Cylindrical magnetron based on the plasmaoptical principles

The operation of any magnetron-type sputtering system is based on using of anomalous glow discharge in a crossed E ┴ B fields. In such systems a principle of magnetic isolation of electrons is realized and idea of magnetic lines equipotentialization for control of ions flow on cathode-target can be...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Вопросы атомной науки и техники
Datum:2007
Hauptverfasser: Dobrovol's'kii, A.M., Evsyukov, A.N., Goncharov, A.A., Protsenko, I.M.
Format: Artikel
Sprache:Englisch
Veröffentlicht: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2007
Schlagworte:
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110509
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Cylindrical magnetron based on the plasmaoptical principles / A.M. Dobrovol's'kii, A.N. Evsyukov, A.A. Goncharov, I.M. Protsenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2007. — № 1. — С. 151-153. — Бібліогр.: 7 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1862680110736343040
author Dobrovol's'kii, A.M.
Evsyukov, A.N.
Goncharov, A.A.
Protsenko, I.M.
author_facet Dobrovol's'kii, A.M.
Evsyukov, A.N.
Goncharov, A.A.
Protsenko, I.M.
citation_txt Cylindrical magnetron based on the plasmaoptical principles / A.M. Dobrovol's'kii, A.N. Evsyukov, A.A. Goncharov, I.M. Protsenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2007. — № 1. — С. 151-153. — Бібліогр.: 7 назв. — англ.
collection DSpace DC
container_title Вопросы атомной науки и техники
description The operation of any magnetron-type sputtering system is based on using of anomalous glow discharge in a crossed E ┴ B fields. In such systems a principle of magnetic isolation of electrons is realized and idea of magnetic lines equipotentialization for control of ions flow on cathode-target can be applied quite well. In the present work, with consistent taking these principles into account, the sample of axially-symmetric cylindrical sputtering system of magnetron type is proposed, elaborated and tested. Використання аномального жевріючого розряду в схрещених електричному та магнітному полях є основою функціонування будь-якої магнетронної розпилюючої системи. В таких системах виконується принцип магнітної ізоляції електронів та може бути застосована ідея еквіпотенціалізації магнітних силових ліній з метою керування iонним потоком на катоді-мішені. На основі послідовного використання вказаних плазмооптичних принципів було запропоновано, реалізовано та досліджено варіант аксіально-симетричної циліндричної розпилюючої системи магнетронного типу. Использование аномального тлеющего разряда в скрещенных электрических и магнитных полях является основой функционирования любой магнетронной распылительной системы. В таких системах выполняется принцип магнитной изоляции электронов и может быть применена идея эквипотенциализации магнитных силовых линий для управления ионным потоком на катоде-мишени. На основе последовательного применения указанных плазмооптических принципов предложен, реализован и исследован вариант аксиально-симметричной цилиндрической распылительной системы магнетронного типа.
first_indexed 2025-12-07T15:45:24Z
format Article
fulltext
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-110509
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 1562-6016
language English
last_indexed 2025-12-07T15:45:24Z
publishDate 2007
publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
record_format dspace
spelling Dobrovol's'kii, A.M.
Evsyukov, A.N.
Goncharov, A.A.
Protsenko, I.M.
2017-01-04T17:23:01Z
2017-01-04T17:23:01Z
2007
Cylindrical magnetron based on the plasmaoptical principles / A.M. Dobrovol's'kii, A.N. Evsyukov, A.A. Goncharov, I.M. Protsenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2007. — № 1. — С. 151-153. — Бібліогр.: 7 назв. — англ.
1562-6016
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110509
PACS:52.25.Xz,52.27.Aj,52.40.Hf,52.50.Dg,52.75.-d,52.77.-j,52.77.Bn,52.77.Dq,52.80.-s,52.80.Sm,52.80.Vp
The operation of any magnetron-type sputtering system is based on using of anomalous glow discharge in a crossed E ┴ B fields. In such systems a principle of magnetic isolation of electrons is realized and idea of magnetic lines equipotentialization for control of ions flow on cathode-target can be applied quite well. In the present work, with consistent taking these principles into account, the sample of axially-symmetric cylindrical sputtering system of magnetron type is proposed, elaborated and tested.
Використання аномального жевріючого розряду в схрещених електричному та магнітному полях є основою функціонування будь-якої магнетронної розпилюючої системи. В таких системах виконується принцип магнітної ізоляції електронів та може бути застосована ідея еквіпотенціалізації магнітних силових ліній з метою керування iонним потоком на катоді-мішені. На основі послідовного використання вказаних плазмооптичних принципів було запропоновано, реалізовано та досліджено варіант аксіально-симетричної циліндричної розпилюючої системи магнетронного типу.
Использование аномального тлеющего разряда в скрещенных электрических и магнитных полях является основой функционирования любой магнетронной распылительной системы. В таких системах выполняется принцип магнитной изоляции электронов и может быть применена идея эквипотенциализации магнитных силовых линий для управления ионным потоком на катоде-мишени. На основе последовательного применения указанных плазмооптических принципов предложен, реализован и исследован вариант аксиально-симметричной цилиндрической распылительной системы магнетронного типа.
en
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
Вопросы атомной науки и техники
Low temperature plasma and plasma technologies
Cylindrical magnetron based on the plasmaoptical principles
Циліндричний магнетрон на принципах плазмооптики
Цилиндрический магнетрон на принципах плазмооптики
Article
published earlier
spellingShingle Cylindrical magnetron based on the plasmaoptical principles
Dobrovol's'kii, A.M.
Evsyukov, A.N.
Goncharov, A.A.
Protsenko, I.M.
Low temperature plasma and plasma technologies
title Cylindrical magnetron based on the plasmaoptical principles
title_alt Циліндричний магнетрон на принципах плазмооптики
Цилиндрический магнетрон на принципах плазмооптики
title_full Cylindrical magnetron based on the plasmaoptical principles
title_fullStr Cylindrical magnetron based on the plasmaoptical principles
title_full_unstemmed Cylindrical magnetron based on the plasmaoptical principles
title_short Cylindrical magnetron based on the plasmaoptical principles
title_sort cylindrical magnetron based on the plasmaoptical principles
topic Low temperature plasma and plasma technologies
topic_facet Low temperature plasma and plasma technologies
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110509
work_keys_str_mv AT dobrovolskiiam cylindricalmagnetronbasedontheplasmaopticalprinciples
AT evsyukovan cylindricalmagnetronbasedontheplasmaopticalprinciples
AT goncharovaa cylindricalmagnetronbasedontheplasmaopticalprinciples
AT protsenkoim cylindricalmagnetronbasedontheplasmaopticalprinciples
AT dobrovolskiiam cilíndričniimagnetronnaprincipahplazmooptiki
AT evsyukovan cilíndričniimagnetronnaprincipahplazmooptiki
AT goncharovaa cilíndričniimagnetronnaprincipahplazmooptiki
AT protsenkoim cilíndričniimagnetronnaprincipahplazmooptiki
AT dobrovolskiiam cilindričeskiimagnetronnaprincipahplazmooptiki
AT evsyukovan cilindričeskiimagnetronnaprincipahplazmooptiki
AT goncharovaa cilindričeskiimagnetronnaprincipahplazmooptiki
AT protsenkoim cilindričeskiimagnetronnaprincipahplazmooptiki