Вакуумно-дуговые источники эрозионной плазмы с магнитными фильтрами. Обзор
Кратко рассмотрено современное состояние проблемы генерирования потоков эрозионной вакуумно-дуговой плазмы, очищенной от макрочастиц катодного материала. Приведены реферативные описания 27 вакуумно-дуговых источников плазмы с магнитными фильтрами, предназначенных для использования в технологических...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Дата: | 2007 |
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2007
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110662 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Вакуумно-дуговые источники эрозионной плазмы с магнитными фильтрами. Обзор / Д.С. Аксёнов, И.И. Аксёнов, В.Е. Стрельницкий // Вопросы атомной науки и техники. — 2007. — № 2. — С. 190-202. — Бібліогр.: 60 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862721232215998464 |
|---|---|
| author | Аксёнов, Д.С. Аксёнов, И.И. Стрельницкий, В.Е. |
| author_facet | Аксёнов, Д.С. Аксёнов, И.И. Стрельницкий, В.Е. |
| citation_txt | Вакуумно-дуговые источники эрозионной плазмы с магнитными фильтрами. Обзор / Д.С. Аксёнов, И.И. Аксёнов, В.Е. Стрельницкий // Вопросы атомной науки и техники. — 2007. — № 2. — С. 190-202. — Бібліогр.: 60 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | Кратко рассмотрено современное состояние проблемы генерирования потоков эрозионной вакуумно-дуговой плазмы, очищенной от макрочастиц катодного материала. Приведены реферативные описания 27 вакуумно-дуговых источников плазмы с магнитными фильтрами, предназначенных для использования в технологических процессах осаждения плёнок микро- и нанометрового диапазонов толщин. Использованы материалы патентов и журнальных статей, опубликованных в период с середины 1970-х годов по настоящее время.
Коротко розглянуто сучасний стан проблеми генерування потоків ерозійної вакуумно-дугової плазми, очищеної від макрочасток катодного матеріалу. Наведено реферативні описи 27 вакуумно-дугових джерел плазми з магнітними фільтрами, призначених для використання в технологічних процесах осадження плівок мікро- та манометрового діапазонів товщин. Використано матеріали патентів та журнальних статей, опублікованих в період з середини 1970-х років до теперішнього часу.
The present state of the problem to rid cathodic vacuum arc erosive plasma flows of macro- and nanoparticlesis briefly considered. In this paper there are presented abstract of 27 vacuum arc plasma sources equipped with magnetic filter, which are designed for use in technological processes of deposition of films of micro- and nanometer range of thickness. The data of patents and journal papers issued since the middle of the 1970th till present are used in this review.
|
| first_indexed | 2025-12-07T18:30:17Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-110662 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T18:30:17Z |
| publishDate | 2007 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Аксёнов, Д.С. Аксёнов, И.И. Стрельницкий, В.Е. 2017-01-05T20:43:32Z 2017-01-05T20:43:32Z 2007 Вакуумно-дуговые источники эрозионной плазмы с магнитными фильтрами. Обзор / Д.С. Аксёнов, И.И. Аксёнов, В.Е. Стрельницкий // Вопросы атомной науки и техники. — 2007. — № 2. — С. 190-202. — Бібліогр.: 60 назв. — рос. 1562-6016 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110662 621.793 Кратко рассмотрено современное состояние проблемы генерирования потоков эрозионной вакуумно-дуговой плазмы, очищенной от макрочастиц катодного материала. Приведены реферативные описания 27 вакуумно-дуговых источников плазмы с магнитными фильтрами, предназначенных для использования в технологических процессах осаждения плёнок микро- и нанометрового диапазонов толщин. Использованы материалы патентов и журнальных статей, опубликованных в период с середины 1970-х годов по настоящее время. Коротко розглянуто сучасний стан проблеми генерування потоків ерозійної вакуумно-дугової плазми, очищеної від макрочасток катодного матеріалу. Наведено реферативні описи 27 вакуумно-дугових джерел плазми з магнітними фільтрами, призначених для використання в технологічних процесах осадження плівок мікро- та манометрового діапазонів товщин. Використано матеріали патентів та журнальних статей, опублікованих в період з середини 1970-х років до теперішнього часу. The present state of the problem to rid cathodic vacuum arc erosive plasma flows of macro- and nanoparticlesis briefly considered. In this paper there are presented abstract of 27 vacuum arc plasma sources equipped with magnetic filter, which are designed for use in technological processes of deposition of films of micro- and nanometer range of thickness. The data of patents and journal papers issued since the middle of the 1970th till present are used in this review. ru Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Вакуумно-дуговые источники эрозионной плазмы с магнитными фильтрами. Обзор Вакуумно-дугові джерела ерозійної плазми з магнітними фільтрами: огляд Filtered vacuum arc erosive plasma sources: a review Article published earlier |
| spellingShingle | Вакуумно-дуговые источники эрозионной плазмы с магнитными фильтрами. Обзор Аксёнов, Д.С. Аксёнов, И.И. Стрельницкий, В.Е. Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| title | Вакуумно-дуговые источники эрозионной плазмы с магнитными фильтрами. Обзор |
| title_alt | Вакуумно-дугові джерела ерозійної плазми з магнітними фільтрами: огляд Filtered vacuum arc erosive plasma sources: a review |
| title_full | Вакуумно-дуговые источники эрозионной плазмы с магнитными фильтрами. Обзор |
| title_fullStr | Вакуумно-дуговые источники эрозионной плазмы с магнитными фильтрами. Обзор |
| title_full_unstemmed | Вакуумно-дуговые источники эрозионной плазмы с магнитными фильтрами. Обзор |
| title_short | Вакуумно-дуговые источники эрозионной плазмы с магнитными фильтрами. Обзор |
| title_sort | вакуумно-дуговые источники эрозионной плазмы с магнитными фильтрами. обзор |
| topic | Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| topic_facet | Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110662 |
| work_keys_str_mv | AT aksenovds vakuumnodugovyeistočnikiérozionnoiplazmysmagnitnymifilʹtramiobzor AT aksenovii vakuumnodugovyeistočnikiérozionnoiplazmysmagnitnymifilʹtramiobzor AT strelʹnickiive vakuumnodugovyeistočnikiérozionnoiplazmysmagnitnymifilʹtramiobzor AT aksenovds vakuumnodugovídžerelaerozíinoíplazmizmagnítnimifílʹtramioglâd AT aksenovii vakuumnodugovídžerelaerozíinoíplazmizmagnítnimifílʹtramioglâd AT strelʹnickiive vakuumnodugovídžerelaerozíinoíplazmizmagnítnimifílʹtramioglâd AT aksenovds filteredvacuumarcerosiveplasmasourcesareview AT aksenovii filteredvacuumarcerosiveplasmasourcesareview AT strelʹnickiive filteredvacuumarcerosiveplasmasourcesareview |