Solid ion source based on hollow-cylindrical magnetron sputtering discharge

Solid ion source based on hollow-cylindrical magnetron sputtering discharge

A new solid ion source is described. The ion source based on hollow-cylindrical magnetron sputtering discharge produces the beam of various solid ions (B, C, Si, Ti, V, Fe, Ni, Ta, W) which are then extracted by an ion optical accelerating system. In this ion source DC discharge is used for generati...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Вопросы атомной науки и техники
Date:2003
Main Authors: Azarenkov, N.A., Bizyukov, A.A., Bizyukov, I.A., Bobkov, V.V., Kashaba, A.E., Krieger, K., Sereda, K.N., Tarasov, I.K.
Format: Article
Language:English
Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2003
Subjects:
Low temperature plasma and plasma technologies
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110538
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Solid ion source based on hollow-cylindrical magnetron sputtering discharge / N.A. Azarenkov, A.A. Bizyukov, I.A. Bizyukov, V.V. Bobkov, A.E. Kashaba, K. Krieger, K.N. Sereda, I.K. Tarasov // Вопросы атомной науки и техники. — 2003. — № 1. — С. 125-127. — Бібліогр.: 5 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-110538
record_format dspace
spelling Azarenkov, N.A.
Bizyukov, A.A.
Bizyukov, I.A.
Bobkov, V.V.
Kashaba, A.E.
Krieger, K.
Sereda, K.N.
Tarasov, I.K.
2017-01-04T18:40:00Z
2017-01-04T18:40:00Z
2003
Solid ion source based on hollow-cylindrical magnetron sputtering discharge / N.A. Azarenkov, A.A. Bizyukov, I.A. Bizyukov, V.V. Bobkov, A.E. Kashaba, K. Krieger, K.N. Sereda, I.K. Tarasov // Вопросы атомной науки и техники. — 2003. — № 1. — С. 125-127. — Бібліогр.: 5 назв. — англ.
1562-6016
PACS: 52.80.-s
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110538
A new solid ion source is described. The ion source based on hollow-cylindrical magnetron sputtering discharge produces the beam of various solid ions (B, C, Si, Ti, V, Fe, Ni, Ta, W) which are then extracted by an ion optical accelerating system. In this ion source DC discharge is used for generation of the ions of different metals and capacitively coupled RF discharge with a frequency 13.56 MHz is used for generation of the ions of other solid materials.
Описано нове джерело твердотільних іонів. Джерело іонів на базі порожнього циліндричного розпилюючого магнетронного розряду генерує пучок різних твердотільних іонів (B, C, Si, Ti, V, Fe, Ni, Ta, W), які потім витягаються іонно-оптичною прискорюючою системою. У цьому іонному джерелі для генерації іонів різних металів використовується розряд постійного струму, а для генерації іонів інших твердих матеріалів використовується ємнісний ВЧ-розряд з частотою 13,56 Мгц.
Описан новый источник твердотельных ионов. Источник ионов на базе полого цилиндрического распылительного магнетронного разряда производит пучок различных твердотельных ионов (B, C, Si, Ti, V, Fe, Ni, Ta, W), которые затем извлекаются ионно-оптической ускорительной системой. В этом ионном источнике для генерации ионов различных металлов используется разряд постоянного тока, а для генерации ионов других твердых материалов используется емкостной ВЧ-разряд с частотой 13,56 МГц.
This work was supported in part by Science and Technology Center in Ukraine, project #1112
en
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
Вопросы атомной науки и техники
Low temperature plasma and plasma technologies
Solid ion source based on hollow-cylindrical magnetron sputtering discharge
Джерело твердотільних іонів на базі порожнього циліндричного розпилювального магнетронного розряду
Источник твердотельных ионов на базе полого цилиндрического распылительного магнетронного разряда
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Solid ion source based on hollow-cylindrical magnetron sputtering discharge
spellingShingle Solid ion source based on hollow-cylindrical magnetron sputtering discharge
Azarenkov, N.A.
Bizyukov, A.A.
Bizyukov, I.A.
Bobkov, V.V.
Kashaba, A.E.
Krieger, K.
Sereda, K.N.
Tarasov, I.K.
Low temperature plasma and plasma technologies
title_short Solid ion source based on hollow-cylindrical magnetron sputtering discharge
title_full Solid ion source based on hollow-cylindrical magnetron sputtering discharge
title_fullStr Solid ion source based on hollow-cylindrical magnetron sputtering discharge
title_full_unstemmed Solid ion source based on hollow-cylindrical magnetron sputtering discharge
title_sort solid ion source based on hollow-cylindrical magnetron sputtering discharge
author Azarenkov, N.A.
Bizyukov, A.A.
Bizyukov, I.A.
Bobkov, V.V.
Kashaba, A.E.
Krieger, K.
Sereda, K.N.
Tarasov, I.K.
author_facet Azarenkov, N.A.
Bizyukov, A.A.
Bizyukov, I.A.
