Сучасні методи підвищення радіаційної стійкості напівпровідникових матеріалів

Наведені і обговорюються різні методи підвищення радіаційної стійкості напівпровідникових матеріалів на прикладі Si і InSb. Оптичними та електричними методами вивчені параметри Si, опроміненого різними видами і флюенсами високоенергетичного випромінювання з наступними термообробками. Показано, що пі...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Вопросы атомной науки и техники
Date:2007
Main Authors: Барабаш, Л.І., Вишневський, І.М., Гроза, А.А., Карпенко, А.Я., Литовченко, П.Г., Старчик, М.І.
Format: Article
Language:Ukrainian
Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2007
Subjects:
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110663
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Сучасні методи підвищення радіаційної стійкості напівпровідникових матеріалів / Л.І. Барабаш, І.М. Вишневський, А.А. Гроза, А.Я. Карпенко, П.Г. Литовченко, М.І. Старчик // Вопросы атомной науки и техники. — 2007. — № 2. — С. 182-189. — Бібліогр.: 16 назв. — укр.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1862752308570357760
author Барабаш, Л.І.
Вишневський, І.М.
Гроза, А.А.
Карпенко, А.Я.
Литовченко, П.Г.
Старчик, М.І.
author_facet Барабаш, Л.І.
Вишневський, І.М.
Гроза, А.А.
Карпенко, А.Я.
Литовченко, П.Г.
Старчик, М.І.
citation_txt Сучасні методи підвищення радіаційної стійкості напівпровідникових матеріалів / Л.І. Барабаш, І.М. Вишневський, А.А. Гроза, А.Я. Карпенко, П.Г. Литовченко, М.І. Старчик // Вопросы атомной науки и техники. — 2007. — № 2. — С. 182-189. — Бібліогр.: 16 назв. — укр.
collection DSpace DC
container_title Вопросы атомной науки и техники
description Наведені і обговорюються різні методи підвищення радіаційної стійкості напівпровідникових матеріалів на прикладі Si і InSb. Оптичними та електричними методами вивчені параметри Si, опроміненого різними видами і флюенсами високоенергетичного випромінювання з наступними термообробками. Показано, що підвищення радіаційної стійкості кремнію можна одержати насамперед за допомогою радіаційно-термічної обробки (попереднє опромінення і відпал). Переконливі дані підвищення радіаційної стійкості Si при нейтронному опроміненні приведені для Si, легованого ізовалентною домішкою Ge. Приведены и обсуждаются различные методы повышения радиационной стойкости полупроводниковых материалов на примере Si и InSb. Оптическими и электрическими методами изучены параметры Si, подвергнутого различными видами и флюенсами высокоэнергетического облучения с последующими термообработками. Показано, что повышение радиационной стойкости кремния можно получить в первую очередь с помощью радиационно-термической обработке (предварительное облучение и отжиг). Убедительные данные по повышению радиационной стойкости Si при нейтронном облучении получены на Si, легированном изовалентной примесью Ge. In given article various methods of the increase of the radiation hardness of semiconductors materials such as Si and InSb are discussed. Parameters of Si irradiated by different types and fluences of high energy irradiation and annealed were studied by optical and electrical methods. It was shown that the increase of the Si radiation hardness one can obtain first of all due to radiation-thermal treatments (preliminary radiation and annealing). The important results of the radiation hardness increase were received for neutron irradiated Si, doped by Ge izovalent impurity.
first_indexed 2025-12-07T21:15:43Z
format Article
fulltext
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-110663
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 1562-6016
language Ukrainian
last_indexed 2025-12-07T21:15:43Z
publishDate 2007
publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
record_format dspace
spelling Барабаш, Л.І.
Вишневський, І.М.
Гроза, А.А.
Карпенко, А.Я.
Литовченко, П.Г.
Старчик, М.І.
2017-01-05T20:49:46Z
2017-01-05T20:49:46Z
2007
Сучасні методи підвищення радіаційної стійкості напівпровідникових матеріалів / Л.І. Барабаш, І.М. Вишневський, А.А. Гроза, А.Я. Карпенко, П.Г. Литовченко, М.І. Старчик // Вопросы атомной науки и техники. — 2007. — № 2. — С. 182-189. — Бібліогр.: 16 назв. — укр.
1562-6016
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110663
238.9;548.4;539.1.074
Наведені і обговорюються різні методи підвищення радіаційної стійкості напівпровідникових матеріалів на прикладі Si і InSb. Оптичними та електричними методами вивчені параметри Si, опроміненого різними видами і флюенсами високоенергетичного випромінювання з наступними термообробками. Показано, що підвищення радіаційної стійкості кремнію можна одержати насамперед за допомогою радіаційно-термічної обробки (попереднє опромінення і відпал). Переконливі дані підвищення радіаційної стійкості Si при нейтронному опроміненні приведені для Si, легованого ізовалентною домішкою Ge.
