Cylindrical magnetron based on the plasmaoptical principles
The operation of any magnetron-type sputtering system is based on using of anomalous glow discharge in a crossed E ┴ B fields. In such systems a principle of magnetic isolation of electrons is realized and idea of magnetic lines equipotentialization for control of ions flow on cathode-target can be...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Datum: | 2007 |
| Hauptverfasser: | , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Englisch |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2007
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110509 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Cylindrical magnetron based on the plasmaoptical principles / A.M. Dobrovol's'kii, A.N. Evsyukov, A.A. Goncharov, I.M. Protsenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2007. — № 1. — С. 151-153. — Бібліогр.: 7 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862680110736343040 |
|---|---|
| author | Dobrovol's'kii, A.M. Evsyukov, A.N. Goncharov, A.A. Protsenko, I.M. |
| author_facet | Dobrovol's'kii, A.M. Evsyukov, A.N. Goncharov, A.A. Protsenko, I.M. |
| citation_txt | Cylindrical magnetron based on the plasmaoptical principles / A.M. Dobrovol's'kii, A.N. Evsyukov, A.A. Goncharov, I.M. Protsenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2007. — № 1. — С. 151-153. — Бібліогр.: 7 назв. — англ. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | The operation of any magnetron-type sputtering system is based on using of anomalous glow discharge in a crossed E ┴ B fields. In such systems a principle of magnetic isolation of electrons is realized and idea of magnetic lines equipotentialization for control of ions flow on cathode-target can be applied quite well. In the present work, with consistent taking these principles into account, the sample of axially-symmetric cylindrical sputtering system of magnetron type is proposed, elaborated and tested.
Використання аномального жевріючого розряду в схрещених електричному та магнітному полях є основою функціонування будь-якої магнетронної розпилюючої системи. В таких системах виконується принцип магнітної ізоляції електронів та може бути застосована ідея еквіпотенціалізації магнітних силових ліній з метою керування iонним потоком на катоді-мішені. На основі послідовного використання вказаних плазмооптичних принципів було запропоновано, реалізовано та досліджено варіант аксіально-симетричної циліндричної розпилюючої системи магнетронного типу.
Использование аномального тлеющего разряда в скрещенных электрических и магнитных полях является основой функционирования любой магнетронной распылительной системы. В таких системах выполняется принцип магнитной изоляции электронов и может быть применена идея эквипотенциализации магнитных силовых линий для управления ионным потоком на катоде-мишени. На основе последовательного применения указанных плазмооптических принципов предложен, реализован и исследован вариант аксиально-симметричной цилиндрической распылительной системы магнетронного типа.
|
| first_indexed | 2025-12-07T15:45:24Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-110509 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | English |
| last_indexed | 2025-12-07T15:45:24Z |
| publishDate | 2007 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Dobrovol's'kii, A.M. Evsyukov, A.N. Goncharov, A.A. Protsenko, I.M. 2017-01-04T17:23:01Z 2017-01-04T17:23:01Z 2007 Cylindrical magnetron based on the plasmaoptical principles / A.M. Dobrovol's'kii, A.N. Evsyukov, A.A. Goncharov, I.M. Protsenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2007. — № 1. — С. 151-153. — Бібліогр.: 7 назв. — англ. 1562-6016 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110509 PACS:52.25.Xz,52.27.Aj,52.40.Hf,52.50.Dg,52.75.-d,52.77.-j,52.77.Bn,52.77.Dq,52.80.-s,52.80.Sm,52.80.Vp The operation of any magnetron-type sputtering system is based on using of anomalous glow discharge in a crossed E ┴ B fields. In such systems a principle of magnetic isolation of electrons is realized and idea of magnetic lines equipotentialization for control of ions flow on cathode-target can be applied quite well. In the present work, with consistent taking these principles into account, the sample of axially-symmetric cylindrical sputtering system of magnetron type is proposed, elaborated and tested. Використання аномального жевріючого розряду в схрещених електричному та магнітному полях є основою функціонування будь-якої магнетронної розпилюючої системи. В таких системах виконується принцип магнітної ізоляції електронів та може бути застосована ідея еквіпотенціалізації магнітних силових ліній з метою керування iонним потоком на катоді-мішені. На основі послідовного використання вказаних плазмооптичних принципів було запропоновано, реалізовано та досліджено варіант аксіально-симетричної циліндричної розпилюючої системи магнетронного типу. Использование аномального тлеющего разряда в скрещенных электрических и магнитных полях является основой функционирования любой магнетронной распылительной системы. В таких системах выполняется принцип магнитной изоляции электронов и может быть применена идея эквипотенциализации магнитных силовых линий для управления ионным потоком на катоде-мишени. На основе последовательного применения указанных плазмооптических принципов предложен, реализован и исследован вариант аксиально-симметричной цилиндрической распылительной системы магнетронного типа. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Low temperature plasma and plasma technologies Cylindrical magnetron based on the plasmaoptical principles Циліндричний магнетрон на принципах плазмооптики Цилиндрический магнетрон на принципах плазмооптики Article published earlier |
| spellingShingle | Cylindrical magnetron based on the plasmaoptical principles Dobrovol's'kii, A.M. Evsyukov, A.N. Goncharov, A.A. Protsenko, I.M. Low temperature plasma and plasma technologies |
| title | Cylindrical magnetron based on the plasmaoptical principles |
| title_alt | Циліндричний магнетрон на принципах плазмооптики Цилиндрический магнетрон на принципах плазмооптики |
| title_full | Cylindrical magnetron based on the plasmaoptical principles |
| title_fullStr | Cylindrical magnetron based on the plasmaoptical principles |
| title_full_unstemmed | Cylindrical magnetron based on the plasmaoptical principles |
| title_short | Cylindrical magnetron based on the plasmaoptical principles |
| title_sort | cylindrical magnetron based on the plasmaoptical principles |
| topic | Low temperature plasma and plasma technologies |
| topic_facet | Low temperature plasma and plasma technologies |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110509 |
| work_keys_str_mv | AT dobrovolskiiam cylindricalmagnetronbasedontheplasmaopticalprinciples AT evsyukovan cylindricalmagnetronbasedontheplasmaopticalprinciples AT goncharovaa cylindricalmagnetronbasedontheplasmaopticalprinciples AT protsenkoim cylindricalmagnetronbasedontheplasmaopticalprinciples AT dobrovolskiiam cilíndričniimagnetronnaprincipahplazmooptiki AT evsyukovan cilíndričniimagnetronnaprincipahplazmooptiki AT goncharovaa cilíndričniimagnetronnaprincipahplazmooptiki AT protsenkoim cilíndričniimagnetronnaprincipahplazmooptiki AT dobrovolskiiam cilindričeskiimagnetronnaprincipahplazmooptiki AT evsyukovan cilindričeskiimagnetronnaprincipahplazmooptiki AT goncharovaa cilindričeskiimagnetronnaprincipahplazmooptiki AT protsenkoim cilindričeskiimagnetronnaprincipahplazmooptiki |