Application of the modified plasma accelerator for amorphous diamond-like films production
In the paper the problem of diamond-like films production by sputtering of a graphite target in the modified plasma accelerator with closed electrons drift is considered. The diamond-like films with thickness 40...400 nm with deposition velocity 200...400 nm/hour were received. For production of hyd...
Saved in:
| Published in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Date: | 2003 |
| Main Authors: | , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2003
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110615 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Application of the modified plasma accelerator for amorphous diamond-like films production / A.A. Bizukov, V.N. Borisko, А.Е. Kashaba, К.D. Sereda, N.N. Yunakov, D.V. Zinov’ev // Вопросы атомной науки и техники. — 2003. — № 1. — С. 144-146. — Бібліогр.: 9 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1860269166983905280 |
|---|---|
| author | Bizukov, A.A. Borisko, V.N. Kashaba, А.Е. Sereda, К.D. Yunakov, N.N. Zinov’ev, D.V. |
| author_facet | Bizukov, A.A. Borisko, V.N. Kashaba, А.Е. Sereda, К.D. Yunakov, N.N. Zinov’ev, D.V. |
| citation_txt | Application of the modified plasma accelerator for amorphous diamond-like films production / A.A. Bizukov, V.N. Borisko, А.Е. Kashaba, К.D. Sereda, N.N. Yunakov, D.V. Zinov’ev // Вопросы атомной науки и техники. — 2003. — № 1. — С. 144-146. — Бібліогр.: 9 назв. — англ. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | In the paper the problem of diamond-like films production by sputtering of a graphite target in the modified plasma accelerator with closed electrons drift is considered. The diamond-like films with thickness 40...400 nm with deposition velocity 200...400 nm/hour were received. For production of hydrogen the metal hydride block of exterior filling was used. As a hydride forming material the intermetallide LaNi5 was used which ensures necessary hydrogen-capacity and velocity of a sorption - desorption of hydrogen.The electron-diffraction, electron-microscopic and optical investigations of film properties were carried out. It is shown that the described method allows to get amorphous diamond-like films. It is established that films obtained according to classification of Grigorovici R., concern to a structural sandwich-type. The carbon atoms in a layer have a strong covalent bond and between layers there is a weak double bond such as Van der Waals.
У роботі розглянута можливість отримання алмазоподібних плівок шляхом розпилення графітової мішені в модифікованому плазмовому прискорювачі з замкнутим дрейфом електронів. Для отримання водню використовувався металогідридний блок зовнішнього напуску, у якому в якості гідридоутворюючого матеріалу використовувався інтерметалід LaNi5, що забезпечує необхідну водневу ємність і швидкість сорбції-десорбції водню.Були отримані алмазоподібні плівки товщиною 40...400 нм зі швидкістю осадження 200...400 нм/г для різних режимів роботи прискорювача. Показано, що даний спосіб дозволяє отримувати аморфні алмазоподібні плівки. Проведені електронографічні, електрономікроскопічні та оптичні дослідження властивостей плівок. Виявлено, що отримані плівки, відповідно до класифікації Grigorovici R., відносяться до шаруватого структурного типу. Атоми вуглецю в шарі мають сильний ковалентний зв'язок, а між шарами існує слабкий зв'язок типу Ван-дер-Вальса.
В работе рассмотрен вопрос получения алмазоподобных пленок путем распыления графитовой мишени в модифицированном плазменном ускорителя с замкнутым дрейфом электронов. Для получения водорода использовался металлогидридный блок внешнего напуска, в котором в качестве гидридообразующего материала использовался интерметаллид LaNi5, который обеспечивает необходимую водородоемкость и скорость сорбции-десорбции водорода.В зависимости от режимов работы были получены алмазоподобные пленки толщиной 40…400 нм со скоростью осаждения 200…400 нм/ч. Проведены электроннографические, электронномикроскопические и оптические исследования свойств пленок. Показано, что описываемый способ позволяет получать аморфные алмазоподобные пленки. Установлено, что полученные пленки, согласно классификации Grigorovici R., относятся к слоистому структурному типу. Атомы углерода в слое имеют сильную ковалентную связь, а между слоями существует слабая связь типа Ван-дер-Вальса.
