'kii, A.N. Evsyukov, A.A. Goncharov, I.M. Protsenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2007. — № 1. — С. 151-153. — Бібліогр.: 7 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-110509 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Dobrovol's'kii, A.M. Evsyukov, A.N. Goncharov, A.A. Protsenko, I.M. 2017-01-04T17:23:01Z 2017-01-04T17:23:01Z 2007 Cylindrical magnetron based on the plasmaoptical principles / A.M. Dobrovol's'kii, A.N. Evsyukov, A.A. Goncharov, I.M. Protsenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2007. — № 1. — С. 151-153. — Бібліогр.: 7 назв. — англ. 1562-6016 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110509 PACS:52.25.Xz,52.27.Aj,52.40.Hf,52.50.Dg,52.75.-d,52.77.-j,52.77.Bn,52.77.Dq,52.80.-s,52.80.Sm,52.80.Vp The operation of any magnetron-type sputtering system is based on using of anomalous glow discharge in a crossed E ┴ B fields. In such systems a principle of magnetic isolation of electrons is realized and idea of magnetic lines equipotentialization for control of ions flow on cathode-target can be applied quite well. In the present work, with consistent taking these principles into account, the sample of axially-symmetric cylindrical sputtering system of magnetron type is proposed, elaborated and tested. Використання аномального жевріючого розряду в схрещених електричному та магнітному полях є основою функціонування будь-якої магнетронної розпилюючої системи. В таких системах виконується принцип магнітної ізоляції електронів та може бути застосована ідея еквіпотенціалізації магнітних силових ліній з метою керування iонним потоком на катоді-мішені. На основі послідовного використання вказаних плазмооптичних принципів було запропоновано, реалізовано та досліджено варіант аксіально-симетричної циліндричної розпилюючої системи магнетронного типу. Использование аномального тлеющего разряда в скрещенных электрических и магнитных полях является основой функционирования любой магнетронной распылительной системы. В таких системах выполняется принцип магнитной изоляции электронов и может быть применена идея эквипотенциализации магнитных силовых линий для управления ионным потоком на катоде-мишени. На основе последовательного применения указанных плазмооптических принципов предложен, реализован и исследован вариант аксиально-симметричной цилиндрической распылительной системы магнетронного типа. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Low temperature plasma and plasma technologies Cylindrical magnetron based on the plasmaoptical principles Циліндричний магнетрон на принципах плазмооптики Цилиндрический магнетрон на принципах плазмооптики Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Cylindrical magnetron based on the plasmaoptical principles |
| spellingShingle |
Cylindrical magnetron based on the plasmaoptical principles Dobrovol's'kii, A.M. Evsyukov, A.N. Goncharov, A.A. Protsenko, I.M. Low temperature plasma and plasma technologies |
| title_short |
Cylindrical magnetron based on the plasmaoptical principles |
| title_full |
Cylindrical magnetron based on the plasmaoptical principles |
| title_fullStr |
Cylindrical magnetron based on the plasmaoptical principles |
| title_full_unstemmed |
Cylindrical magnetron based on the plasmaoptical principles |
| title_sort |
cylindrical magnetron based on the plasmaoptical principles |
| author |
Dobrovol's'kii, A.M. Evsyukov, A.N. Goncharov, A.A. Protsenko, I.M. |
| author_facet |
Dobrovol's'kii, A.M. Evsyukov, A.N. Goncharov, A.A. Protsenko, I.M. |
| topic |
Low temperature plasma and plasma technologies |
| topic_facet |
Low temperature plasma and plasma technologies |
| publishDate |
2007 |
| language |
English |
| container_title |
Вопросы атомной науки и техники |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Циліндричний магнетрон на принципах плазмооптики Цилиндрический магнетрон на принципах плазмооптики |
| description |
The operation of any magnetron-type sputtering system is based on using of anomalous glow discharge in a crossed E ┴ B fields. In such systems a principle of magnetic isolation of electrons is realized and idea of magnetic lines equipotentialization for control of ions flow on cathode-target can be applied quite well. In the present work, with consistent taking these principles into account, the sample of axially-symmetric cylindrical sputtering system of magnetron type is proposed, elaborated and tested.
Використання аномального жевріючого розряду в схрещених електричному та магнітному полях є основою функціонування будь-якої магнетронної розпилюючої системи. В таких системах виконується принцип магнітної ізоляції електронів та може бути застосована ідея еквіпотенціалізації магнітних силових ліній з метою керування iонним потоком на катоді-мішені. На основі послідовного використання вказаних плазмооптичних принципів було запропоновано, реалізовано та досліджено варіант аксіально-симетричної циліндричної розпилюючої системи магнетронного типу.
Использование аномального тлеющего разряда в скрещенных электрических и магнитных полях является основой функционирования любой магнетронной распылительной системы. В таких системах выполняется принцип магнитной изоляции электронов и может быть применена идея эквипотенциализации магнитных силовых линий для управления ионным потоком на катоде-мишени. На основе последовательного применения указанных плазмооптических принципов предложен, реализован и исследован вариант аксиально-симметричной цилиндрической распылительной системы магнетронного типа.
|
| issn |
1562-6016 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110509 |
| citation_txt |
Cylindrical magnetron based on the plasmaoptical principles / A.M. Dobrovol's'kii, A.N. Evsyukov, A.A. Goncharov, I.M. Protsenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2007. — № 1. — С. 151-153. — Бібліогр.: 7 назв. — англ. |
| work_keys_str_mv |
AT dobrovolskiiam cylindricalmagnetronbasedontheplasmaopticalprinciples AT evsyukovan cylindricalmagnetronbasedontheplasmaopticalprinciples AT goncharovaa cylindricalmagnetronbasedontheplasmaopticalprinciples AT protsenkoim cylindricalmagnetronbasedontheplasmaopticalprinciples AT dobrovolskiiam cilíndričniimagnetronnaprincipahplazmooptiki AT evsyukovan cilíndričniimagnetronnaprincipahplazmooptiki AT goncharovaa cilíndričniimagnetronnaprincipahplazmooptiki AT protsenkoim cilíndričniimagnetronnaprincipahplazmooptiki AT dobrovolskiiam cilindričeskiimagnetronnaprincipahplazmooptiki AT evsyukovan cilindričeskiimagnetronnaprincipahplazmooptiki AT goncharovaa cilindričeskiimagnetronnaprincipahplazmooptiki AT protsenkoim cilindričeskiimagnetronnaprincipahplazmooptiki |
| first_indexed |
2025-12-07T15:45:24Z |
| last_indexed |
2025-12-07T15:45:24Z |
| _version_ |
1850864906615652352 |