Формирование напряжений сжатия в тонких пленках при ионном облучении
На основе модели нелокального термоупругого пика низкоэнергетического иона в веществе предложена модернизированная теория формирования напряжений сжатия в тонких пленках, осаждаемых при одновременном облучении потоком низкоэнергетических ионов. Выражение для величины напряжений сжатия в зависимости...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Дата: | 2007 |
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2007
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110637 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Формирование напряжений сжатия в тонких пленках при ионном облучении / А.И. Калиниченко, С.С. Перепелкин, В.Е. Стрельницкий // Вопросы атомной науки и техники. — 2007. — № 6. — С. 116-119. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
Ускорение кинетических процессов в аморфном и нанокристаллическом нитриде бора при ионном облучении
за авторством: Калиниченко, А.И., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Калиниченко, А.И., та інші
Опубліковано: (2008)
Образование кубического нитрида бора в термоупругих пиках ионов B⁺ при ионном осаждении покрытий
за авторством: Калиниченко, А.И., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Калиниченко, А.И., та інші
Опубліковано: (2009)
О формообразовании кратеров при ионной бомбардировке
за авторством: Калиниченко, А.И., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Калиниченко, А.И., та інші
Опубліковано: (2013)
Эффект нелокального теплового пика низкоэнергетического иона и его влияние на кинетические процессы в твёрдом теле
за авторством: Калиниченко, А.И., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Калиниченко, А.И., та інші
Опубліковано: (2007)
Упругие волны, возбуждаемые при ионной имплантации, и их влияние на процессы в облучаемом веществе
за авторством: Калиниченко, А.И., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Калиниченко, А.И., та інші
Опубліковано: (2005)
Возникновение и роль напряжения сжатия при ионном осаждении алмазоподобной пленки
за авторством: Стрельницкий, В.Е., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Стрельницкий, В.Е., та інші
Опубліковано: (2009)
Радиационная стойкость n- и p-Si, легированного кислородом и германием, при облучении высокоэнергетическими ядерными частицами
за авторством: Долголенко, А.П., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Долголенко, А.П., та інші
Опубліковано: (2009)
Вакуумно-дуговой синтез алмазоподобных пленок: история, последние разработки, применение, перспективы
за авторством: Стрельницкий, В.Е.
Опубліковано: (2002)
за авторством: Стрельницкий, В.Е.
Опубліковано: (2002)
Применение метода ICP-MS c лазерной абляцией для исследования структурных изменений в цирконий-ниобиевых сплавах при деформации и облучении
за авторством: Ванжа, С.А., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Ванжа, С.А., та інші
Опубліковано: (2014)
Ускоренное формирование силицидных слоев на молибдене
за авторством: Литовченко, С.В., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Литовченко, С.В., та інші
Опубліковано: (2001)
Двойникование в фуллеритовых пленках при ионном облучении аргоном
за авторством: Бажин, А.И., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Бажин, А.И., та інші
Опубліковано: (2011)
Межслоевое перемешивание в многослойных периодических композициях Mo/Si, MoSi₂/Si и Mo/C/Si/C при облучении ионами гелия
за авторством: Пеньков, А.В., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Пеньков, А.В., та інші
Опубліковано: (2006)
Исследование поведения профилей залегания имплантированных ионов Ti⁺ в наноструктурной пленке Nb в зависимости от угла падения ионов при низкотемпературном облучении. Компьютерное моделирование по программе SPURT.CRIS
за авторством: Павленко, В.И., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Павленко, В.И., та інші
Опубліковано: (2014)
Электродуговой плазмотрон для высокопроизводительного синтеза алмазных покрытий
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2001)
Синтез упрочняющих наноструктурных покрытий
за авторством: Решетняк, Е.Н., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Решетняк, Е.Н., та інші
Опубліковано: (2008)
Вакуумно-дуговой синтез алмазоподобного углерода
за авторством: Аксенов, И.И., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Аксенов, И.И., та інші
Опубліковано: (2002)
Вакуумно-дуговые источники эрозионной плазмы с магнитными фильтрами. Обзор
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2007)
Подавление эмиссии макрочастиц в вакуумно-дуговых источниках плазмы
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2007)
Изучение транспортирующих свойств T-образного фильтра при помощи многоканального зонда
за авторством: Аксенов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Аксенов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2017)
Адгезионные свойства тонких металлических покрытий, нанесённых на стекло методом ионно-стимулированного осаждения
за авторством: Марченко, Ю.А., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Марченко, Ю.А., та інші
Опубліковано: (2009)
Формирование радиальных потоков сепарированной эрозионной плазмы вакуумной дуги
за авторством: Аксенов, И.И.