|
| first_indexed | 2025-12-07T19:04:51Z |
| format | Article |
| fulltext |
APPLICATION OF THE MODIFIED PLASMA ACCELERATOR FOR
AMORPHOUS DIAMOND-LIKE FILMS PRODUCTION
A.A. Bizukov, V.N. Borisko, А.Е. Kashaba, К.D. Sereda, N.N. Yunakov, D.V. Zinov’ev
Kharkov National University, 61108, 31 Kurchatov Av., Kharkov, Ukraine,
E-mail: Borisko@pht.univer.kharkov.ua
In the paper the problem of diamond-like films production by sputtering of a graphite target in the modified plasma
accelerator with closed electrons drift is considered. The diamond-like films with thickness 40 ÷ 400 nm with
deposition velocity 200 ÷ 400 nm/hour were received. For production of hydrogen the metal hydride block of exterior
filling was used. As a hydride forming material the intermetallide LaNi5 was used which ensures necessary hydrogen-
capacity and velocity of a sorption - desorption of hydrogen.
The electron-diffraction, electron-microscopic and optical investigations of film properties were carried out. It is
shown that the described method allows to get amorphous diamond-like films. It is established that films obtained
according to classification of Grigorovici R., concern to a structural sandwich-type. The carbon atoms in a layer have a
strong covalent bond and between layers there is a weak double bond such as Van der Waals.
PACS: 52.77.-j
INTRODUCTION
Much attention has been devoted to chemical vapor
deposition of CVD diamond-like carbons films because of
their high strength, chemical neutrality and optical
transparence [1]. Now there are many methods to obtain
the diamond-like films [2].
For the development of the technologies of diamond
and diamond-likes coating film production it is necessary
to provide the condition of high over saturation of
hydrogen isotopes [3]. It’s leads to increase of probability
of diamond crystal nucleus formation, avoiding of
graphite phase and conserving of already formed diamond
phase.
In this work the deposition and analysis of a diamond-
like films with use as a working gas the pure hydrogen
received from metal-hydride supply is carried out.
THE EXPERIMENTAL MODEL OF THE
PLASMA-CHEMICAL REACTOR
Diamond-like films were gained by sputtering of a
graphite target on ion-beam sputtering system. The model
of the plasma-chemical reactor for synthesis of diamond-
like coatings was designed and created on the basis of
experimental results on investigation of gas discharges in
crossed magnetic and electrical fields [4]. Basic elements
of the reactor model are ion-beam sputtering system
(IBSS), vacuum system, current collector and systems of
the power supplies Fig. 1.
The vacuum system of the reactor model 1 was
assembled on the basis of serial vacuum installation
UVN-71P which provides a pumping speed up to 500 l/s
in a range of pressures p = 10-5÷10-3 Torr. The limiting
pressure of residual gas did not exceed 6×10-6 Torr. A
flat metal electrode with holders for samples 3 was used
as a current collector 2. The transport area is between the
IBSS and current collector. Distance from a sputtered
target 6 to the current collector can be changed from 5 to
50 cm.
The IBSS is a gas-discharge system with closed
electron drift in crossed magnetic and electrical fields
based on a one stage Hall ion source. The basic elements
of the IBSS construction are: a modified Hall type ion
source consisting of ring anode 4, cathode block 5 and
sputtered graphite target 6 fixed on movable water-cooled
substrate holder. The ring anode with average radius of
5 cm is made of non-magnetic stainless steel and insulated
from the cathode block. The power supply to the anode
and cooling by water is carried out through insulated
vacuum lead-ins derived through the bottom of the
cathode block. The anode (accelerating) voltage changes
in the range of UA= 0 ÷ 4 kV.
The cathode block of the IBSS serves as the basis of
the accelerator, magnetic circuit and cathode of the
discharge gap. The magnetic field solenoid 7 and the
external working gas inlet system 8 are installed in the
cathode block. The solenoid provides creation of radial
magnetic field in a ring aperture of the Hall accelerator
which value changes within the range of
H = 0 ÷ 3000 Oe.
The power supply of the IBSS are carried out from
standard supply units BP-94 and BP-100 which allow to
change applied voltage within the range of 0 ÷ 7 kV and
0 ÷ 1 kV accordingly, power of the supply units is about
three kilowatts.
144 Problems of Atomic Science and Technology. 2003. № 1. Series: Plasma Physics (9). P. 144-146
Fig. 1. The shame of the plasma-chemical reactor
for synthesis of diamond-like coats
I
C
U
C
I
T
U
T I
D
U
B
U
А
Н
2
external
leak in
7
6
8 5
1
3
2
4
The working gas pressure is adjusted in a range of
p = 8×10-6÷10-3 Torr. The working gases are hydrogen,
argon and their intermixture. For deriving of hydrogen the
metalhydride exterior leaking block was used in which
the intermetallide LaNi5 was used as a hydride formative
material that ensures necessary hydrogen-capacity and
velocity of a sorption-desorption of hydrogen [5]. The
inlet of working gas into the discharge gap between the
anode and cathode is carried out through the channels in
the cathode block.
