Buchumschlag

Пучково-плазменный разряд в слабом магнитном поле как источник плазмы для плазмохимического реактора

Представлен обзор свойств пучково-плазменного разряда, позволяющих использовать его в качестве плазменного реактора для низкоэнергетического травления поверхности полупроводниковых материалов. Проведены эксперименты по изучению функции распределения ионов на периферии пучково-плазменного разряда и н...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Вопросы атомной науки и техники
Datum:	2008
Hauptverfasser:	Шустин, Е.Г., Исаев, Н.В., Темирязева, М.П., Тараканов, В.П., Федоров, Ю.В.
Format:	Artikel
Sprache:	Russisch
Veröffentlicht:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2008
Schlagworte:	Плазменно-пучковый разряд, газовый разряд и плазмохимия
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110571
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Пучково-плазменный разряд в слабом магнитном поле как источник плазмы для плазмохимического реактора / Е.Г. Шустин, Н.В. Исаев, М.П. Темирязева, В.П. Тараканов, Ю.В. Федоров // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 4. — С. 169-173. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Ähnliche Einträge

Пучково-плазменный разряд в плотной газовой среде и сильном магнитном поле, его особенности и возможные применения
von: Скибенко, Е.И.
Veröffentlicht: (2010)

Сильноточный магнетронный разряд с магнитоизолированным анодом
von: Бизюков, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Нагрев и испарение металлических макрочастиц в пучково-плазменных системах
von: Бизюков, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Геликоновые генераторы плазмы для аналитических приложений
von: Мордик, С.Н., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Получение отрицательных ионов водорода в пучково-плазменном разряде
von: Баранов, А.E., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Стационарный пучково-плазменный разряд для технологических целей
von: Скибенко, Е.И., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Влияние электроотрицательных примесей на разряд атмосферного давления в N₂-O₂
von: Голота, В.И., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Numerical simulation of influence of the non-equilibrium excitation of molecules on direct detonation initiation by spark discharge
von: Korytchehko, K.V., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Kinetics of Ar2+, Ar2* and Ar* in volume barrier discharge in argon
von: Tsiolko, V.V., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Computer modeling of the gas discharge in the electrodeless lamp
von: Frolova, T.I., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Конверсия паров метанола и этанола в разряде с сильно неоднородным распределением электрического поля при атмосферном давлении
von: Голота, В.И., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Peculiarities of UV radiation from hollow cathode discharge plasma used for sterilization of medical articles
von: Tsiolko, V.V., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Empirical formula for the dependence of the “optical gap” value on the electron concentration Ne within the range of 10¹⁷cm⁻³ ≤Ne ≤ 10²²cm⁻³
von: Fedorovich, О.А.
Veröffentlicht: (2013)

Plasma’s kinetics in discharge in mixture of air, water and ethanol steams and the questions of alternative fuel
von: Shchedrin, A.I., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Mathematical modeling of gas flow in plasma torch vortex chamber
von: Butyrev, A.E., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Kinetics of plasmachemical processes in barrier discharge on ambient air
von: Soloshenko, I.A., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Spectroscopy pequliarities of thermal plasma with copper and nickel vapours
von: Veklich, A.N., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Kinetic processes in negative glow plasma of low pressure discharge in oxygen
von: Tsiolko, V.V., et al.
Veröffentlicht: (2013)

The use of ozone technologies in grain storage
von: Golota, V.I., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Кинетика распада озона в реакторе для разложения шин
von: Голота, В.И., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Сathode design effect on gas breakdown and modes of burning of the glow discharge in nitrogen
von: Lisovskiy, V.A., et al.
Veröffentlicht: (2018)

On the dense plasma decay within the electron concentration range of 10¹⁷ cm⁻³≤Ne≤10²² cm⁻³
von: Fedorovich, О.А., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Stochastic heating of charged particles in absence of first order resonances
von: Antonov, A.N., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Численное моделирование отрицательного стримера в азоте
von: Голота, В.И., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Features of the microsecond pulsed discharge ignition in oxygen in a point-to-plane configuration
von: Mankovskyi, S.M., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Зависимость пороговой мощности пробоя от давления газа в различных режимах работы генератора СВЧ-излучения со скачками фазы
von: Алисов, А.Ф., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Плазмодинамические особенности цилиндрических газовых разрядов магнетронного типа
von: Гончаров, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2008)

The influence of exothermic reactions on the nonequilibrium level of discharge plasma
von: Chernyak, V.Ya., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Двовимірна нестаціонарна числова модель жевріючого розряду в аксіально-симетричній геометрії
von: Пономарьов, О.П., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Ignition and break-down of the gas discharge in magnetic field
von: Zykov, A.V., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Influence of component content of Ar/O₂ mixture on oxygen dissociation degree in plasma of low pressure discharge with hollow cathode
von: Bazhenov, V.Yu., et al.
Veröffentlicht: (2015)

О вращении тропического циклона
von: Боев, A.Г.
Veröffentlicht: (2010)

Экспериментальные исследования развития катодонаправленного стримера в воздухе при повышенных давлениях
von: Болотов, О.В., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Dynamics of the emission spectrum of the hydrogenoxygen plasma of pulsed discharge in water in the range of the Balmer series with a minimum of impurities
von: Fedorovich, O.A., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Hollow cathode discharge in low pressure oxygen: transient mode
von: Bazhenov, V.Yu., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Numerical simulation of gas-dynamic stage of spark discharge in oxygen
von: Korytchenko, K.V., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Сharging of a macroparticle in cathodic arc sheath
von: Romashchenko, E.V., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Conditions accompanying formation of long-living luminous objects from dissipating plasma of electric discharge in water
von: Golubnichy, P.I., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Влияние параметров импульсного отражательного разряда на его плазменные характеристики
von: Ковтун, Ю.В., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Peculiarities of glow modes of argon atmospheric pressure radio-frequency capacitive discharge with isolated electrodes
von: Bazhenov, V.Yu., et al.
Veröffentlicht: (2013)