Modernized equipment for plasmachemical etching of insulation of p-n transition of photoelectric converters
Basic problems arising at the processing of the insulation of p-n transition of photo converters at the conditions of batch production with the use of the industrial plant "Carter" are determined. The way of elimination of these problems is shown. The modernized plant "Carter" ha...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Datum: | 2007 |
| Hauptverfasser: | , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2007
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110578 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Modernized equipment for plasmachemical etching of insulation of p-n transition of photoelectric converters/ O.A. Fedorovich, M.P. Kruglenko, D.V. Lukomskij, A.A. Marinenko, B.P. Polozov // Вопросы атомной науки и техники. — 2007. — № 1. — С. 203-205. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-110578 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Fedorovich, O.A. Kruglenko, M.P. Lukomskij, D.V. Marinenko, A.A. Polozov, B.P. 2017-01-04T20:05:16Z 2017-01-04T20:05:16Z 2007 Modernized equipment for plasmachemical etching of insulation of p-n transition of photoelectric converters/ O.A. Fedorovich, M.P. Kruglenko, D.V. Lukomskij, A.A. Marinenko, B.P. Polozov // Вопросы атомной науки и техники. — 2007. — № 1. — С. 203-205. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.77.Bn, 81.65.Cf https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110578 Basic problems arising at the processing of the insulation of p-n transition of photo converters at the conditions of batch production with the use of the industrial plant "Carter" are determined. The way of elimination of these problems is shown. The modernized plant "Carter" has an advantage over their foreign analogues. Визначені основні проблеми, які виникають при проведенні процесу ізоляції емітерного р-n переходу фотоелектричних перетворювачів в умовах їхнього серійного виробництва на промисловому приладі "Картер". Продемонстровано шлях усунення цих проблем. Наведені переваги модернізованого приладу "Картер" перед його іноземним аналогом при промисловому виробництві кремнієвих фотоелектричних перетворювачів. Определены основные проблемы, возникающие при проведении процесса изоляции эмиттерного р-n перехода фотоэлектрических преобразователей в условиях их серийного производства на промышленной установке "Картер". Продемонстрирован путь устранения этих проблем. Приведены преимущества модернизированной установки типа "Картер" перед ее зарубежным аналогом при промышленном производстве кремниевых фотоэлектрических преобразователей. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Low temperature plasma and plasma technologies Modernized equipment for plasmachemical etching of insulation of p-n transition of photoelectric converters Модернізоване обладнання для плазмохімічного травлення ізоляції p-n переходу фотоелектричних перетворювачів Модернизированное оборудование для плазмохимического травления изоляции p-n перехода фотоэлектрических преобразователей Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Modernized equipment for plasmachemical etching of insulation of p-n transition of photoelectric converters |
| spellingShingle |
Modernized equipment for plasmachemical etching of insulation of p-n transition of photoelectric converters Fedorovich, O.A. Kruglenko, M.P. Lukomskij, D.V. Marinenko, A.A. Polozov, B.P. Low temperature plasma and plasma technologies |
| title_short |
Modernized equipment for plasmachemical etching of insulation of p-n transition of photoelectric converters |
| title_full |
Modernized equipment for plasmachemical etching of insulation of p-n transition of photoelectric converters |
| title_fullStr |
Modernized equipment for plasmachemical etching of insulation of p-n transition of photoelectric converters |
| title_full_unstemmed |
Modernized equipment for plasmachemical etching of insulation of p-n transition of photoelectric converters |
| title_sort |
modernized equipment for plasmachemical etching of insulation of p-n transition of photoelectric converters |
| author |
Fedorovich, O.A. Kruglenko, M.P. Lukomskij, D.V. Marinenko, A.A. Polozov, B.P. |
| author_facet |
Fedorovich, O.A. Kruglenko, M.P. Lukomskij, D.V. Marinenko, A.A. Polozov, B.P. |
| topic |
Low temperature plasma and plasma technologies |
| topic_facet |
Low temperature plasma and plasma technologies |
| publishDate |
2007 |
| language |
English |
| container_title |
Вопросы атомной науки и техники |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Модернізоване обладнання для плазмохімічного травлення ізоляції p-n переходу фотоелектричних перетворювачів Модернизированное оборудование для плазмохимического травления изоляции p-n перехода фотоэлектрических преобразователей |
| description |
Basic problems arising at the processing of the insulation of p-n transition of photo converters at the conditions of batch production with the use of the industrial plant "Carter" are determined. The way of elimination of these problems is shown. The modernized plant "Carter" has an advantage over their foreign analogues.
