Подавление эмиссии макрочастиц в вакуумно-дуговых источниках плазмы
Приведен краткий аналитический обзор методов подавления эмиссии микро- и наночастиц, часто называемых “макрочастицами” или “каплями”, в вакуумно-дуговых источниках эрозионной плазмы без применения фильтрующих систем. Рассмотрены 12 вариантов стационарных и импульсных плазменных источников, включая к...
Saved in:
| Published in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Date: | 2007 |
| Main Authors: | Аксёнов, Д.С., Аксёнов, И.И., Стрельницкий, В.Е. |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2007
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110636 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Подавление эмиссии макрочастиц в вакуумно-дуговых источниках плазмы / Д.С. Аксёнов, И.И. Аксёнов, В.Е. Стрельницкий // Вопросы атомной науки и техники. — 2007. — № 6. — С. 106-115. — Бібліогр.: 43 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineSimilar Items
Катоды из ферромагнетиков в вакуумно-дуговых источниках плазмы
by: Аксёнов, Д.С., et al.
Published: (2009)
by: Аксёнов, Д.С., et al.
Published: (2009)
Вакуумно-дуговые источники эрозионной плазмы с магнитными фильтрами. Обзор
by: Аксёнов, Д.С., et al.
Published: (2007)
by: Аксёнов, Д.С., et al.
Published: (2007)
Транспортировка вакуумно-дуговой плазмы в неоднородном магнитном поле
by: Аксенов, И.И., et al.
Published: (2005)
by: Аксенов, И.И., et al.
Published: (2005)
Вакуумно-дуговой синтез алмазоподобного углерода
by: Аксенов, И.И., et al.
Published: (2002)
by: Аксенов, И.И., et al.
Published: (2002)
Вакуумно-дуговое оборудование и технологии покрытий в ХФТИ
by: Аксёнов, И.И., et al.
Published: (2016)
by: Аксёнов, И.И., et al.
Published: (2016)
Физико-механические свойства Ti-Al-N-покрытий, осаждаемых из смешанного двухкомпонентного потока вакуумно-дуговой плазмы
by: Аксёнов, Д.С., et al.
Published: (2011)
by: Аксёнов, Д.С., et al.
Published: (2011)
Формирование радиальных потоков сепарированной эрозионной плазмы вакуумной дуги
by: Аксенов, И.И.
Published: (2001)
by: Аксенов, И.И.
Published: (2001)
Высокопроизводительная вакуумно-дуговая установка для осаждения покрытий
by: Аксёнов, И.И., et al.
Published: (2008)
by: Аксёнов, И.И., et al.
Published: (2008)
Прямолинейный сепаратор углеродной плазмы вакуумной дуги
by: Аксенов, И.И., et al.
Published: (2001)
by: Аксенов, И.И., et al.
Published: (2001)
Механические свойства и эрозионная стойкость вакуумно-дуговых покрытий (Ti, Al)N, модифицированных иттрием
by: Васильев, В.В., et al.
Published: (2011)
by: Васильев, В.В., et al.
Published: (2011)
Структура и твердость Ti-N- и Ti-Si-N-покрытий, осажденных из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы
by: Васильев, В.В., et al.
Published: (2009)
by: Васильев, В.В., et al.
Published: (2009)
Трибологические характеристики и механические свойства многослойных вакуумно-дуговых покрытий TiN/ZrN
by: Гранкин, С.С., et al.
Published: (2015)
by: Гранкин, С.С., et al.
Published: (2015)
Вакуумно-дуговой синтез алмазоподобных пленок: история, последние разработки, применение, перспективы
by: Стрельницкий, В.Е.
Published: (2002)
by: Стрельницкий, В.Е.
Published: (2002)
Технологический источник плазмы с комбинированной системой возбуждения вакуумно-дугового разряда
by: Сысоев, Ю.А.
Published: (2013)
by: Сысоев, Ю.А.
Published: (2013)
Перенос и удержание кремния в Тi-Si-N-покрытиях в процессе вакуумно-дугового осаждения
by: Аксёнов, И.И., et al.
Published: (2010)
by: Аксёнов, И.И., et al.
Published: (2010)
Механические характеристики, структура и напряженное состояние вакуумно-дуговых TiN-покрытий, осажденных при подаче на подложку высоковольтных импульсов в процессе осаждения
by: Соболь, О.В., et al.
Published: (2011)
by: Соболь, О.В., et al.
Published: (2011)
Исследование стабильности вакуумно-дугового разряда на катодах из различных графитовых материалов
by: Васильев, В.В., et al.
Published: (2002)
by: Васильев, В.В., et al.
Published: (2002)
Карбонитриды титана, полученные вакуумно-дуговым осаждением
by: Кунченко, В.В., et al.
Published: (2001)
by: Кунченко, В.В., et al.
Published: (2001)
CrNx покрытия, полученные вакуумно-дуговым методом
by: Кунченко, В.В., et al.
Published: (2004)
by: Кунченко, В.В., et al.
Published: (2004)
Вакуумно-дугове обладнання для іонно-плазмового осадження покриттів
by: Аксьонов, І.І., et al.
Published: (2000)
by: Аксьонов, І.І., et al.
Published: (2000)
Слоистые Ti-Cr–N-покрытия, получаемые методом вакуумно-дугового осаждения
by: Кунченко, Ю.В., et al.