The longitudinal electric field is created between the
anode and cathode of the accelerator when accelerating
voltage is supplied to the anode. The concurrent stream of
the gas ions generated in the modified Hall source is
guided onto the surface of the flat sputtered graphite
target at the glancing angle. The angle of incidence of the
incoming beam can be adjusted by moving the target and
changing the magnetic intensity that in combination with
adjustment of the accelerating voltage allows to reach
maximum sputtering rate of target material and to
optimize a zone of target utilization. The bombardment of
the target by the ion beam leads not only to target
sputtering, but also to secondary ion-electron emission
from the target surface. To increase both the sputtering
rate of the graphite target and effective exit of secondary
emissive electrons the opportunity of bias-voltage supply
to the sputtered target with value of UB=−(50 ÷ 1000) V is
stipulated.
THE INVESTIGATION OF THE OBTAINED
FILMS
Depending on operating modes diamond-like films
were obtained with width 40…400 nm and the deposition
velocity 200÷400 nm/hour. The width of films was
determined by a method of lines equal chromatic order
(method Тоlаnskogo). For electron-diffraction
investigations the thin films by width t ≈20 ÷ 30 nm on
substrates NaCl were deposited. For optical measuring the
films by width 100 ÷ 150 nm deposited on the quartz
substrates were made.
The choice of substrate material was determined by its
transparence in ultraviolet spectrum. The width of films
was selected such that the transmission in ultraviolet
spectrum was more than 0,01. The absorption spectrums
of thin diamond-like films of carbon were measured on a
spectrophotometer СФ-46 at the room temperature in the
spectrum range 1,5 ÷ 6,5 еV.
As a rule at deriving of diamond-like carbon films by
the ion-plasma deposition methods are gained of an
amorphous film [6,7] representing a fine-dyspersated
basis with insertion of larger crystallites of different
modifications of carbon. The electron-metric
investigations have shown that studied thin diamond-like
carbon films are fine-dyspersated with the practically
identical sizes of crystallites.
On electron-diffraction of the studied films the wide
scoured diffraction rings without any attributes of a
texture are observed. Such views of an electron-
diffraction are characteristic for amorphous solid bodies.
As is known in amorphous bodies a long-range order is
absent and the short-range order existing on small number
of stationary values of a lattice however is maintained.
Therefore diffraction rings are observed but they are
strongly fuzzed and blurred.
Absorption spectrum of a diamond-like carbon film
at the temperature Т = 290 K is given in Fig. 2. Strongly
tightened in long-wave area of a spectrum the absorption
edge confirms an amorphism of films.
1 2 3 4 5 6 7
0.10
0.15
0.20
0.25
0.30
0.35
0.40
0.45
0.50
Experimental data
Everage curve
D
E , eV
Fig. 2. The absorption spectrum of diamond-like thin
carbon film by T = 290 K and t = 120 nm;
D = –lg 1/τ - optical density, E – energy, τ -
transmittance
For straight-zone dielectrics the sharp edge of the
intrinsic absorption band well featured by empirical
dependence Urbaha is characteristic
( )
−=
Τκ
ωγ 0/
0 exp EhKK , (1)
where γ/- const, Е0 - a forbidden zone.
In amorphous films the absence of the long-range
order leads to overlapping allowed bands and as a
consequence to occurrence of indirect allowed transitions
that gives supplemental absorption in the field of a
transparence. The edge of fundamental absorption in the
majority of amorphous semiconductors submits to the
exponential law (1):
ωhK ≈ln .
In the field of energies of above exponential “tail” for
absorption constant K(hω) in different amorphous
compounds the linear, square-law or cubic dependences
are observed [5]. In the studied diamond-like carbon films
the absorption constant K(Е) in the field of energies
1 ÷ 2 eV is shown in Fig. 3 by an exponential curve (1)
and above the exponential tail K(Е) linearly depends on
energy
K(Е)⋅Е = В(Е -Е0), (2)
where В - const.
