Экспериментальная установка для анализа вторичных нейтральных частиц
Предложена конструкция экспериментальной установки для масс-спектрометрического анализа нейтральной компоненты потока распыленных частиц. Установка смонтирована на базе высокодозного ионного имплантера, что позволяет работать в широком интервале энергий первичных ионов (20…170 кэВ). Ионизация нейтра...
Saved in:
| Published in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Date: | 2008 |
| Main Authors: | , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2008
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110691 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Экспериментальная установка для анализа вторичных нейтральных частиц / В.А. Батурин, С.А. Еремин // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 4. — С. 255-259. — Бібліогр.: 14 назв. — рос. |