Solid ion source based on hollow-cylindrical magnetron sputtering discharge
A new solid ion source is described. The ion source based on hollow-cylindrical magnetron sputtering discharge produces the beam of various solid ions (B, C, Si, Ti, V, Fe, Ni, Ta, W) which are then extracted by an ion optical accelerating system. In this ion source DC discharge is used for generati...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Datum: | 2003 |
| Hauptverfasser: | , , , , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Englisch |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2003
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110538 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Solid ion source based on hollow-cylindrical magnetron sputtering discharge / N.A. Azarenkov, A.A. Bizyukov, I.A. Bizyukov, V.V. Bobkov, A.E. Kashaba, K. Krieger, K.N. Sereda, I.K. Tarasov // Вопросы атомной науки и техники. — 2003. — № 1. — С. 125-127. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862720663246077952 |
|---|---|
| author | Azarenkov, N.A. Bizyukov, A.A. Bizyukov, I.A. Bobkov, V.V. Kashaba, A.E. Krieger, K. Sereda, K.N. Tarasov, I.K. |
| author_facet | Azarenkov, N.A. Bizyukov, A.A. Bizyukov, I.A. Bobkov, V.V. Kashaba, A.E. Krieger, K. Sereda, K.N. Tarasov, I.K. |
| citation_txt | Solid ion source based on hollow-cylindrical magnetron sputtering discharge / N.A. Azarenkov, A.A. Bizyukov, I.A. Bizyukov, V.V. Bobkov, A.E. Kashaba, K. Krieger, K.N. Sereda, I.K. Tarasov // Вопросы атомной науки и техники. — 2003. — № 1. — С. 125-127. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | A new solid ion source is described. The ion source based on hollow-cylindrical magnetron sputtering discharge produces the beam of various solid ions (B, C, Si, Ti, V, Fe, Ni, Ta, W) which are then extracted by an ion optical accelerating system. In this ion source DC discharge is used for generation of the ions of different metals and capacitively coupled RF discharge with a frequency 13.56 MHz is used for generation of the ions of other solid materials.
Описано нове джерело твердотільних іонів. Джерело іонів на базі порожнього циліндричного розпилюючого магнетронного розряду генерує пучок різних твердотільних іонів (B, C, Si, Ti, V, Fe, Ni, Ta, W), які потім витягаються іонно-оптичною прискорюючою системою. У цьому іонному джерелі для генерації іонів різних металів використовується розряд постійного струму, а для генерації іонів інших твердих матеріалів використовується ємнісний ВЧ-розряд з частотою 13,56 Мгц.
Описан новый источник твердотельных ионов. Источник ионов на базе полого цилиндрического распылительного магнетронного разряда производит пучок различных твердотельных ионов (B, C, Si, Ti, V, Fe, Ni, Ta, W), которые затем извлекаются ионно-оптической ускорительной системой. В этом ионном источнике для генерации ионов различных металлов используется разряд постоянного тока, а для генерации ионов других твердых материалов используется емкостной ВЧ-разряд с частотой 13,56 МГц.
|
| first_indexed | 2025-12-07T18:27:07Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-110538 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | English |
| last_indexed | 2025-12-07T18:27:07Z |
| publishDate | 2003 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Azarenkov, N.A. Bizyukov, A.A. Bizyukov, I.A. Bobkov, V.V. Kashaba, A.E. Krieger, K. Sereda, K.N. Tarasov, I.K. 2017-01-04T18:40:00Z 2017-01-04T18:40:00Z 2003 Solid ion source based on hollow-cylindrical magnetron sputtering discharge / N.A. Azarenkov, A.A. Bizyukov, I.A. Bizyukov, V.V. Bobkov, A.E. Kashaba, K. Krieger, K.N. Sereda, I.K. Tarasov // Вопросы атомной науки и техники. — 2003. — № 1. — С. 125-127. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.80.-s https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110538 A new solid ion source is described. The ion source based on hollow-cylindrical magnetron sputtering discharge produces the beam of various solid ions (B, C, Si, Ti, V, Fe, Ni, Ta, W) which are then extracted by an ion optical accelerating system. In this ion source DC discharge is used for generation of the ions of different metals and capacitively coupled RF discharge with a frequency 13.56 MHz is used for generation of the ions of other solid materials. Описано нове джерело твердотільних іонів. Джерело іонів на базі порожнього циліндричного розпилюючого магнетронного розряду генерує пучок різних твердотільних іонів (B, C, Si, Ti, V, Fe, Ni, Ta, W), які потім витягаються іонно-оптичною прискорюючою системою. У цьому іонному джерелі для генерації іонів різних металів використовується