THE DISCUSSION OF RESALTS
Calculated on (2) values Е0 for ours samples are
varied from 1,41 up to 1,81 eV and В ≈ 5⋅104 ÷ 105 c
m-1 eV-1. In order of magnitude the values Е0 and В are
typical for amorphous semiconductors [8]. The small
values Е0 testify to a considerable impurity of a graphite
phase. However it is impossible to approve with
confidence that Е0 is actual forbidden zone, as we have
not the additional information about dependence of a
density of states from energy and matrix element.
145
0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 0.8 0.9
0
5000
10000
15000
20000
25000
30000
35000
40000
45000
50000
55000
1
2K
, c
m
-1
1/E , eV-1
Fig. 2. Handling of dependence K(E):
1 - calculation on eq. (2)
2 - the experimental diversion from straight line are
discribed by eq.(1)
In the intrinsic absorption band of studied diamond-
like carbon films down to energies 6,5 eV any features are
not shown. Strongly displaced in red area of a spectrum
an absorption edge and major absorption at the energy
Е < 4,6 eV according to examinations [9] testifies to a
considerable impurity of a graphite phase. At the same
time the good optical quality of samples (optical
homogeneity, high reflectivity) and also high transparence
of films are characteristic for diamond-like carbon films.
Apparently the additional examinations the electrical and
optical constants are necessary for the final deductions on
a composition of studied films.
Thus the described method of the film deposition
allows to obtained amorphous diamond-like coatings
distinguished high durability and optical properties.
REFERENCES
1.Y. Lifshitz//Diamond Relat. Mater. 1996, N5, p. 388.
2.I.I. Aksenov, V.Ye. Strelnitskij // Proceedings of the
12th International symposium “Thin film in an
electronics” ISTFE-12/II. Kharkov, Ukraine. 2001. p.
96-105 (in Russian).
3.V.K. Pashnev, O.A. Opalev, I.I. Vyrovets et al. //
Proceedings of the 12th International symposium “Thin
film in an electronics” ISTFE-12/II. Kharkov, Ukraine.
2001. p. 78-90 (in Russian).
4.A.A. Bizyukov et al. // The Journal of Kharkiv
National University “Nuclei. Particles, Fields”. 2002,
V 559, N 2/18, p. 61-66 (in Russian).
5.Yu.F. Shmalko, V.V. Solovei, M.V. Lototsky//
Problemu i Perspectivu. Problemu mashinoctroeniya.
1998, V 1, N 1, p.115-132 (in Russian).
6.E.G. Spenser, P.H. Schmidt, D.C. Jon, F. Sansalone //
J. Appl. Phys. Lett. 1976, V 29, p. 118.
7.E.F. Chaikovsky, V.M. Puzikov, G.H. Rosenberg et al.
// Poverhnost. 1985, N 9, p.98-103.
8.N. Mott, E. Devis. Electron processes in amorphous
substances/ Moscow: Mir. 1974, p. 472.
9.V.M. Puzikov, V.E. Maschenko, A.V. Semenov// Phys.
Stat. Solid. 1994, p. 471.
ЗАСТОСУВАННЯ МОДИФІКОВАНОГО ПЛАЗМОВОГО ПРИСКОРЮВАЧА ДЛЯ ОТРИМАННЯ
АМОРФНИХ АЛМАЗОПОДІБНИХ ПЛІВОК
А.А. Бізюков, В.Н. Бориско, Д.В. Зинов'єв, А.Е. Кашаба, К.Д. Середа, Н.Н. Юнаков
У роботі розглянута можливість отримання алмазоподібних плівок шляхом розпилення графітової мішені в
модифікованому плазмовому прискорювачі з замкнутим дрейфом електронів. Для отримання водню
використовувався металогідридний блок зовнішнього напуску, у якому в якості гідридоутворюючого матеріалу
використовувався інтерметалід LaNi5, що забезпечує необхідну водневу ємність і швидкість сорбції-десорбції
водню.
Були отримані алмазоподібні плівки товщиною 40...400 нм зі швидкістю осадження 200...400 нм/г для різних
режимів роботи прискорювача. Показано, що даний спосіб дозволяє отримувати аморфні алмазоподібні плівки.
Проведені електронографічні, електрономікроскопічні та оптичні дослідження властивостей плівок. Виявлено,
що отримані плівки, відповідно до класифікації Grigorovici R., відносяться до шаруватого структурного типу.
Атоми вуглецю в шарі мають сильний ковалентний зв'язок, а між шарами існує слабкий зв'язок типу Ван-дер-
Вальса.
