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The energy balance of the asymmetric combined inductive-capacitive RF discharge at low pressure

The combined inductive-capacitive RF discharge at low gas pressure is considered for a case of collisionless ion motion. The power distribution model in the combined RF discharge in case of two asymmetric RF electrodes is developed in term of a ratio of the electrode areas and in term of a magnitude...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Вопросы атомной науки и техники
Datum:	2003
Hauptverfasser:	Zykov, A.V., Polozhiy, K.I., Farenik, V.I.
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2003
Schlagworte:	Low temperature plasma and plasma technologies
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110619
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Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	The energy balance of the asymmetric combined inductive-capacitive RF discharge at low pressure / A.V. Zykov, K.I. Polozhiy, V.I. Farenik // Вопросы атомной науки и техники. — 2003. — № 1. — С. 130-132. — Бібліогр.: 12 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

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