Published: (2007)
by: Кунченко, Ю.В., et al.
Published: (2007)
Эволюция разрядной ячейки при вакуумно-дуговом разряде на меди
by: Павлов, В.С.
Published: (2004)
by: Павлов, В.С.
Published: (2004)
Перенесення катодного матеріалу в процесі вакуумно-дугового формування покриттів
by: Аксьонов, І.І., et al.
Published: (2009)
by: Аксьонов, І.І., et al.
Published: (2009)
Использование вторично-ионной эмиссии для изучения процессов формирования покрытий Cr-N на алюминии
by: Вирич, В.Д., et al.
Published: (2003)
by: Вирич, В.Д., et al.
Published: (2003)
Влияние малых добавок кремния на служебные характеристики нитрид-титановых покрытий
by: Аксёнов, И.И., et al.
Published: (2011)
by: Аксёнов, И.И., et al.
Published: (2011)
Вакуумно-дуговые хромовые покрытия для защиты сплава Zr-1Nb от высокотемпературного окисления на воздухе
by: Куприн, А.С., et al.
Published: (2015)
by: Куприн, А.С., et al.
Published: (2015)
Наноструктурные сверхтвёрдые nc-TiN/а-Si₃N₄ покрытия, полученные методом вакуумно-дугового осаждения
by: Кунченко, В.В., et al.
Published: (2006)
by: Кунченко, В.В., et al.
Published: (2006)
Оценка диэлектрических свойств микродуговых покрытий на деформируемых алюминиевых сплавах
by: Гуцаленко, Ю.Г., et al.
Published: (2018)
by: Гуцаленко, Ю.Г., et al.
Published: (2018)
Влияние лазерной обработки, карбонитрации и их сочетания с вакуумно-плазменным покрытием tin на некоторые свойства стали Р6М5
by: Мацевитый, В.М., et al.
Published: (2001)
by: Мацевитый, В.М., et al.
Published: (2001)
Влияние термического отжига на структуру дефектов и свойства наностуктурного покрытия Ti-Si-N, полученного катодным вакуумно-дуговым осаждением
by: Погребняк, А.Д., et al.
Published: (2013)
by: Погребняк, А.Д., et al.
Published: (2013)
Однослойные и многослойные вакуумно-дуговые покрытия на основе нитрида TiAlSiYN: состав, структура, свойства
by: Береснев, В.М., et al.
Published: (2017)
by: Береснев, В.М., et al.
Published: (2017)
Программно-аппаратный комплекс для оптимизации транспортирующих свойств вакуумно-дуговых фильтров
by: Аксёнов, Д.С., et al.
Published: (2016)
by: Аксёнов, Д.С., et al.
Published: (2016)
Синтез упрочняющих наноструктурных покрытий
by: Решетняк, Е.Н., et al.
Published: (2008)
by: Решетняк, Е.Н., et al.
Published: (2008)
Электродуговой плазмотрон для высокопроизводительного синтеза алмазных покрытий
by: Васильев, В.В., et al.
Published: (2001)
by: Васильев, В.В., et al.
Published: (2001)
Влияние толщины бислоев TiN/ZrN на структуру и свойства многослойных покрытий, полученных вакуумно-дуговым испарением
by: Соболь, О.В., et al.
Published: (2015)
by: Соболь, О.В., et al.
Published: (2015)
О формообразовании кратеров при ионной бомбардировке
by: Калиниченко, А.И., et al.
Published: (2013)
by: Калиниченко, А.И., et al.
Published: (2013)
Формирование напряжений сжатия в тонких пленках при ионном облучении
by: Калиниченко, А.И., et al.
Published: (2007)
by: Калиниченко, А.И., et al.
Published: (2007)
Ускорение кинетических процессов в аморфном и нанокристаллическом нитриде бора при ионном облучении
by: Калиниченко, А.И., et al.
Published: (2008)
by: Калиниченко, А.И., et al.
Published: (2008)
Влияние давления азота на структуру конденсатов, полученных из высокоэнтропийного сплава AlCrTiZrNbY при вакуумно-дуговом осаждении
by: Береснев, В.М., et al.
Published: (2016)
by: Береснев, В.М., et al.
Published: (2016)
Влияние аргона на структуру и свойства Ti-Si-N-покрытий, полученных при вакуумно-дуговом осаждении в газовой смеси «азот + аргон»
by: Белоус, В.А., et al.
Published: (2012)
by: Белоус, В.А., et al.
Published: (2012)
Similar Items
-
Катоды из ферромагнетиков в вакуумно-дуговых источниках плазмы
by: Аксёнов, Д.С., et al.
Published: (2009) -
Вакуумно-дуговые источники эрозионной плазмы с магнитными фильтрами. Обзор
by: Аксёнов, Д.С., et al.
Published: (2007) -
Транспортировка вакуумно-дуговой плазмы в неоднородном магнитном поле
by: Аксенов, И.И., et al.
Published: (2005) -
Вакуумно-дуговой синтез алмазоподобного углерода
by: Аксенов, И.И., et al.
Published: (2002) -
Вакуумно-дуговое оборудование и технологии покрытий в ХФТИ
by: Аксёнов, И.И., et al.
Published: (2016)