Characterization of plasma and emergent ion beam in a compact helicon source with permanent magnets
A compact helicon source with multi-component changeable magnetic system was studied to gain enhanced parameters of plasma and emergent ion beam. Alteration of the magnetic field configuration was found to be the main instrument for increasing the plasma density and ion beam current. The source effi...
Saved in:
| Published in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Date: | 2007 |
| Main Authors: | , , , |
| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2007
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110512 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Characterization of plasma and emergent ion beam in a compact helicon source with permanent magnets / Yu.V. Virko, V.F. Virko, K.P. Shamrai, A.I. Yakimenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2007. — № 1. — С. 136-138. — Бібліогр.: 7 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-110512 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Virko, Yu.V. Virko, V.F. Shamrai, K.P. Yakimenko, A.I. 2017-01-04T17:30:33Z 2017-01-04T17:30:33Z 2007 Characterization of plasma and emergent ion beam in a compact helicon source with permanent magnets / Yu.V. Virko, V.F. Virko, K.P. Shamrai, A.I. Yakimenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2007. — № 1. — С. 136-138. — Бібліогр.: 7 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.50.Qt, 52.75.Di, 52.80.Pi https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110512 A compact helicon source with multi-component changeable magnetic system was studied to gain enhanced parameters of plasma and emergent ion beam. Alteration of the magnetic field configuration was found to be the main instrument for increasing the plasma density and ion beam current. The source efficiency was also critically dependent on the rf antenna position and Ar gas pressure. By optimizing these parameters, plasma outflow was greatly increased and the emergent ion beam of energy above 100 eV was produced. Досліджено компактне геліконне джерело з багатокомпонентною змінюваною магнітною системою з метою одержання поліпшених параметрів плазми та вихідного іонного пучка. Зміна магнітної конфігурації виявилась основним засобом для підвищення густини плазми та струму іонного пучка. Ефективність джерела також критично залежала від розташування ВЧ- антени та тиску аргона. Шляхом оптимізації цих параметрів був істотно підвищено вихід плазми та одержано вихідний пучок іонів з енергіями понад 100 еВ. Исследован компактный геликонный источник с многокомпонентной изменяемой магнитной ситемой с целью получения улучшенных параметров плазмы и выходящего ионного пучка. Изменение магнитной конфигурации оказалось основным средством для повышения плотности плазмы и тока ионного пучка. Эффективность источника также критически зависела от положения ВЧ- антенны и давления аргона. Путем оптимизации этих параметров был существенно повышен выход плазмы и получен выходящий пучок ионов с энергиями свыше 100 эВ. This work was supported by the Science and Technology Center in Ukraine under contract # 3068. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Low temperature plasma and plasma technologies Characterization of plasma and emergent ion beam in a compact helicon source with permanent magnets Характеристики плазми та вихідного іонного пучка в компактному геліконному джерелі з постійними магнітами Характеристики плазмы и выходящего ионного пучка в компактном геликонном источнике с постоянными магнитами Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Characterization of plasma and emergent ion beam in a compact helicon source with permanent magnets |
| spellingShingle |
Characterization of plasma and emergent ion beam in a compact helicon source with permanent magnets Virko, Yu.V. Virko, V.F. Shamrai, K.P. Yakimenko, A.I. Low temperature plasma and plasma technologies |
| title_short |
Characterization of plasma and emergent ion beam in a compact helicon source with permanent magnets |
| title_full |
Characterization of plasma and emergent ion beam in a compact helicon source with permanent magnets |
| title_fullStr |
Characterization of plasma and emergent ion beam in a compact helicon source with permanent magnets |
| title_full_unstemmed |
Characterization of plasma and emergent ion beam in a compact helicon source with permanent magnets |
| title_sort |
characterization of plasma and emergent ion beam in a compact helicon source with permanent magnets |
| author |
Virko, Yu.V. Virko, V.F. Shamrai, K.P. Yakimenko, A.I. |
| author_facet |
Virko, Yu.V. Virko, V.F. Shamrai, K.P. Yakimenko, A.I. |
| topic |
Low temperature plasma and plasma technologies |
| topic_facet |
Low temperature plasma and plasma technologies |
| publishDate |
2007 |
| language |
English |
| container_title |
Вопросы атомной науки и техники |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Характеристики плазми та вихідного іонного пучка в компактному геліконному джерелі з постійними магнітами Характеристики плазмы и выходящего ионного пучка в компактном геликонном источнике с постоянными магнитами |
| description |
A compact helicon source with multi-component changeable magnetic system was studied to gain enhanced parameters of plasma and emergent ion beam. Alteration of the magnetic field configuration was found to be the main instrument for increasing the plasma density and ion beam current. The source efficiency was also critically dependent on the rf antenna position and Ar gas pressure. By optimizing these parameters, plasma outflow was greatly increased and the emergent ion beam of energy above 100 eV was produced.
