Особенности применения металлогидридного катода в пеннинговском ионном источнике

Представлены результаты экспериментальных исследований влияния металлогидридного катода на эмиссионные характеристики источника ионов водорода пеннинговского типа. Изучены процессы токовой компенсации ионов, выходящих вдоль магнитного поля из такого источника. Исследованы функции распределения ионов...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Вопросы атомной науки и техники
Datum:2008
Hauptverfasser: Середа, И.Н., Клочко, Е.В., Целуйко, А.Ф.
Format: Artikel
Sprache:Russisch
Veröffentlicht: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2008
Schlagworte:
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110574
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Особенности применения металлогидридного катода в пеннинговском ионном источнике / И.Н. Середа, Е.В. Клочко, А.Ф. Целуйко // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 4. — С. 155-158. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1860207201951416320
author Середа, И.Н.
Клочко, Е.В.
Целуйко, А.Ф.
author_facet Середа, И.Н.
Клочко, Е.В.
Целуйко, А.Ф.
citation_txt Особенности применения металлогидридного катода в пеннинговском ионном источнике / И.Н. Середа, Е.В. Клочко, А.Ф. Целуйко // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 4. — С. 155-158. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Вопросы атомной науки и техники
description Представлены результаты экспериментальных исследований влияния металлогидридного катода на эмиссионные характеристики источника ионов водорода пеннинговского типа. Изучены процессы токовой компенсации ионов, выходящих вдоль магнитного поля из такого источника. Исследованы функции распределения ионов по энергиям в зависимости от внешних параметров работы источника. Представлено результати експериментальних досліджень впливу металогідридного катоду на емісійні характеристики джерела іонів водню пенинговського типу. Вивчено процеси струмової компенсації іонів, що витягаються з такого джерела. Досліджено функції розподілу іонів по енергіях, що виходять уздовж магнітного поля, залежно від зовнішніх параметрів роботи джерела. The results of experimental investigations of metal-hydride cathode influence on emission characteristics of PIG ion source of hydrogen have been presented. The processes of current compensation of extracted ions from such a source were studied. The energy distribution function of extracted along the magnetic field ions depending on mode of source work were carried out.
first_indexed 2025-12-07T18:12:27Z
format Article
fulltext УДК 533.9 ОСОБЕННОСТИ ПРИМЕНЕНИЯ МЕТАЛЛОГИДРИДНОГО КАТОДА В ПЕННИНГОВСКОМ ИОННОМ ИСТОЧНИКЕ И.Н. Середа, Е.В. Клочко, А.Ф. Целуйко Харьковский национальный университет им. В.Н. Каразина, Харьков, Украина E-mail: igorsereda@mail.ru Представлены результаты экспериментальных исследований влияния металлогидридного катода на эмиссионные характеристики источника ионов водорода пеннинговского типа. Изучены процессы токовой компенсации ионов, выходящих вдоль магнитного поля из такого источника. Исследованы функции распре- деления ионов по энергиям в зависимости от внешних параметров работы источника. 1. ВВЕДЕНИЕ Применение металлогидридов в системах газово- го питания изотопами водорода вакуумно-плазмен- ных устройств позволяет реализовывать принципи- ально новые схемы регулируемого “внутреннего” напуска плазмообразующего газа [1]. Согласно этой схеме металлогидридный источник водорода на основе насыщенного водородом геттерного матери- ала используется в качестве конструктивных узлов устройств-потребителей. Такие схемы обладают ря- дом преимуществ по сравнению с традиционными системами газового питания. В этом случае осуще- ствляется непосредственное взаимодействие поверх- ности металлогидрида с водородной плазмой, что способствует улучшению как технических характе- ристик металлогидридного источника водорода, так и вакуумно-плазменного устройства в целом [2]. В случае использования металлогидридов в каче- стве катодов вакуумно-плазменных устройств управляемый напуск плазмообразующего газа осу- ществляется за счет десорбции водорода из материа- ла катода под воздействием ионной бомбардировки его