розряд постійного струму, а для генерації іонів інших твердих матеріалів використовується ємнісний ВЧ-розряд з частотою 13,56 Мгц. Описан новый источник твердотельных ионов. Источник ионов на базе полого цилиндрического распылительного магнетронного разряда производит пучок различных твердотельных ионов (B, C, Si, Ti, V, Fe, Ni, Ta, W), которые затем извлекаются ионно-оптической ускорительной системой. В этом ионном источнике для генерации ионов различных металлов используется разряд постоянного тока, а для генерации ионов других твердых материалов используется емкостной ВЧ-разряд с частотой 13,56 МГц. This work was supported in part by Science and Technology Center in Ukraine, project #1112 en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Low temperature plasma and plasma technologies Solid ion source based on hollow-cylindrical magnetron sputtering discharge Джерело твердотільних іонів на базі порожнього циліндричного розпилювального магнетронного розряду Источник твердотельных ионов на базе полого цилиндрического распылительного магнетронного разряда Article published earlier |
| spellingShingle | Solid ion source based on hollow-cylindrical magnetron sputtering discharge Azarenkov, N.A. Bizyukov, A.A. Bizyukov, I.A. Bobkov, V.V. Kashaba, A.E. Krieger, K. Sereda, K.N. Tarasov, I.K. Low temperature plasma and plasma technologies |
| title | Solid ion source based on hollow-cylindrical magnetron sputtering discharge |
| title_alt | Джерело твердотільних іонів на базі порожнього циліндричного розпилювального магнетронного розряду Источник твердотельных ионов на базе полого цилиндрического распылительного магнетронного разряда |
| title_full | Solid ion source based on hollow-cylindrical magnetron sputtering discharge |
| title_fullStr | Solid ion source based on hollow-cylindrical magnetron sputtering discharge |
| title_full_unstemmed | Solid ion source based on hollow-cylindrical magnetron sputtering discharge |
| title_short | Solid ion source based on hollow-cylindrical magnetron sputtering discharge |
| title_sort | solid ion source based on hollow-cylindrical magnetron sputtering discharge |
| topic | Low temperature plasma and plasma technologies |
| topic_facet | Low temperature plasma and plasma technologies |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110538 |
| work_keys_str_mv | AT azarenkovna solidionsourcebasedonhollowcylindricalmagnetronsputteringdischarge AT bizyukovaa solidionsourcebasedonhollowcylindricalmagnetronsputteringdischarge AT bizyukovia solidionsourcebasedonhollowcylindricalmagnetronsputteringdischarge AT bobkovvv solidionsourcebasedonhollowcylindricalmagnetronsputteringdischarge AT kashabaae solidionsourcebasedonhollowcylindricalmagnetronsputteringdischarge AT kriegerk solidionsourcebasedonhollowcylindricalmagnetronsputteringdischarge AT seredakn solidionsourcebasedonhollowcylindricalmagnetronsputteringdischarge AT tarasovik solidionsourcebasedonhollowcylindricalmagnetronsputteringdischarge AT azarenkovna džerelotverdotílʹnihíonívnabazíporožnʹogocilíndričnogorozpilûvalʹnogomagnetronnogorozrâdu AT bizyukovaa džerelotverdotílʹnihíonívnabazíporožnʹogocilíndričnogorozpilûvalʹnogomagnetronnogorozrâdu AT bizyukovia džerelotverdotílʹnihíonívnabazíporožnʹogocilíndričnogorozpilûvalʹnogomagnetronnogorozrâdu AT bobkovvv džerelotverdotílʹnihíonívnabazíporožnʹogocilíndričnogorozpilûvalʹnogomagnetronnogorozrâdu AT kashabaae džerelotverdotílʹnihíonívnabazíporožnʹogocilíndričnogorozpilûvalʹnogomagnetronnogorozrâdu AT kriegerk džerelotverdotílʹnihíonívnabazíporožnʹogocilíndričnogorozpilûvalʹnogomagnetronnogorozrâdu AT seredakn džerelotverdotílʹnihíonívnabazíporožnʹogocilíndričnogorozpilûvalʹnogomagnetronnogorozrâdu AT tarasovik džerelotverdotílʹnihíonívnabazíporožnʹogocilíndričnogorozpilûvalʹnogomagnetronnogorozrâdu AT azarenkovna istočniktverdotelʹnyhionovnabazepologocilindričeskogoraspylitelʹnogomagnetronnogorazrâda AT bizyukovaa istočniktverdotelʹnyhionovnabazepologocilindričeskogoraspylitelʹnogomagnetronnogorazrâda AT bizyukovia istočniktverdotelʹnyhionovnabazepologocilindričeskogoraspylitelʹnogomagnetronnogorazrâda AT bobkovvv istočniktverdotelʹnyhionovnabazepologocilindričeskogoraspylitelʹnogomagnetronnogorazrâda AT kashabaae istočniktverdotelʹnyhionovnabazepologocilindričeskogoraspylitelʹnogomagnetronnogorazrâda AT kriegerk istočniktverdotelʹnyhionovnabazepologocilindričeskogoraspylitelʹnogomagnetronnogorazrâda AT seredakn istočniktverdotelʹnyhionovnabazepologocilindričeskogoraspylitelʹnogomagnetronnogorazrâda AT tarasovik istočniktverdotelʹnyhionovnabazepologocilindričeskogoraspylitelʹnogomagnetronnogorazrâda |