Визначені основні проблеми, які виникають при проведенні процесу ізоляції емітерного р-n переходу фотоелектричних перетворювачів в умовах їхнього серійного виробництва на промисловому приладі "Картер". Продемонстровано шлях усунення цих проблем. Наведені переваги модернізованого приладу "Картер" перед його іноземним аналогом при промисловому виробництві кремнієвих фотоелектричних перетворювачів.
Определены основные проблемы, возникающие при проведении процесса изоляции эмиттерного р-n перехода фотоэлектрических преобразователей в условиях их серийного производства на промышленной установке "Картер". Продемонстрирован путь устранения этих проблем. Приведены преимущества модернизированной установки типа "Картер" перед ее зарубежным аналогом при промышленном производстве кремниевых фотоэлектрических преобразователей.
|
| issn |
1562-6016 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110578 |
| citation_txt |
Modernized equipment for plasmachemical etching of insulation of p-n transition of photoelectric converters/ O.A. Fedorovich, M.P. Kruglenko, D.V. Lukomskij, A.A. Marinenko, B.P. Polozov // Вопросы атомной науки и техники. — 2007. — № 1. — С. 203-205. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. |
| work_keys_str_mv |
AT fedorovichoa modernizedequipmentforplasmachemicaletchingofinsulationofpntransitionofphotoelectricconverters AT kruglenkomp modernizedequipmentforplasmachemicaletchingofinsulationofpntransitionofphotoelectricconverters AT lukomskijdv modernizedequipmentforplasmachemicaletchingofinsulationofpntransitionofphotoelectricconverters AT marinenkoaa modernizedequipmentforplasmachemicaletchingofinsulationofpntransitionofphotoelectricconverters AT polozovbp modernizedequipmentforplasmachemicaletchingofinsulationofpntransitionofphotoelectricconverters AT fedorovichoa modernízovaneobladnannâdlâplazmohímíčnogotravlennâízolâcíípnperehodufotoelektričnihperetvorûvačív AT kruglenkomp modernízovaneobladnannâdlâplazmohímíčnogotravlennâízolâcíípnperehodufotoelektričnihperetvorûvačív AT lukomskijdv modernízovaneobladnannâdlâplazmohímíčnogotravlennâízolâcíípnperehodufotoelektričnihperetvorûvačív AT marinenkoaa modernízovaneobladnannâdlâplazmohímíčnogotravlennâízolâcíípnperehodufotoelektričnihperetvorûvačív AT polozovbp modernízovaneobladnannâdlâplazmohímíčnogotravlennâízolâcíípnperehodufotoelektričnihperetvorûvačív AT fedorovichoa modernizirovannoeoborudovaniedlâplazmohimičeskogotravleniâizolâciipnperehodafotoélektričeskihpreobrazovatelei AT kruglenkomp modernizirovannoeoborudovaniedlâplazmohimičeskogotravleniâizolâciipnperehodafotoélektričeskihpreobrazovatelei AT lukomskijdv modernizirovannoeoborudovaniedlâplazmohimičeskogotravleniâizolâciipnperehodafotoélektričeskihpreobrazovatelei AT marinenkoaa modernizirovannoeoborudovaniedlâplazmohimičeskogotravleniâizolâciipnperehodafotoélektričeskihpreobrazovatelei AT polozovbp modernizirovannoeoborudovaniedlâplazmohimičeskogotravleniâizolâciipnperehodafotoélektričeskihpreobrazovatelei |
| first_indexed |
2025-12-07T15:56:13Z |
| last_indexed |
2025-12-07T15:56:13Z |
| _version_ |
1850865587241091072 |