поверхности. При этом десорбированный водо- род находится в активированном состоянии. Акти- вирование водорода обусловлено колебательным возбуждением молекул Н2, которые образуются в результате рекомбинации атомов Н на поверхности таких соединений, с последующим переходом в га- зовую фазу разряда в термодинамически неравно- весном состоянии [3]. При этом потенциал иониза- ции десорбируемого водорода снижается на 0,5 эВ, а сечение ионизации возрастает в 1,5 раза, по срав- нению с обычным молекулярным водородом, напус- каемым из баллона [4]. При работе в условиях высокого вакуума наибо- лее перспективным является применение металло- гидридов системы Zr-V. Такие интерметаллические соединения при комнатной температуре обладают равновесными давлениями, не превышающими 10- 3…10-4 Торр, при улучшенной динамике сорбции- десорбции и водородоемкости. Максимально запа- саемое количество водорода в таких соединениях достигает 230…250 см3 водорода на грамм сплава при нормальных условиях. Разложение гидридных фаз этих материалов позволяет обеспечивать напуск изотопов водорода в интервале рабочих температур 400…900 К, а само выделение газа протекает равно- мерно. Однако контакт поверхности металлогидрида с плазмой, необходимый для эффективного управле- ния десорбцией из него водорода, приводит к взаим- ному влиянию процессов поглощения-выделения водорода металлогидридным катодом и характери- стик плазмообразующей ступени источника. Это су- щественно затрудняет идентификацию физических процессов, протекающих в таких устройствах, и поэтому некоторые полученные экспериментальные результаты не получили однозначной интерпрета- ции и носят противоречивый характер. В данной работе анализируются и обобщаются приведенные авторами экспериментальные исследо- вания, направленные на изучение влияния металло- гидридных катодов на характеристики ионного ис- точника пеннинговского типа. 2. РЕЗУЛЬТАТЫ И ОБСУЖДЕНИЕ Исследования проводились в пеннинговском раз- ряде с катодом, изготовленным из геттерного гидри- досодержащего состава Zr50V50Нх с различной степе- нью насыщенности его материала водородом. При- меняемый в экспериментах образец поглощает от 210 до 235 см3/г водорода при давлении водорода 1…2 атм и комнатной температуре. Это соответ- ствует стехиометрическому составу гидрида ZrH2 + ZrV2Hx, где x = 3,34…4,12, и валовому атом- ному отношению “водород / металл” H/M = 1,34… 1,53. Для сравнительных измерений использовались катоды из меди. Рабочим газом служил водород, ко- торый напускался из баллона. Схема и описание экспериментальной установки приведена в [5]. На Рис.1 показаны кривые термодесорбции водо- рода из гидрированного образца сплава [6]. Различ- ные степени насыщенности водородом соответству- ют начальным значениям H/M = 1,532 (100% насы- щение), H/M = 1,335 (87% насыщение) и H/M = 0,65 (~50% насыщение). При 100% насыщенности метал- логидрида водородом десорбция из него водорода в области температур 100…400°С существенно нерав- номерна. Однако выработка порядка 13% водорода приводит к тому, что выделение водорода становит- ся практически равномерным в том же интервале температур с тенденцией к росту скорости выделе- ния по мере повышения температуры вплоть до 586 оС (см. Рис.1, кривая H/M = 1,335). ___________________________________________________________ ВОПРОСЫ АТОМНОЙ НАУКИ И ТЕХНИКИ. 2008. № 4. Серия: Плазменная электроника и новые методы ускорения (6), с.155-158. 155 mailto:igorsereda@mail.ru 1 0 0 2 0 0 3 0 0 4 0 0 5 0 0 6 0 0 7 0 0 8 0 0 9 0 0 0 . 0 0 0 . 5 0 1 . 0 0 1 . 5 0 2 . 0 0 2 . 5 0 Q,см3/мин при нормальных условиях T, oC H/M=1.335 H/M=0.65 109 oC 221 oC 586 oC H/M=1.532 91 oC 166 oC 322 oC 514 oC Рис.1. Дифференциальная кривая термодесорбции водорода из гидрированного образца Zr50V50Hx с раз- личными начальными концентрациями водорода Полученные результаты качественно согласуют- ся с данными работы [7], в которых первая стадия газовыделения объясняется разложением интерме- таллического гидрида ZrV2Hx, а вторая – разложени- ем гидрида циркония. Для образца с (H/M)0= 0,65 (стехиометрический состав ZrH2+ZrV2H0.60) интен- сивность выделения водорода из интерметалличе- ской фазы незначительна, и основная часть водоро- да выделяется из ZrHх в температурном