Досліджено компактне геліконне джерело з багатокомпонентною змінюваною магнітною системою з метою одержання поліпшених параметрів плазми та вихідного іонного пучка. Зміна магнітної конфігурації виявилась основним засобом для підвищення густини плазми та струму іонного пучка. Ефективність джерела також критично залежала від розташування ВЧ- антени та тиску аргона. Шляхом оптимізації цих параметрів був істотно підвищено вихід плазми та одержано вихідний пучок іонів з енергіями понад 100 еВ.
Исследован компактный геликонный источник с многокомпонентной изменяемой магнитной ситемой с целью получения улучшенных параметров плазмы и выходящего ионного пучка. Изменение магнитной конфигурации оказалось основным средством для повышения плотности плазмы и тока ионного пучка. Эффективность источника также критически зависела от положения ВЧ- антенны и давления аргона. Путем оптимизации этих параметров был существенно повышен выход плазмы и получен выходящий пучок ионов с энергиями свыше 100 эВ.
|
| issn |
1562-6016 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110512 |
| citation_txt |
Characterization of plasma and emergent ion beam in a compact helicon source with permanent magnets / Yu.V. Virko, V.F. Virko, K.P. Shamrai, A.I. Yakimenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2007. — № 1. — С. 136-138. — Бібліогр.: 7 назв. — англ. |
| work_keys_str_mv |
AT virkoyuv characterizationofplasmaandemergentionbeaminacompactheliconsourcewithpermanentmagnets AT virkovf characterizationofplasmaandemergentionbeaminacompactheliconsourcewithpermanentmagnets AT shamraikp characterizationofplasmaandemergentionbeaminacompactheliconsourcewithpermanentmagnets AT yakimenkoai characterizationofplasmaandemergentionbeaminacompactheliconsourcewithpermanentmagnets AT virkoyuv harakteristikiplazmitavihídnogoíonnogopučkavkompaktnomugelíkonnomudžerelízpostíinimimagnítami AT virkovf harakteristikiplazmitavihídnogoíonnogopučkavkompaktnomugelíkonnomudžerelízpostíinimimagnítami AT shamraikp harakteristikiplazmitavihídnogoíonnogopučkavkompaktnomugelíkonnomudžerelízpostíinimimagnítami AT yakimenkoai harakteristikiplazmitavihídnogoíonnogopučkavkompaktnomugelíkonnomudžerelízpostíinimimagnítami AT virkoyuv harakteristikiplazmyivyhodâŝegoionnogopučkavkompaktnomgelikonnomistočnikespostoânnymimagnitami AT virkovf harakteristikiplazmyivyhodâŝegoionnogopučkavkompaktnomgelikonnomistočnikespostoânnymimagnitami AT shamraikp harakteristikiplazmyivyhodâŝegoionnogopučkavkompaktnomgelikonnomistočnikespostoânnymimagnitami AT yakimenkoai harakteristikiplazmyivyhodâŝegoionnogopučkavkompaktnomgelikonnomistočnikespostoânnymimagnitami |
| first_indexed |
2025-12-07T17:41:00Z |
| last_indexed |
2025-12-07T17:41:00Z |
| _version_ |
1850872179539836928 |