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Cylindrical magnetron based on the plasmaoptical principles

The operation of any magnetron-type sputtering system is based on using of anomalous glow discharge in a crossed E ┴ B fields. In such systems a principle of magnetic isolation of electrons is realized and idea of magnetic lines equipotentialization for control of ions flow on cathode-target can be...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Вопросы атомной науки и техники
Datum:	2007
Hauptverfasser:	Dobrovol's'kii, A.M., Evsyukov, A.N., Goncharov, A.A., Protsenko, I.M.
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2007
Schlagworte:	Low temperature plasma and plasma technologies
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110509
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Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Cylindrical magnetron based on the plasmaoptical principles / A.M. Dobrovol's'kii, A.N. Evsyukov, A.A. Goncharov, I.M. Protsenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2007. — № 1. — С. 151-153. — Бібліогр.: 7 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

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