ПРИМЕНЕНИЕ МОДИФИЦИРОВАННОГО ПЛАЗМЕННОГО УСКОРИТЕЛЯ ДЛЯ
ПОЛУЧЕНИЯ АМОРФНЫХ АЛМАЗОПОДОБНЫХ ПЛЕНОК
А.А. Бизюков, В.Н. Бориско, Д.В. Зиновьев, А.Е. Кашаба, К.Д. Середа, Н.Н. Юнаков
В работе рассмотрен вопрос получения алмазоподобных пленок путем распыления графитовой мишени в
модифицированном плазменном ускорителя с замкнутым дрейфом электронов. Для получения водорода
использовался металлогидридный блок внешнего напуска, в котором в качестве гидридообразующего
материала использовался интерметаллид LaNi5, который обеспечивает необходимую водородоемкость и
скорость сорбции-десорбции водорода.
В зависимости от режимов работы были получены алмазоподобные пленки толщиной 40…400 нм со скоростью
осаждения 200…400 нм/ч. Проведены электроннографические, электронномикроскопические и оптические
исследования свойств пленок. Показано, что описываемый способ позволяет получать аморфные
алмазоподобные пленки. Установлено, что полученные пленки, согласно классификации Grigorovici R.,
146
относятся к слоистому структурному типу. Атомы углерода в слое имеют сильную ковалентную связь, а между
слоями существует слабая связь типа Ван-дер-Вальса.
147
A.A. Bizukov, V.N. Borisko, А.Е. Kashaba, К.D. Sereda, N.N. Yunakov, D.V. Zinov’ev
Kharkov National University, 61108, 31 Kurchatov Av., Kharkov, Ukraine,
E-mail: Borisko@pht.univer.kharkov.ua
Introduction
THE Experimental MODEL of the plasma-chemical reactor
The investigation of the obtained films
THE DISCUSSION OF RESALTS
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-110615 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | English |
| last_indexed | 2025-12-07T19:04:51Z |
| publishDate | 2003 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Bizukov, A.A. Borisko, V.N. Kashaba, А.Е. Sereda, К.D. Yunakov, N.N. Zinov’ev, D.V. 2017-01-05T18:56:41Z 2017-01-05T18:56:41Z 2003 Application of the modified plasma accelerator for amorphous diamond-like films production / A.A. Bizukov, V.N. Borisko, А.Е. Kashaba, К.D. Sereda, N.N. Yunakov, D.V. Zinov’ev // Вопросы атомной науки и техники. — 2003. — № 1. — С. 144-146. — Бібліогр.: 9 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.77.-j https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110615 In the paper the problem of diamond-like films production by sputtering of a graphite target in the modified plasma accelerator with closed electrons drift is considered. The diamond-like films with thickness 40...400 nm with deposition velocity 200...400 nm/hour were received. For production of hydrogen the metal hydride block of exterior filling was used. As a hydride forming material the intermetallide LaNi5 was used which ensures necessary hydrogen-capacity and velocity of a sorption - desorption of hydrogen.The electron-diffraction, electron-microscopic and optical investigations of film properties were carried out. It is shown that the described method allows to get amorphous diamond-like films. It is established that films obtained according to classification of Grigorovici R., concern to a structural sandwich-type. The carbon atoms in a layer have a strong covalent bond and between layers there is a weak double bond such as Van der Waals. У роботі розглянута можливість отримання алмазоподібних плівок шляхом розпилення графітової мішені в модифікованому плазмовому прискорювачі з замкнутим дрейфом електронів. Для отримання водню використовувався металогідридний блок зовнішнього напуску, у якому в якості гідридоутворюючого матеріалу використовувався інтерметалід LaNi5, що забезпечує необхідну водневу ємність і швидкість сорбції-десорбції водню.Були отримані алмазоподібні плівки товщиною 40...400 нм зі швидкістю осадження 200...400 нм/г для різних режимів роботи прискорювача. Показано, що даний спосіб дозволяє отримувати аморфні алмазоподібні плівки. Проведені електронографічні, електрономікроскопічні та оптичні дослідження властивостей плівок. Виявлено, що отримані плівки, відповідно до класифікації Grigorovici R., відносяться до шаруватого структурного типу. Атоми вуглецю в шарі мають сильний ковалентний зв'язок, а між шарами існує слабкий зв'язок типу Ван-дер-Вальса. В работе рассмотрен вопрос получения алмазоподобных пленок путем распыления графитовой мишени в модифицированном плазменном ускорителя с замкнутым дрейфом электронов. Для получения водорода использовался металлогидридный блок внешнего напуска, в котором в качестве гидридообразующего материала использовался интерметаллид LaNi5, который обеспечивает необходимую водородоемкость и скорость сорбции-десорбции водорода.