Зображення обкладинки

The energy balance of the asymmetric combined inductive-capacitive RF discharge at low pressure

The combined inductive-capacitive RF discharge at low gas pressure is considered for a case of collisionless ion motion. The power distribution model in the combined RF discharge in case of two asymmetric RF electrodes is developed in term of a ratio of the electrode areas and in term of a magnitude...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Вопросы атомной науки и техники
Дата:	2003
Автори:	Zykov, A.V., Polozhiy, K.I., Farenik, V.I.
Формат:	Стаття
Мова:	Англійська
Опубліковано:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2003
Теми:	Low temperature plasma and plasma technologies
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110619
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	The energy balance of the asymmetric combined inductive-capacitive RF discharge at low pressure / A.V. Zykov, K.I. Polozhiy, V.I. Farenik // Вопросы атомной науки и техники. — 2003. — № 1. — С. 130-132. — Бібліогр.: 12 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Production of metal and dielectric films in a combined RF and arc discharge
за авторством: Gasilin, V.V., та інші
Опубліковано: (2003)

RF discharge in argon with cylindrical dust particles
за авторством: Chutov, Yu.I., та інші
Опубліковано: (2005)

Numerical simulation of nanoparticles coagulation in RF-discharge
за авторством: Kravchenko, O.Yu., та інші
Опубліковано: (2016)

Ion energy and ion angular distributions in RF capacitively coupled plasma sources: pure argon and argon-oxygen mixtures
за авторством: Manuilenko, O.V., та інші
Опубліковано: (2006)

A computer simulation of the effect of dusty particles on the characteristic of RF discharges
за авторством: Kravchenko, O.Yu., та інші
Опубліковано: (2007)

Investigation of ozone synthesis in the negative pulsed corona discharge in oxygen at the combined supply voltage
за авторством: Golota, V.I., та інші
Опубліковано: (2021)

New in development of negative hydrogen ion source with combined discharge
за авторством: Dobrovolsky, A., та інші
Опубліковано: (2016)

The influence of nitrogen admixture on concentration of an electronic–excited helium atoms in atmospheric pressure glow discharge
за авторством: Arkhipenko, V.I., та інші
Опубліковано: (2005)

Plasma generation in the low- pressure gas D.C. discharge with a simple example of the noble gas system
за авторством: Kurbatov, P.F.
Опубліковано: (2007)

Kinetics of processes in air plasma discharges at atmospheric pressure in the transverse flow of gas
за авторством: Chernyak, V.Ya., та інші
Опубліковано: (2019)

Experimental and numerical studies of pressure and gap length effects on energy deposition in spark discharge
за авторством: Korytchenko, K.V., та інші
Опубліковано: (2021)

Investigation of parameters of the working substance - low temperature plasma in the ionization resonator chamber of the RF reactive engine
за авторством: Vdovin, V.S., та інші
Опубліковано: (2003)

Experimental research of ICP reactor for plasma-chemical etching
за авторством: Dudin, S.V., та інші
Опубліковано: (2006)

Investigation of characteristics of non-simultaneous arc discharge in titanium vapors in glow discharge electron evaporators
за авторством: Denbnovetskiy, S.V., та інші
Опубліковано: (2007)

Coagulation and dynamics nanoparticles in low pressure plasma jets
за авторством: Kravchenko, O.Yu., та інші
Опубліковано: (2019)

Nanotube formation on catalytic surface in plasma discharge
за авторством: Maslov, V.I., та інші
Опубліковано: (2005)

Kinetic simulaton of CO₂ conversion in low-pressure electrodeless plasma
за авторством: Dudin, S., та інші
Опубліковано: (2022)

Dc glow discharge for synthesis diamond films with high growth rate
за авторством: Gritsyna, V.I., та інші
Опубліковано: (2019)

Investigation of jumping pulsed electrical discharge for plasma chemistry application
за авторством: Berezina, G.P., та інші
Опубліковано: (2002)

Dissipative structure in the glow discharge
за авторством: Ponomaryov, O.P., та інші
Опубліковано: (2008)

The formation of near anode double layer in highcurrent plasma diode of low pressure
за авторством: Tseluyko, A.F., та інші
Опубліковано: (2002)

Emission spectra and current characteristics of negative corona discharge in an electrode system with liquid anode
за авторством: Bolotov, O.V., та інші
Опубліковано: (2020)

Dusty discharges with secondary electron emission
за авторством: Chutov, Yu. I., та інші
Опубліковано: (2002)

Corona discharge influence on micro-organisms
за авторством: Scholtz, V.
Опубліковано: (2005)

Microwave discharge as a source of light
за авторством: Brodsky, Yu.Ya., та інші
Опубліковано: (2005)

On the contraction of an arc discharge in gaseous mixtures
за авторством: Porytskyy, P.V.
Опубліковано: (2005)

Plasma characteristics of two-step vacuum-arc discharge and its application for a coatings deposition
за авторством: Timoshenko, A.I., та інші
Опубліковано: (2007)

The formation of the low-sized high density plasma structures in the self-maintained plasma-beam discharge
за авторством: Borisko, V.N., та інші
Опубліковано: (2006)

Low-pressure uniform plasma generator based on hollow cathode for ion plasma technologies
за авторством: Khomich, V.A., та інші
Опубліковано: (2022)

Generation of silver nanoparticles in a plasma-liquid system with a secondary discharge supported by a rotating gliding discharge
за авторством: Chernyak, V.Ya., та інші
Опубліковано: (2019)

The pinch effect in microwave resonant streamer discharge
за авторством: Esakov, I.I., та інші
Опубліковано: (2000)

Forming a unipolar pulsed discharge in nitrogen
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2016)

ARC discharge in a cross flow of gas
за авторством: Chernyak, V.Ya., та інші
Опубліковано: (2005)

Atmospheric DBD discharge modification of polyester fabric
за авторством: Klenko, Y., та інші
Опубліковано: (2006)

PES fabric modification with a corona discharge
за авторством: Pichal, J., та інші
Опубліковано: (2005)

Coating in the arc discharges with plasma flow filtration
за авторством: Gasilin, V. V., та інші
Опубліковано: (2006)

Plasma of underwater electric discharges with metal vapors
за авторством: Boretskij, V.F., та інші
Опубліковано: (2019)

Influence of the magnetic field on particle dynamics in capillary discharge of the soft X-ray laser
за авторством: Maslov, V.I., та інші
Опубліковано: (2005)

The Langmuir probe modeling in ion-beam plasma
за авторством: Antonova, T.N., та інші
Опубліковано: (2003)

Glow discharge with a hollow cathode in carbon dioxide
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2022)