интервале 400…650°C. Параметры плазмы, исследованные в работе [8], показали, что в случае применения катода с макси- мальной начальной степенью насыщенности водо- родом (H/M=1.4) наблюдается значительное возрас- тание плотности плазмы на оси разряда. Авторы объясняют это формированием потока водорода, имеющего большую плотность в приосевой области разряда под воздействием интенсивной бомбарди- ровки поверхности катода ионами из плазмы. Уве- личение плотности, а также большие потенциалы го- рения разряда при низких давлениях приводящие к сильному ускорению ионов, позволяют эффективно применять этот разряд в качестве ионного источника. При низких давлениях водорода в камере, в условиях извлечения ионного тока в аксиальном направлении, влияние металлогидридного катода начинает сказываться начиная со значений давлений 4∙10-5 Торр. Это проиллюстрировано на Рис.2, где представлены функции распределения ионов по энергиям, извлекаемых вдоль магнитного поля через отверстие в центре одного из катодов. Как видно из рисунка, при использовании медного катода функ- ция распределения имеет один ярко выраженный максимум в области энергий 1,1 кэВ, что составляет 0,55 от разрядного напряжения (см. Рис.2, кривая 1). В случае использования металлогидрида в качестве материала катода разряда происходит уширение функции распределения ионов по энергиям (см. Рис.2, кривая 2). При этом на фоне высокоэнерге- тичного максимума в области энергий 1,1 кэВ появ- ляется дополнительный “низкоэнергетичный” пик на функции распределения с максимумом в районе 600 эВ, который наблюдался во всем диапазоне ис- следованных давлений. Положение “высокоэнерге- тичного” максимума для металлогидридного катода совпадает с положением максимума наиболее веро- ятной энергии для ионов, бомбардирующих медный катод. 0,2 0,4 0,6 0,8 1,0 1,2 1,4 1,6 1,8 2,0 0 2 4 6 8 10 12 14 2 1 N , о тн ос ит ел ьн ы е ед ин иц ы E, кэВ Рис.2. Функции распределения ионов по энергиям, извлекаемых вдоль магнитного поля из отражательного разряда при Н = 600 Э; Uр = 2 кВ; Р = 4·10-5 Торр, 1 – медный катод; 2 – катод из металлогидрида Наличие “низкоэнергетичного” пика на функции распределения ионов по энергиям в случае примене- ния металлогидридного катода нельзя объяснить только увеличением доли ионов атомарного водоро- да Н+ в разрядах с металлогидридными электродами, которая не превышает значения в 0,01% [9]. Поэто- му естественно связать появление данного пика с ионами водорода, десорбируемого из металлогид- ридного катода. 0,50 0,75 1,00 1,25 1,50 1,75 2,00 2,25 2,50 2,75 3,00 -1,0 -0,5 0,0 0,5 1,0 I к, µ A U р , кВ1 2 3 Рис.3. Зависимости тока с коллектора, установ- ленного за отверстием по центру максимально на- сыщенного водородом металлогидридного катода, от разрядного напряжения при P = 3∙10-4 Торр, 1 – Н = 600 Э; 2 – Н = 800 Э; 3 – Н = 1000 Э Увеличение потока десорбируемого водорода из металлогидрида за счет повышения плотности ионного тока на катоды приводит к переходу разря- да в режим эмиссии электронов в аксиальном направлении. Увеличение скорости десорбции мо- жет достигаться за счет увеличения мощности, вво- димой в разряд, либо за счет повышения давления в камере. При этом в диапазоне давлений 0,4…7·10- 156 4 Торр выход электронов происходит только со сто- роны насыщенного водородом металлогидридного катода (второй катод изготовлен из меди). На Рис.3 приведены типичные зависимости тока на коллек- тор, установленный за металлогидридным катодом, от величины разрядного напряжения. Металлогид- ридный катод имел максимальную степень насы- щенности водородом. Исследования с 75% насы- щенностью были проведены в работе [5]. Как видно из этого рисунка, при превышении разрядным напряжением некоторого порогового значения наблюдается практически линейное умень- шение положительного тока на коллектор. Дальней- шее увеличение напряжения разряда ведет к полной токовой компенсации и смене знака тока извлекае- мых частиц. Величины пороговых напряжений (при которых на коллектор идет максимальный положи- тельный ток) и напряжений, при которых происхо- дит полная токовая компенсация, зависят от давле- ния водорода в камере, величины магнитного поля и степени насыщенности водородом металлогидрида. Для достижения полной