Плазмодинамические особенности цилиндрических газовых разрядов магнетронного типа
Представлены результаты комплексного теоретического и экспериментального исследования цилиндрических газовых разрядов в конфигурации скрещенных электрических и магнитных полей, присущих аксиально-симметричной плазменной линзе. Предложено и испытано оригинальное цилиндрическое распылительное устройст...
Saved in:
| Published in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Date: | 2008 |
| Main Authors: | , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2008
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110589 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Плазмодинамические особенности цилиндрических газовых разрядов магнетронного типа / А.А. Гончаров, А.Н. Добровольский, А.Н. Евсюков, И.М. Проценко, И.В. Литовко // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 4. — С. 189-194. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-110589 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Гончаров, А.А. Добровольский, А.Н. Евсюков, А.Н. Проценко, И.М. Литовко, И.В. 2017-01-04T20:24:37Z 2017-01-04T20:24:37Z 2008 Плазмодинамические особенности цилиндрических газовых разрядов магнетронного типа / А.А. Гончаров, А.Н. Добровольский, А.Н. Евсюков, И.М. Проценко, И.В. Литовко // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 4. — С. 189-194. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. 1562-6016 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110589 533.9 Представлены результаты комплексного теоретического и экспериментального исследования цилиндрических газовых разрядов в конфигурации скрещенных электрических и магнитных полей, присущих аксиально-симметричной плазменной линзе. Предложено и испытано оригинальное цилиндрическое распылительное устройство, основанное на принципах плазмооптики. На базе экспериментальных данных сформулировано новое системное видение плазмодинамики газовых разрядов магнетронного типа. Новый подход предусматривает наличие трёх квазиавтономных областей в разряде, в которых токоперенос осуществляется различными частицами. Представлено результати комплексного теоретичного та експериментального дослідження циліндричних газових розрядів у конфігурації схрещених електричних та магнітних полів, притаманних аксиально-симетричній плазмовій лінзі. Запропоновано та випробувано оригінальний циліндричний розпилюючий пристрій, побудований на принципах плазмооптики. На базі експериментальних даних сформульовано нове системне бачення плазмодинаміки газових розрядів магнетронного типу. Новий підхід передбачає наявність трьох квазіавтономних областей у розряді, в яких струмопереніс здійснюється різними частинками. The results of the complex theoretical and experimental investigations of the cylindrical gas discharge are presented. The configuration of the ExH fields of this discharge is similar to axial plasma lens. Original cylindrical sputtering system based on plasmaoptical principals is proposed and tested. Based on experimental data it was stated a new system view of the magnetron-type gas discharge plasmadynamic. New approach provide for the presence of three quasiautonomous regions in discharge where current is given by different particles movements. Авторы благодарны за частичную финансовую поддержку работ по проекту № 93/07-Н. ru Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Плазменно-пучковый разряд, газовый разряд и плазмохимия Плазмодинамические особенности цилиндрических газовых разрядов магнетронного типа Плазмодинамічні особливості циліндричних газових розрядів магнетронного типу Plasmadynamical peculiarities of the cylindrical magnetron-type gas discharge Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Плазмодинамические особенности цилиндрических газовых разрядов магнетронного типа |
| spellingShingle |
Плазмодинамические особенности цилиндрических газовых разрядов магнетронного типа Гончаров, А.А. Добровольский, А.Н. Евсюков, А.Н. Проценко, И.М. Литовко, И.В. Плазменно-пучковый разряд, газовый разряд и плазмохимия |
| title_short |
Плазмодинамические особенности цилиндрических газовых разрядов магнетронного типа |
| title_full |
Плазмодинамические особенности цилиндрических газовых разрядов магнетронного типа |
| title_fullStr |
Плазмодинамические особенности цилиндрических газовых разрядов магнетронного типа |
| title_full_unstemmed |
Плазмодинамические особенности цилиндрических газовых разрядов магнетронного типа |
| title_sort |
плазмодинамические особенности цилиндрических газовых разрядов магнетронного типа |
| author |
Гончаров, А.А. Добровольский, А.Н. Евсюков, А.Н. Проценко, И.М. Литовко, И.В. |
| author_facet |
Гончаров, А.А. Добровольский, А.Н. Евсюков, А.Н. Проценко, И.М. Литовко, И.В. |
| topic |
Плазменно-пучковый разряд, газовый разряд и плазмохимия |
| topic_facet |
Плазменно-пучковый разряд, газовый разряд и плазмохимия |
| publishDate |
2008 |
| language |
Russian |
| container_title |
Вопросы атомной науки и техники |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Плазмодинамічні особливості циліндричних газових розрядів магнетронного типу Plasmadynamical peculiarities of the cylindrical magnetron-type gas discharge |
| description |
Представлены результаты комплексного теоретического и экспериментального исследования цилиндрических газовых разрядов в конфигурации скрещенных электрических и магнитных полей, присущих аксиально-симметричной плазменной линзе. Предложено и испытано оригинальное цилиндрическое распылительное устройство, основанное на принципах плазмооптики. На базе экспериментальных данных сформулировано новое системное видение плазмодинамики газовых разрядов магнетронного типа. Новый подход предусматривает наличие трёх квазиавтономных областей в разряде, в которых токоперенос осуществляется различными частицами.
