Fedorchenko, V., Chebotarev, V., Medvedev, A., & Tereshin, V. (2007). Deposition of refractory metal films with planar plasma ECR source. Вопросы атомной науки и техники.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Fedorchenko, V.D, V.V Chebotarev, A.V Medvedev, und V.I Tereshin. "Deposition of Refractory Metal Films with Planar Plasma ECR Source." Вопросы атомной науки и техники 2007.
MLA-Zitierstil (8. Ausg.)Fedorchenko, V.D, et al. "Deposition of Refractory Metal Films with Planar Plasma ECR Source." Вопросы атомной науки и техники, 2007.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.