токовой компенсации с ро- стом давления требуется увеличение разрядного напряжения или напряженности магнитного поля. В случае применения металлогидридного катода с 50% насыщением водородом характер зависимо- сти тока на коллектор от разрядного напряжения не отличался от аналогичной зависимости для разряда с катодами, не содержащими гидридных фаз [5] во всем диапазоне рабочих давлений и значений напря- женности магнитного поля. Это связано с тем, что оставшийся в материале водород характеризуется большой энергией связи с кристаллической решет- кой [7] и его интенсивная десорбция в условиях на- ших экспериментов затруднена. Поскольку выход электронов наблюдается толь- ко со стороны металлогидридного катода при высо- кой концентрации водорода в катоде, то, очевидно, определяющую роль в процессе токовой компенса- ции извлекаемого ионного тока играет десорбиро- ванный из металлогидрида водород. Это может быть обусловлено следующими при- чинами. Десорбция водорода, вызванная ионной бомбардировкой поверхности металлогидрида, при- водит к локальному повышению концентрации ней- трального газа в приповерхностной области и соот- ветственно к повышению эффективности ионизации и плотности ионов в этой области. Это может способствовать преодолению электронами потенци- ального барьера и аксиальному выходу их из разря- да, что приводит к токовой компенсации тока на коллектор. Как было показано в нашей предыдущей работе [5], распределение по энергиям выходящих электро- нов практически не меняется во всем диапазоне ис- следованных параметров разряда и не зависит от степени насыщенности водородом металлогидрид- ного катода. Наиболее вероятная энергия электро- нов при этом составляла величину порядка 100 эВ. Исследования же энергетических спектров ионов, приходящих на коллектор, позволили вы- явить ряд особенностей. Показано, что в случае за- мены медного катода металлогидридным функция распределения по энергиям выходящих ионов суще- ственно зависит от степени насыщения последнего. Использование катода с 50% насыщением не приводит к качественным изменениям характера функции распределения ионов по сравнению со слу- чаем медных катодов. При этом функция распреде- ления ионов по энергиям имеет колоколообразный вид с максимумом, соответствующим примерно по- ловине разрядного напряжения. С повышением со- держания водорода в катоде характер функции рас- пределения существенно меняется. В случае полностью насыщенного водородом ме- таллогидридного катода функции распределения ионов по энергиям приведены на Рис.4. Кривая 1 со- ответствует максимальному положительному значе- нию тока на коллектор. Функция распределения в режиме токовой компенсации описывается кривой 2. Кривая 3 – при отрицательных значениях тока на коллектор. Видно, что с увеличением разрядного напряжения наблюдается существенное снижение энергии приходящих ионов. 0,0 0,1 0,2 0,3 0,4 0,5 0,6 0,7 0,8 0,9 1,0 1,1 1,2 1,3 0 2 4 6 8 10 12 14 16 18 20 22 N , о тн ос ит ел ьн ы е ед ин иц ы E, кэВ 1 2 3 Рис.4. Функции распределения ионов по энергиям, выходящих вдоль магнитного поля через отверстие в центре металлогидридного катода (максимальное насыщение) при P = 3∙10-4 Торр и Н = 800 Э: 1 – точка максимального положительного значения тока на коллектор при Up = 2 кВ; 2 – точка компенсации при Up = 2,2 кВ; 3 – точка отрицательного тока при Up = 2,3 кВ При максимальном положительном токе на кол- лектор функция распределения по энергиям ионов имеет максимум в районе 700 эВ (кривая 1), что со- ответствует 0,35 от разрядного напряжения. В точке полной токовой компенсации наиболее вероятная энергия существенно уменьшается, снижаясь до ве- личины порядка 200 эВ, а сама функция распределе- ния значительно сужается (кривая 2). При отрица- тельных токах на коллектор наиболее вероятная энергия ионов остается практически неизменной на фоне возрастания тока ионов на коллектор (кри- вая 3). Уменьшение энергии регистрируемых ионов ука- зывает на приближение зоны ионизации к поверхно- сти металлогидридного катода в область меньших ___________________________________________________________ ВОПРОСЫ АТОМНОЙ НАУКИ И ТЕХНИКИ. 2008. № 4. Серия: Плазменная электроника и новые методы ускорения (6), с.155-158. 