В зависимости от режимов работы были получены алмазоподобные пленки толщиной 40…400 нм со скоростью осаждения 200…400 нм/ч. Проведены электроннографические, электронномикроскопические и оптические исследования свойств пленок. Показано, что описываемый способ позволяет получать аморфные алмазоподобные пленки. Установлено, что полученные пленки, согласно классификации Grigorovici R., относятся к слоистому структурному типу. Атомы углерода в слое имеют сильную ковалентную связь, а между слоями существует слабая связь типа Ван-дер-Вальса. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Low temperature plasma and plasma technologies Application of the modified plasma accelerator for amorphous diamond-like films production Застосування модифікованого плазмового прискорювача для отримання аморфних алмазоподібних плівок Применение модифицированного плазменного ускорителя для получения аморфных алмазоподобных пленок Article published earlier |
| spellingShingle | Application of the modified plasma accelerator for amorphous diamond-like films production Bizukov, A.A. Borisko, V.N. Kashaba, А.Е. Sereda, К.D. Yunakov, N.N. Zinov’ev, D.V. Low temperature plasma and plasma technologies |
| title | Application of the modified plasma accelerator for amorphous diamond-like films production |
| title_alt | Застосування модифікованого плазмового прискорювача для отримання аморфних алмазоподібних плівок Применение модифицированного плазменного ускорителя для получения аморфных алмазоподобных пленок |
| title_full | Application of the modified plasma accelerator for amorphous diamond-like films production |
| title_fullStr | Application of the modified plasma accelerator for amorphous diamond-like films production |
| title_full_unstemmed | Application of the modified plasma accelerator for amorphous diamond-like films production |
| title_short | Application of the modified plasma accelerator for amorphous diamond-like films production |
| title_sort | application of the modified plasma accelerator for amorphous diamond-like films production |
| topic | Low temperature plasma and plasma technologies |
| topic_facet | Low temperature plasma and plasma technologies |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110615 |
| work_keys_str_mv | AT bizukovaa applicationofthemodifiedplasmaacceleratorforamorphousdiamondlikefilmsproduction AT boriskovn applicationofthemodifiedplasmaacceleratorforamorphousdiamondlikefilmsproduction AT kashabaae applicationofthemodifiedplasmaacceleratorforamorphousdiamondlikefilmsproduction AT seredakd applicationofthemodifiedplasmaacceleratorforamorphousdiamondlikefilmsproduction AT yunakovnn applicationofthemodifiedplasmaacceleratorforamorphousdiamondlikefilmsproduction AT zinovevdv applicationofthemodifiedplasmaacceleratorforamorphousdiamondlikefilmsproduction AT bizukovaa zastosuvannâmodifíkovanogoplazmovogopriskorûvačadlâotrimannâamorfnihalmazopodíbnihplívok AT boriskovn zastosuvannâmodifíkovanogoplazmovogopriskorûvačadlâotrimannâamorfnihalmazopodíbnihplívok AT kashabaae zastosuvannâmodifíkovanogoplazmovogopriskorûvačadlâotrimannâamorfnihalmazopodíbnihplívok AT seredakd zastosuvannâmodifíkovanogoplazmovogopriskorûvačadlâotrimannâamorfnihalmazopodíbnihplívok AT yunakovnn zastosuvannâmodifíkovanogoplazmovogopriskorûvačadlâotrimannâamorfnihalmazopodíbnihplívok AT zinovevdv zastosuvannâmodifíkovanogoplazmovogopriskorûvačadlâotrimannâamorfnihalmazopodíbnihplívok AT bizukovaa primeneniemodificirovannogoplazmennogouskoritelâdlâpolučeniâamorfnyhalmazopodobnyhplenok AT boriskovn primeneniemodificirovannogoplazmennogouskoritelâdlâpolučeniâamorfnyhalmazopodobnyhplenok AT kashabaae primeneniemodificirovannogoplazmennogouskoritelâdlâpolučeniâamorfnyhalmazopodobnyhplenok AT seredakd primeneniemodificirovannogoplazmennogouskoritelâdlâpolučeniâamorfnyhalmazopodobnyhplenok AT yunakovnn primeneniemodificirovannogoplazmennogouskoritelâdlâpolučeniâamorfnyhalmazopodobnyhplenok AT zinovevdv primeneniemodificirovannogoplazmennogouskoritelâdlâpolučeniâamorfnyhalmazopodobnyhplenok |