Зображення обкладинки

Application of the modified plasma accelerator for amorphous diamond-like films production

In the paper the problem of diamond-like films production by sputtering of a graphite target in the modified plasma accelerator with closed electrons drift is considered. The diamond-like films with thickness 40...400 nm with deposition velocity 200...400 nm/hour were received. For production of hyd...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Вопросы атомной науки и техники
Дата:	2003
Автори:	Bizukov, A.A., Borisko, V.N., Kashaba, А.Е., Sereda, К.D., Yunakov, N.N., Zinov’ev, D.V.
Формат:	Стаття
Мова:	Англійська
Опубліковано:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2003
Теми:	Low temperature plasma and plasma technologies
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110615
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Application of the modified plasma accelerator for amorphous diamond-like films production / A.A. Bizukov, V.N. Borisko, А.Е. Kashaba, К.D. Sereda, N.N. Yunakov, D.V. Zinov’ev // Вопросы атомной науки и техники. — 2003. — № 1. — С. 144-146. — Бібліогр.: 9 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

The hydrogen plasma injector with the metal-hydride hollow cathode
за авторством: Tseluyko, A.F., та інші
Опубліковано: (2005)

Investigation of reflecting discharge with the sectioned metal-hydride hollow cathode
за авторством: Borisko, V.N., та інші
Опубліковано: (2005)

The formation of the low-sized high density plasma structures in the self-maintained plasma-beam discharge
за авторством: Borisko, V.N., та інші
Опубліковано: (2006)

The formation of near anode double layer in highcurrent plasma diode of low pressure
за авторством: Tseluyko, A.F., та інші
Опубліковано: (2002)

Plasma deposited diamond-like carbon films for large neural arrays
за авторством: Brown, I.G., та інші
Опубліковано: (2005)

Large-area surface wave plasma source
за авторством: Azarenkov, N.A., та інші
Опубліковано: (2002)

Generating of low energy intensive ion streams in conditions of low pressure
за авторством: Zinoviev, D.V., та інші
Опубліковано: (2000)

Generation of compensated ion beams from source with oscillating electrons
за авторством: Borisko, V.N., та інші
Опубліковано: (2000)

Investigation of the abrasive durability of the multilayer diamond-like coatings for the ring-shaped dry gaseous seals made of SiC
за авторством: Vasyliev, V.V., та інші
Опубліковано: (2019)

Influence of gas mixture with various mass numbers of gases on operation pressure range of plasma electron source with hollow cathode
за авторством: Borisko, V.N., та інші
Опубліковано: (2002)

Bombardment of the surface by a low-energy ion flow accelerated in the near-surface layer of the space charge
за авторством: Hrechkо, Ya., та інші
Опубліковано: (2023)

Current compensation of hydrogen ion beam extracted from PIG with metal-hydride cathode
за авторством: Borisko, V.N., та інші
Опубліковано: (2007)

Anomalous transport of transversely accelerated ions in lower hybrid cavities
за авторством: Azarenkov, N.A., та інші
Опубліковано: (2020)

Optimization of diamond-like carbon coatings for mechanical and tribological applications. Review
за авторством: Reshetnyak, E.N., та інші
Опубліковано: (2023)

Peculiarities of electromagnetic filter operation in penning source with metal hydride cathode
за авторством: Sereda, I., та інші
Опубліковано: (2020)

Features of high-current pulsed regimes in regimes in magnetron sputtering systems
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2005)

Improvement of penning ion sources
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2000)

Characterization of macroscopic erosion of castellated and flat tungsten surfaces under ITER-like transient plasma loads
за авторством: Myroshnyk, M.O., та інші
Опубліковано: (2019)

Modernized technological accelerator with anode layer for ion cleaning
за авторством: Dobrovol`s`kii, A.N., та інші
Опубліковано: (2002)

Modeling of rotatory flows in the plasma accelerator channel with longitudinal magnetic field
за авторством: Kozlov, A.N.
Опубліковано: (2005)

Experimental study of current-sheet-like structure in pinching plasma flows with electric and magnetic probes
за авторством: Volkova, Yu.Ye., та інші
Опубліковано: (2022)

Features of HIBP diagnostics application to stellarator-like devices
за авторством: Dreval, N.B., та інші
Опубліковано: (2005)

Influence of the magnetic field on particle dynamics in capillary discharge of the soft X-ray laser
за авторством: Maslov, V.I., та інші
Опубліковано: (2005)

Technological accelerator with closed electron drift for surface treatment
за авторством: Goncharov, A.A., та інші
Опубліковано: (2000)

Pulsed electromagnetic gas valves for high-current plasma accelerators
за авторством: Staltsov, V.V., та інші
Опубліковано: (2019)

Operational characteristics of the electron accelerator based on the plasma-filled diode
за авторством: Skibenko, E.I., та інші
Опубліковано: (2021)

TiN coating etching from a surface of the instrument in beam-plasma system
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2000)

Elaboration of plasma-dielectric wakefield accelerator
за авторством: Onishchenko, I.N., та інші
Опубліковано: (2016)

Elaboration of plasma-dielectric wakefield accelerator
за авторством: Onishchenko, I.N., та інші
Опубліковано: (2016)

Application of pulse power supply for diamond coatings deposition in glow discharge plasma
за авторством: Koshevoy, K.I., та інші
Опубліковано: (2019)

Peculiarities of self-sustained discharge in closed electron drift accelerator based on permanent magnets
за авторством: Pavlov, S.N., та інші
Опубліковано: (2002)

Formation of the current attachments in plasma accelerator channel under influence of the longitudinal magnetic field
за авторством: Kozlov, A.N., та інші
Опубліковано: (2006)

Progress in plasma wakefield acceleration driven by a short intense bunch of relativistic electrons
за авторством: Onishchenko, I.N.
Опубліковано: (2006)

Joint wakefield acceleration by laser pulse and by self-injected electron bunches
за авторством: Maslov, V.I., та інші
Опубліковано: (2016)

Dc glow discharge for synthesis diamond films with high growth rate
за авторством: Gritsyna, V.I., та інші
Опубліковано: (2019)

Dispersion properties of the dielectric wavеguide for acceleration electrons by the wakefield of laser pulse
за авторством: Balakirev, V.A., та інші
Опубліковано: (2019)

Axial coil accelerator of plasma ring in the atmospheric pressure air
за авторством: Korytchenko, K.V., та інші
Опубліковано: (2019)

Bone-like coatings deposition by using of modern pulsed ion-plasma technology
за авторством: Zykova, A.V., та інші
Опубліковано: (2003)

Thin niobium superconducting film prepared by modified cylindrical magnetron
за авторством: Langner, J., та інші
Опубліковано: (2000)

Solid ion source based on hollow-cylindrical magnetron sputtering discharge
за авторством: Azarenkov, N.A., та інші
Опубліковано: (2003)