Формирование напряжений сжатия в тонких пленках при ионном облучении
На основе модели нелокального термоупругого пика низкоэнергетического иона в веществе предложена модернизированная теория формирования напряжений сжатия в тонких пленках, осаждаемых при одновременном облучении потоком низкоэнергетических ионов. Выражение для величины напряжений сжатия в зависимости...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Дата: | 2007 |
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2007
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110637 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Формирование напряжений сжатия в тонких пленках при ионном облучении / А.И. Калиниченко, С.С. Перепелкин, В.Е. Стрельницкий // Вопросы атомной науки и техники. — 2007. — № 6. — С. 116-119. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862608389637406720 |
|---|---|
| author | Калиниченко, А.И. Перепелкин, С.С. Стрельницкий, В.Е. |
| author_facet | Калиниченко, А.И. Перепелкин, С.С. Стрельницкий, В.Е. |
| citation_txt | Формирование напряжений сжатия в тонких пленках при ионном облучении / А.И. Калиниченко, С.С. Перепелкин, В.Е. Стрельницкий // Вопросы атомной науки и техники. — 2007. — № 6. — С. 116-119. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | На основе модели нелокального термоупругого пика низкоэнергетического иона в веществе предложена модернизированная теория формирования напряжений сжатия в тонких пленках, осаждаемых при одновременном облучении потоком низкоэнергетических ионов. Выражение для величины напряжений сжатия в зависимости от потока и энергии ионов сравнивается с экспериментальными данными, полученными при осаждении пленок тетраэдрического аморфного углерода и AlN. Предлагаемая модель дает правильное описание напряжений сжатия в осаждаемых пленках при ионном облучении и с физически обоснованным выбором величины энергии активации кинетического процесса, ответственного за релаксацию напряжений.
На основі моделі нелокального термопружного піка низькоэнергетичного іона в речовині запропонована модернізована теорія формування напруг стиску в тонких плівках, що осаджуються при одночасному опроміненні потоком низькоэнергетичних іонів. Отриманий вираз для величини напруги стиску у залежності від потоку й енергії іонів порівнюється з експериментальними даними, отриманими при осадженні плівок тетраедричного аморфного вуглецю і AlN. Запропонована модель дає правильний опис напруг стиску в плівках, що осаджуються при іонному опроміненні і з фізично обґрунтованим вибором величини енергії активації кінетичного процесу, відповідального за релаксацію напруги.
On basis of the non-local thermoelastic peak model of low-energy ion in material, an updated theory of compressed stress formation in thin films by the ion-assisted deposition is proposed. The stress value expression depending on flux and energy of the ion is compared with experimental data for films of tetrahedral amorphous carbon and AlN. The proposed model describes correctly the compressed stress in deposited films with justified choice of value of the activation energy of a kinetic process to be responsible for the stress relaxation.
|
| first_indexed | 2025-11-28T17:17:33Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-110637 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-11-28T17:17:33Z |
| publishDate | 2007 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Калиниченко, А.И. Перепелкин, С.С. Стрельницкий, В.Е. 2017-01-05T19:38:42Z 2017-01-05T19:38:42Z 2007 Формирование напряжений сжатия в тонких пленках при ионном облучении / А.И. Калиниченко, С.С. Перепелкин, В.Е. Стрельницкий // Вопросы атомной науки и техники. — 2007. — № 6. — С. 116-119. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. 1562-6016 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110637 537.534.2:679.826 На основе модели нелокального термоупругого пика низкоэнергетического иона в веществе предложена модернизированная теория формирования напряжений сжатия в тонких пленках, осаждаемых при одновременном облучении потоком низкоэнергетических ионов. Выражение для величины напряжений сжатия в зависимости от потока и энергии ионов сравнивается с экспериментальными данными, полученными при осаждении пленок тетраэдрического аморфного углерода и AlN. Предлагаемая модель дает правильное описание напряжений сжатия в осаждаемых пленках при ионном облучении и с физически обоснованным выбором величины энергии активации кинетического процесса, ответственного за релаксацию напряжений. На основі моделі нелокального термопружного піка низькоэнергетичного іона в речовині запропонована модернізована теорія формування напруг стиску в тонких плівках, що осаджуються при одночасному опроміненні потоком низькоэнергетичних іонів. Отриманий вираз для величини напруги стиску у залежності від потоку й енергії іонів порівнюється з експериментальними даними, отриманими при осадженні плівок тетраедричного аморфного вуглецю і AlN. Запропонована модель дає правильний опис напруг стиску в плівках, що осаджуються при іонному опроміненні і з фізично обґрунтованим вибором величини енергії активації кінетичного процесу, відповідального за релаксацію напруги. On basis of the non-local thermoelastic peak model of low-energy ion in material, an updated theory of compressed stress formation in thin films by the ion-assisted deposition is proposed. The stress value expression depending on flux and energy of the ion is compared with experimental data for films of tetrahedral amorphous carbon and AlN. The proposed model describes correctly the compressed stress in deposited films with justified choice of value of the activation energy of a kinetic process to be responsible for the stress relaxation. ru Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Формирование напряжений сжатия в тонких пленках при ионном облучении Формування напруг стиску в тонких плівках при іонному опроміненні Compressed stress formation in thin films by ion bombardment Article published earlier |
| spellingShingle | Формирование напряжений сжатия в тонких пленках при ионном облучении Калиниченко, А.И. Перепелкин, С.С. Стрельницкий, В.Е. Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| title | Формирование напряжений сжатия в тонких пленках при ионном облучении |
| title_alt | Формування напруг стиску в тонких плівках при іонному опроміненні Compressed stress formation in thin films by ion bombardment |
| title_full | Формирование напряжений сжатия в тонких пленках при ионном облучении |
| title_fullStr | Формирование напряжений сжатия в тонких пленках при ионном облучении |
| title_full_unstemmed | Формирование напряжений сжатия в тонких пленках при ионном облучении |
| title_short | Формирование напряжений сжатия в тонких пленках при ионном облучении |
| title_sort | формирование напряжений сжатия в тонких пленках при ионном облучении |
| topic | Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| topic_facet | Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110637 |
| work_keys_str_mv | AT kaliničenkoai formirovanienaprâženiisžatiâvtonkihplenkahpriionnomoblučenii AT perepelkinss formirovanienaprâženiisžatiâvtonkihplenkahpriionnomoblučenii AT strelʹnickiive formirovanienaprâženiisžatiâvtonkihplenkahpriionnomoblučenii AT kaliničenkoai formuvannânaprugstiskuvtonkihplívkahpriíonnomuopromínenní AT perepelkinss formuvannânaprugstiskuvtonkihplívkahpriíonnomuopromínenní AT strelʹnickiive formuvannânaprugstiskuvtonkihplívkahpriíonnomuopromínenní AT kaliničenkoai compressedstressformationinthinfilmsbyionbombardment AT perepelkinss compressedstressformationinthinfilmsbyionbombardment AT strelʹnickiive compressedstressformationinthinfilmsbyionbombardment |