Опубліковано: (2001)
за авторством: Аксенов, И.И.
Опубліковано: (2001)
Формирование TiNx покрытий конденсацией плазмы падением потенциала
за авторством: Кунченко, В.В., та інші
Опубліковано: (2000)
за авторством: Кунченко, В.В., та інші
Опубліковано: (2000)
Формирование структуры порошковой инструментальной стали, упрочненной карбидом титана при спекании
за авторством: Санин, А.Ф.
Опубліковано: (2002)
за авторством: Санин, А.Ф.
Опубліковано: (2002)
Об эффективности вакуумно-дуговых источников сепарированной плазмы
за авторством: Аксенов, И.И., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Аксенов, И.И., та інші
Опубліковано: (2001)
Вакуумно-дуговое оборудование и технологии покрытий в ХФТИ
за авторством: Аксёнов, И.И., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Аксёнов, И.И., та інші
Опубліковано: (2016)
Формирование аморфизированного наплава при воздействии импульсного трубчатого пучка электронов на поверхность металлов
за авторством: Базалеев, Н.И., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Базалеев, Н.И., та інші
Опубліковано: (2005)
Оценка диэлектрических свойств микродуговых покрытий на деформируемых алюминиевых сплавах
за авторством: Гуцаленко, Ю.Г., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Гуцаленко, Ю.Г., та інші
Опубліковано: (2018)
Транспортировка вакуумно-дуговой плазмы в неоднородном магнитном поле
за авторством: Аксенов, И.И., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Аксенов, И.И., та інші
Опубліковано: (2005)
Влияние расположения подложки относительно потока фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы на структуру и свойства покрытий TіN
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2017)
Влияние импульсного электронного облучения на формирование ультрамелкозернистой структуры и параметры сверхпластического течения сплава 6111
за авторством: Пойда, А.В.
Опубліковано: (2010)
за авторством: Пойда, А.В.
Опубліковано: (2010)
Исследование влияния параметров синтеза алмазных покрытий на скорость их роста и величину удельного электрического сопротивления
за авторством: Веревкин, А.А., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Веревкин, А.А., та інші
Опубліковано: (2010)
Прямолинейный сепаратор углеродной плазмы вакуумной дуги
за авторством: Аксенов, И.И., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Аксенов, И.И., та інші
Опубліковано: (2001)
Физико-механические свойства Ti-Al-N-покрытий, осаждаемых из смешанного двухкомпонентного потока вакуумно-дуговой плазмы
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2011)
Структура и твердость Ti-N- и Ti-Si-N-покрытий, осажденных из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2009)
Синтез алмазных покрытий в тлеющем разряде, стабилизированном магнитным полем
за авторством: Опалев, О.А., та інші
Опубліковано: (2000)
за авторством: Опалев, О.А., та інші
Опубліковано: (2000)
Получение самонесущих поликристаллических алмазных пленок для детекторов ионизирующего излучения
за авторством: Березняк, Е.П., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Березняк, Е.П., та інші
Опубліковано: (2011)
Свойства нитрида алюминия как защитного покрытия на биоинженерных материалах
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2005)
Механические свойства и эрозионная стойкость вакуумно-дуговых покрытий (Ti, Al)N, модифицированных иттрием
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2011)
Влияние добавки аргона в водородометановую смесь на синтез алмазоподобного покрытия в тлеющем разряде, стабилизированном магнитным полем
за авторством: Пашнев, В.К., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Пашнев, В.К., та інші
Опубліковано: (2002)
Исследование стабильности вакуумно-дугового разряда на катодах из различных графитовых материалов
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2002)