Пучково-плазменный разряд в слабом магнитном поле как источник плазмы для плазмохимического реактора

• Published in: Вопросы атомной науки и техники
• Date: 2008
• Main Authors: Шустин, Е.Г., Исаев, Н.В., Темирязева, М.П., Тараканов, В.П., Федоров, Ю.В.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2008
• Subjects: Плазменно-пучковый разряд, газовый разряд и плазмохимия
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110571
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Пучково-плазменный разряд в слабом магнитном поле как источник плазмы для плазмохимического реактора / Е.Г. Шустин, Н.В. Исаев, М.П. Темирязева, В.П. Тараканов, Ю.В. Федоров // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 4. — С. 169-173. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.

Представлен обзор свойств пучково-плазменного разряда, позволяющих использовать его в качестве плазменного реактора для низкоэнергетического травления поверхности полупроводниковых материалов. Проведены эксперименты по изучению функции распределения ионов на периферии пучково-плазменного разряда и н...