157 падений напряжений. Смещение зоны генерации тем сильнее, чем выше степень насыщенности водо- родом. ЗАКЛЮЧЕНИЕ Исследованы особенности работы источника ионов водорода пеннинговского типа с металлогид- ридным катодом. Показано, что использование металлогидридного катода позволяет управлять процессами ионизации в объеме разряда. Установлено, что десорбция водо- рода при разложении гидридных фаз катода позво- ляет смещать область ионизации рабочего газа к ка- тоду, изменять функцию распределения ионов по энергиям, извлекаемых из разряда, а также позволя- ет формировать компенсированные по заряду пото- ки ионов водорода. Установлены области парамет- ров работы источника, при которых имеет место то- ковая компенсация. Показано, что влияние металло- гидридного катода на эмиссионные характеристики пеннинговского ионного источника существенно за- висит от степени насыщения катода водородом. ЛИТЕРАТУРА 1. Yu.F. Shmal'ko, V.V. Solovey, and M.V. Lototsky. Use of hydrides in systems for supplying vacuum physical-energy installations // Hydrogen Energy Progress X. Proc. 10-th Word Hydrogen Energy Conf. Ed. by D.L. Block, T.N. Veziroglu. – Int. As- sociation for Hydrogen Energy. 1994, v.2, p.1311– 1319. 2. Ye.V. Klochko, M.V. Lototsky, V.V. Popov, Yu.F. Shmal'ko, V.N. Borysko. Investigation of plasma interaction with metal hydride // Int. J. Hy- drogen Energy. 1999, v.24, p.169-174. 3. Yu.F. Shmal’ko, Ye.V. Klochko, N.V. Lototsky. In- fluence of isotopic effect on the shift of the ioniza- tion potential of hydrogen desorbed from metal hy- dride surface // Int. J. Hydrogen energy. 1996, v.21, p.1057-1059. 4. Ю.Ф. Шмалько, В.М Бориско, Є.В. Клочко, М.В. Лотоцький, В.В. Соловей. Про коливальне збудження молекул водню, що десорбується із металогідридів // Доповіді НАН України. 2000, №11, с.91-95. 5. I.A. Afanas’eva, V.N. Borisko, Ye.V. Klochko. I.N. Sereda, A.F. Tseluyko. Current compensation of hydrogen ion beam extracted from PIG with met- al-hydride cathode // Probl. of Atomic Sci. and Tech. Series «Рlasma physics» (13). 2007, №1, p.191-193. 6. A. Stern, A. Resnic, D. Shaltiel. Thermal desorbtion of spectra of hydrogen in HfV2Hx and ZrV2Hx // Journal of the Less-Common Metals. 1982, v.88, p.431-440. 7. В.А. Яртись, І.Ю. Завалій, М.В. Лотоцький, І.І. Булик, П.Б. Новосад, Ю.Ф. Шмалько. Сплави на основі Zr-V-Fe – ефективні поглиначі водню // Фіз.-хім. механіка матеріалів (27). 1991, №2, c.26-35. 8. V.N. Borisko, Ye.V. Klochko, I.N. Sereda. Influ- ence of saturation degree of metal-hydride cathode on characteristics of Penning type ion source of hy- drogen // Probl. of Atomic Sci. and Tech. Series «Plasma electronics and new acceleration meth- ods». 2003, v.3, p.217-220. 9. С.Б. Валуйская и др. Исследование процесса активирования водорода металлогидридами. Масс-спектрометрическое определение потенциала и сечения ионизации водорода // ВАНТ. Cер. «Атомно-водородная энергетика и технология». 1989, в.1, с.58-61. Статья поступила в редакцию 08.05.2008 г. PECULIARITIES OF METAL-HYDRIDE CATHODE APPLYING IN PIG ION SOURCE I.N. Sereda, Ye.V. Klochko, A.F. Tseluyko The results of experimental investigations of metal-hydride cathode influence on emission characteristics of PIG ion source of hydrogen have been presented. The processes of current compensation of extracted ions from such a source were studied. The energy distribution function of extracted along the magnetic field ions depending on mode of source work were carried out. ОСОБЛИВОСТІ ВИКОРИСТАННЯ МЕТАЛОГІДРИДНОГО КАТОДУ В ПЕНІНГОВСЬКОМУ ІОНОМУ ДЖЕРЕЛІ І.М. Середа, Є.В. Клочко, О.Ф. Целуйко Представлено результати експериментальних досліджень впливу металогідридного катоду на емісійні характеристики джерела іонів водню пенинговського типу. Вивчено процеси струмової компенсації іонів, що витягаються з такого джерела. Досліджено функції розподілу іонів по енергіях, що виходять уздовж магнітного поля, залежно від зовнішніх параметрів роботи джерела. 158
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-110574
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 1562-6016
language Russian
last_indexed 2025-12-07T18:12:27Z
publishDate 2008
publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
record_format dspace
spelling Середа, И.Н.