Bobkov, V.V.
Kashaba, A.E.
Krieger, K.
Sereda, K.N.
Tarasov, I.K.
topic Low temperature plasma and plasma technologies
topic_facet Low temperature plasma and plasma technologies
publishDate 2003
language English
container_title Вопросы атомной науки и техники
publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
format Article
title_alt Джерело твердотільних іонів на базі порожнього циліндричного розпилювального магнетронного розряду
Источник твердотельных ионов на базе полого цилиндрического распылительного магнетронного разряда
description A new solid ion source is described. The ion source based on hollow-cylindrical magnetron sputtering discharge produces the beam of various solid ions (B, C, Si, Ti, V, Fe, Ni, Ta, W) which are then extracted by an ion optical accelerating system. In this ion source DC discharge is used for generation of the ions of different metals and capacitively coupled RF discharge with a frequency 13.56 MHz is used for generation of the ions of other solid materials. Описано нове джерело твердотільних іонів. Джерело іонів на базі порожнього циліндричного розпилюючого магнетронного розряду генерує пучок різних твердотільних іонів (B, C, Si, Ti, V, Fe, Ni, Ta, W), які потім витягаються іонно-оптичною прискорюючою системою. У цьому іонному джерелі для генерації іонів різних металів використовується розряд постійного струму, а для генерації іонів інших твердих матеріалів використовується ємнісний ВЧ-розряд з частотою 13,56 Мгц. Описан новый источник твердотельных ионов. Источник ионов на базе полого цилиндрического распылительного магнетронного разряда производит пучок различных твердотельных ионов (B, C, Si, Ti, V, Fe, Ni, Ta, W), которые затем извлекаются ионно-оптической ускорительной системой. В этом ионном источнике для генерации ионов различных металлов используется разряд постоянного тока, а для генерации ионов других твердых материалов используется емкостной ВЧ-разряд с частотой 13,56 МГц.
issn 1562-6016
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110538
citation_txt Solid ion source based on hollow-cylindrical magnetron sputtering discharge / N.A. Azarenkov, A.A. Bizyukov, I.A. Bizyukov, V.V. Bobkov, A.E. Kashaba, K. Krieger, K.N. Sereda, I.K. Tarasov // Вопросы атомной науки и техники. — 2003. — № 1. — С. 125-127. — Бібліогр.: 5 назв. — англ.
work_keys_str_mv AT azarenkovna solidionsourcebasedonhollowcylindricalmagnetronsputteringdischarge
AT bizyukovaa solidionsourcebasedonhollowcylindricalmagnetronsputteringdischarge
AT bizyukovia solidionsourcebasedonhollowcylindricalmagnetronsputteringdischarge
AT bobkovvv solidionsourcebasedonhollowcylindricalmagnetronsputteringdischarge
AT kashabaae solidionsourcebasedonhollowcylindricalmagnetronsputteringdischarge
AT kriegerk solidionsourcebasedonhollowcylindricalmagnetronsputteringdischarge
AT seredakn solidionsourcebasedonhollowcylindricalmagnetronsputteringdischarge
AT tarasovik solidionsourcebasedonhollowcylindricalmagnetronsputteringdischarge
AT azarenkovna džerelotverdotílʹnihíonívnabazíporožnʹogocilíndričnogorozpilûvalʹnogomagnetronnogorozrâdu
AT bizyukovaa džerelotverdotílʹnihíonívnabazíporožnʹogocilíndričnogorozpilûvalʹnogomagnetronnogorozrâdu
AT bizyukovia džerelotverdotílʹnihíonívnabazíporožnʹogocilíndričnogorozpilûvalʹnogomagnetronnogorozrâdu
AT bobkovvv džerelotverdotílʹnihíonívnabazíporožnʹogocilíndričnogorozpilûvalʹnogomagnetronnogorozrâdu
AT kashabaae džerelotverdotílʹnihíonívnabazíporožnʹogocilíndričnogorozpilûvalʹnogomagnetronnogorozrâdu
AT kriegerk džerelotverdotílʹnihíonívnabazíporožnʹogocilíndričnogorozpilûvalʹnogomagnetronnogorozrâdu
AT seredakn džerelotverdotílʹnihíonívnabazíporožnʹogocilíndričnogorozpilûvalʹnogomagnetronnogorozrâdu
AT tarasovik džerelotverdotílʹnihíonívnabazíporožnʹogocilíndričnogorozpilûvalʹnogomagnetronnogorozrâdu
AT azarenkovna istočniktverdotelʹnyhionovnabazepologocilindričeskogoraspylitelʹnogomagnetronnogorazrâda
AT bizyukovaa istočniktverdotelʹnyhionovnabazepologocilindričeskogoraspylitelʹnogomagnetronnogorazrâda
AT bizyukovia istočniktverdotelʹnyhionovnabazepologocilindričeskogoraspylitelʹnogomagnetronnogorazrâda
AT bobkovvv istočniktverdotelʹnyhionovnabazepologocilindričeskogoraspylitelʹnogomagnetronnogorazrâda
AT kashabaae istočniktverdotelʹnyhionovnabazepologocilindričeskogoraspylitelʹnogomagnetronnogorazrâda
AT kriegerk istočniktverdotelʹnyhionovnabazepologocilindričeskogoraspylitelʹnogomagnetronnogorazrâda
AT seredakn istočniktverdotelʹnyhionovnabazepologocilindričeskogoraspylitelʹnogomagnetronnogorazrâda
AT tarasovik istočniktverdotelʹnyhionovnabazepologocilindričeskogoraspylitelʹnogomagnetronnogorazrâda
first_indexed 2025-12-07T18:27:07Z
last_indexed 2025-12-07T18:27:07Z
_version_ 1850875081103769600

Similar Items