Приведены и обсуждаются различные методы повышения радиационной стойкости полупроводниковых материалов на примере Si и InSb. Оптическими и электрическими методами изучены параметры Si, подвергнутого различными видами и флюенсами высокоэнергетического облучения с последующими термообработками. Показано, что повышение радиационной стойкости кремния можно получить в первую очередь с помощью радиационно-термической обработке (предварительное облучение и отжиг). Убедительные данные по повышению радиационной стойкости Si при нейтронном облучении получены на Si, легированном изовалентной примесью Ge.
In given article various methods of the increase of the radiation hardness of semiconductors materials such as Si and InSb are discussed. Parameters of Si irradiated by different types and fluences of high energy irradiation and annealed were studied by optical and electrical methods. It was shown that the increase of the Si radiation hardness one can obtain first of all due to radiation-thermal treatments (preliminary radiation and annealing). The important results of the radiation hardness increase were received for neutron irradiated Si, doped by Ge izovalent impurity.
uk
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
Вопросы атомной науки и техники
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
Сучасні методи підвищення радіаційної стійкості напівпровідникових матеріалів
Современные методы повышения радиационной стойкости полупроводниковых материалов
Modern methods of the increase of the semiconductor materials radiation hardness
Article
published earlier
spellingShingle Сучасні методи підвищення радіаційної стійкості напівпровідникових матеріалів
Барабаш, Л.І.
Вишневський, І.М.
Гроза, А.А.
Карпенко, А.Я.
Литовченко, П.Г.
Старчик, М.І.
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
title Сучасні методи підвищення радіаційної стійкості напівпровідникових матеріалів
title_alt Современные методы повышения радиационной стойкости полупроводниковых материалов
Modern methods of the increase of the semiconductor materials radiation hardness
title_full Сучасні методи підвищення радіаційної стійкості напівпровідникових матеріалів
title_fullStr Сучасні методи підвищення радіаційної стійкості напівпровідникових матеріалів
title_full_unstemmed Сучасні методи підвищення радіаційної стійкості напівпровідникових матеріалів
title_short Сучасні методи підвищення радіаційної стійкості напівпровідникових матеріалів
title_sort сучасні методи підвищення радіаційної стійкості напівпровідникових матеріалів
topic Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
topic_facet Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110663
work_keys_str_mv AT barabašlí sučasnímetodipídviŝennâradíacíinoístíikostínapívprovídnikovihmateríalív
AT višnevsʹkiiím sučasnímetodipídviŝennâradíacíinoístíikostínapívprovídnikovihmateríalív
AT grozaaa sučasnímetodipídviŝennâradíacíinoístíikostínapívprovídnikovihmateríalív
AT karpenkoaâ sučasnímetodipídviŝennâradíacíinoístíikostínapívprovídnikovihmateríalív
AT litovčenkopg sučasnímetodipídviŝennâradíacíinoístíikostínapívprovídnikovihmateríalív
AT starčikmí sučasnímetodipídviŝennâradíacíinoístíikostínapívprovídnikovihmateríalív
AT barabašlí sovremennyemetodypovyšeniâradiacionnoistoikostipoluprovodnikovyhmaterialov
AT višnevsʹkiiím sovremennyemetodypovyšeniâradiacionnoistoikostipoluprovodnikovyhmaterialov
AT grozaaa sovremennyemetodypovyšeniâradiacionnoistoikostipoluprovodnikovyhmaterialov
AT karpenkoaâ sovremennyemetodypovyšeniâradiacionnoistoikostipoluprovodnikovyhmaterialov
AT litovčenkopg sovremennyemetodypovyšeniâradiacionnoistoikostipoluprovodnikovyhmaterialov
AT starčikmí sovremennyemetodypovyšeniâradiacionnoistoikostipoluprovodnikovyhmaterialov
AT barabašlí modernmethodsoftheincreaseofthesemiconductormaterialsradiationhardness
AT višnevsʹkiiím modernmethodsoftheincreaseofthesemiconductormaterialsradiationhardness
AT grozaaa modernmethodsoftheincreaseofthesemiconductormaterialsradiationhardness
AT karpenkoaâ modernmethodsoftheincreaseofthesemiconductormaterialsradiationhardness
AT litovčenkopg modernmethodsoftheincreaseofthesemiconductormaterialsradiationhardness
AT starčikmí modernmethodsoftheincreaseofthesemiconductormaterialsradiationhardness