Представлено результати комплексного теоретичного та експериментального дослідження циліндричних газових розрядів у конфігурації схрещених електричних та магнітних полів, притаманних аксиально-симетричній плазмовій лінзі. Запропоновано та випробувано оригінальний циліндричний розпилюючий пристрій, побудований на принципах плазмооптики. На базі експериментальних даних сформульовано нове системне бачення плазмодинаміки газових розрядів магнетронного типу. Новий підхід передбачає наявність трьох квазіавтономних областей у розряді, в яких струмопереніс здійснюється різними частинками.
The results of the complex theoretical and experimental investigations of the cylindrical gas discharge are presented. The configuration of the ExH fields of this discharge is similar to axial plasma lens. Original cylindrical sputtering system based on plasmaoptical principals is proposed and tested. Based on experimental data it was stated a new system view of the magnetron-type gas discharge plasmadynamic. New approach provide for the presence of three quasiautonomous regions in discharge where current is given by different particles movements.
|
| issn |
1562-6016 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110589 |
| citation_txt |
Плазмодинамические особенности цилиндрических газовых разрядов магнетронного типа / А.А. Гончаров, А.Н. Добровольский, А.Н. Евсюков, И.М. Проценко, И.В. Литовко // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 4. — С. 189-194. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT gončarovaa plazmodinamičeskieosobennosticilindričeskihgazovyhrazrâdovmagnetronnogotipa AT dobrovolʹskiian plazmodinamičeskieosobennosticilindričeskihgazovyhrazrâdovmagnetronnogotipa AT evsûkovan plazmodinamičeskieosobennosticilindričeskihgazovyhrazrâdovmagnetronnogotipa AT procenkoim plazmodinamičeskieosobennosticilindričeskihgazovyhrazrâdovmagnetronnogotipa AT litovkoiv plazmodinamičeskieosobennosticilindričeskihgazovyhrazrâdovmagnetronnogotipa AT gončarovaa plazmodinamíčníosoblivostícilíndričnihgazovihrozrâdívmagnetronnogotipu AT dobrovolʹskiian plazmodinamíčníosoblivostícilíndričnihgazovihrozrâdívmagnetronnogotipu AT evsûkovan plazmodinamíčníosoblivostícilíndričnihgazovihrozrâdívmagnetronnogotipu AT procenkoim plazmodinamíčníosoblivostícilíndričnihgazovihrozrâdívmagnetronnogotipu AT litovkoiv plazmodinamíčníosoblivostícilíndričnihgazovihrozrâdívmagnetronnogotipu AT gončarovaa plasmadynamicalpeculiaritiesofthecylindricalmagnetrontypegasdischarge AT dobrovolʹskiian plasmadynamicalpeculiaritiesofthecylindricalmagnetrontypegasdischarge AT evsûkovan plasmadynamicalpeculiaritiesofthecylindricalmagnetrontypegasdischarge AT procenkoim plasmadynamicalpeculiaritiesofthecylindricalmagnetrontypegasdischarge AT litovkoiv plasmadynamicalpeculiaritiesofthecylindricalmagnetrontypegasdischarge |
| first_indexed |
2025-12-02T02:12:39Z |
| last_indexed |
2025-12-02T02:12:39Z |
| _version_ |
1850861416711454720 |