Клочко, Е.В.
Целуйко, А.Ф.
2017-01-04T19:53:03Z
2017-01-04T19:53:03Z
2008
Особенности применения металлогидридного катода в пеннинговском ионном источнике / И.Н. Середа, Е.В. Клочко, А.Ф. Целуйко // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 4. — С. 155-158. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.
1562-6016
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110574
533.9
Представлены результаты экспериментальных исследований влияния металлогидридного катода на эмиссионные характеристики источника ионов водорода пеннинговского типа. Изучены процессы токовой компенсации ионов, выходящих вдоль магнитного поля из такого источника. Исследованы функции распределения ионов по энергиям в зависимости от внешних параметров работы источника.
Представлено результати експериментальних досліджень впливу металогідридного катоду на емісійні характеристики джерела іонів водню пенинговського типу. Вивчено процеси струмової компенсації іонів, що витягаються з такого джерела. Досліджено функції розподілу іонів по енергіях, що виходять уздовж магнітного поля, залежно від зовнішніх параметрів роботи джерела.
The results of experimental investigations of metal-hydride cathode influence on emission characteristics of PIG ion source of hydrogen have been presented. The processes of current compensation of extracted ions from such a source were studied. The energy distribution function of extracted along the magnetic field ions depending on mode of source work were carried out.
ru
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
Вопросы атомной науки и техники
Плазменно-пучковый разряд, газовый разряд и плазмохимия
Особенности применения металлогидридного катода в пеннинговском ионном источнике
Особливості використання металогідридного катоду в пенінговському іоному джерелі
Peculiarities of metal-hydride cathode applying in pig ion source
Article
published earlier
spellingShingle Особенности применения металлогидридного катода в пеннинговском ионном источнике
Середа, И.Н.
Клочко, Е.В.
Целуйко, А.Ф.
Плазменно-пучковый разряд, газовый разряд и плазмохимия
title Особенности применения металлогидридного катода в пеннинговском ионном источнике
title_alt Особливості використання металогідридного катоду в пенінговському іоному джерелі
Peculiarities of metal-hydride cathode applying in pig ion source
title_full Особенности применения металлогидридного катода в пеннинговском ионном источнике
title_fullStr Особенности применения металлогидридного катода в пеннинговском ионном источнике
title_full_unstemmed Особенности применения металлогидридного катода в пеннинговском ионном источнике
title_short Особенности применения металлогидридного катода в пеннинговском ионном источнике
title_sort особенности применения металлогидридного катода в пеннинговском ионном источнике
topic Плазменно-пучковый разряд, газовый разряд и плазмохимия
topic_facet Плазменно-пучковый разряд, газовый разряд и плазмохимия
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110574
work_keys_str_mv AT seredain osobennostiprimeneniâmetallogidridnogokatodavpenningovskomionnomistočnike
AT kločkoev osobennostiprimeneniâmetallogidridnogokatodavpenningovskomionnomistočnike
AT celuikoaf osobennostiprimeneniâmetallogidridnogokatodavpenningovskomionnomistočnike
AT seredain osoblivostívikoristannâmetalogídridnogokatoduvpeníngovsʹkomuíonomudžerelí
AT kločkoev osoblivostívikoristannâmetalogídridnogokatoduvpeníngovsʹkomuíonomudžerelí
AT celuikoaf osoblivostívikoristannâmetalogídridnogokatoduvpeníngovsʹkomuíonomudžerelí
AT seredain peculiaritiesofmetalhydridecathodeapplyinginpigionsource
AT kločkoev peculiaritiesofmetalhydridecathodeapplyinginpigionsource
AT celuikoaf peculiaritiesofmetalhydridecathodeapplyinginpigionsource